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  • 超純低壓氣動隔膜閥 DLP
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2025/10/21 7:57:02

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超純低壓氣動隔膜閥DLP DLP系列超純低壓氣動隔膜閥適用于半導(dǎo)體行業(yè)高純氣體低壓工況下的輸送，產(chǎn)品在采用緊湊設(shè)計的同時，實現(xiàn)高CV值

超純低壓氣動隔膜閥 DLP詳細(xì)信息

超純低壓氣動隔膜閥 DLP


DLP系列超純低壓氣動隔膜閥適用于半導(dǎo)體行業(yè)高純氣體低壓工況下的輸送，產(chǎn)品在采用緊湊設(shè)計的同時，實現(xiàn)高CV值。在高標(biāo)準(zhǔn)的潔凈室內(nèi)生產(chǎn)，EP電解拋光處理內(nèi)表面，粗糙度可達(dá)Ra≤5μin。每個產(chǎn)品都需要經(jīng)過氦質(zhì)譜泄漏測試，從而保障應(yīng)用安全性。


材料

閥體：SS316L、SS316L VAR、SS316L VIM/VAR

閥座：PCTFE/PFA/PI

膜片：鈷基超級合金、Hastelloy C-22、SS316L

使用溫度

PCTFE: -10~80℃

PFA/PI: -10~150℃

使用壓力：250psi（17.2bar）

閥體內(nèi)漏率：≤1.0x10-9 Pa?m3/sec He

閥體外漏率：≤1.0x10-9 Pa?m3/sec He


規(guī)格

1/4”

3/8”

1/2”

3/4”

CV值（流量系數(shù)）

0.27

0.27-0.7

0.7

1.7


內(nèi)表面粗糙度

B：Ra≤10μin（0.25μm）

EP級：Ra≤5μin （0.13μm）

連接選擇：VCR公頭、VCR母頭、卡套接頭、對焊管接頭

氣動操作選擇：常閉（NC）、常開（NO）

編碼 兩端接頭 A(mm) B(mm) C(mm) D(mm) E(mm) F(mm) G(mm)
常閉NC 常開NO
DLPC04M DLPO04M 1/4"VCR公頭 57 11 67/67 40 25 26 25.4
DLPC06M DLPO06M 3/8"VCR公頭 77 16 84/77.5 55 36 36 28
DLPC08M DLPO08M 1/2"VCR公頭 77 16 84/77.5 55 36 36 28
DLPC12M DLPO12M 3/4"VCR公頭 107 23 148/143 85 46 48 35
DLPC04F DLPO04F 1/4"VCR母頭 70.6 11 67/67 40 25 26 25.4
DLPC06F DLPO06F 3/8"VCR母頭 83 16 84/77.5 55 36 36 28
DLPC08F DLPO08F 1/2"VCR母頭 83 16 84/77.5 55 36 36 28
DLPC12F DLPO12F 3/4"VCR母頭 179.2 23 148/143 85 46 48 35
DLPC04T DLPO04T 1/4"卡套接頭 48 11 67/67 40 25 26 25.4
DLPC06T DLPO06T 3/8"卡套接頭 64 16 84/77.5 55 36 36 28
DLPC08T DLPO08T 1/2"卡套接頭 64 16 84/77.5 55 36 36 28
DLPC12T DLPO12T 3/4"卡套接頭 126 23 148/143 85 46 48 35
DLPC04W DLPO04W 1/4"對焊 54 11 67/67 40 25 26 25.4
DLPC06W DLPO06W 3/8"對焊 69 16 84/77.5 55 36 36 28
DLPC08W DLPO08W 1/2"對焊 69 16 84/77.5 55 36 36 28
DLPC12W DLPO12W 3/4"對焊 156 23 148/143 85 46 48 35
尺寸僅供參考, 實物可能會變動。

關(guān)鍵詞：隔膜閥

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