超純低壓氣動隔膜閥 DLP
DLP系列超純低壓氣動隔膜閥適用于半導(dǎo)體行業(yè)高純氣體低壓工況下的輸送,產(chǎn)品在采用緊湊設(shè)計的同時,實現(xiàn)高CV值。在高標(biāo)準(zhǔn)的潔凈室內(nèi)生產(chǎn),EP電解拋光處理內(nèi)表面,粗糙度可達Ra≤5μin。每個產(chǎn)品都需要經(jīng)過氦質(zhì)譜泄漏測試,從而保障應(yīng)用安全性。
材料
閥體:SS316L、SS316L VAR、SS316L VIM/VAR
閥座:PCTFE/PFA/PI
膜片:鈷基超級合金、Hastelloy C-22、SS316L
使用溫度
PCTFE: -10~80℃
PFA/PI: -10~150℃
使用壓力:250psi(17.2bar)
閥體內(nèi)漏率:≤1.0x10-9 Pa?m3/sec He
閥體外漏率:≤1.0x10-9 Pa?m3/sec He
| 規(guī)格 | 1/4” | 3/8” | 1/2” | 3/4” |
| CV值(流量系數(shù)) | 0.27 | 0.27-0.7 | 0.7 | 1.7 |
內(nèi)表面粗糙度
B:Ra≤10μin(0.25μm)
EP級:Ra≤5μin (0.13μm)
連接選擇:VCR公頭、VCR母頭、卡套接頭、對焊管接頭
氣動操作選擇:常閉(NC)、常開(NO)
尺寸僅供參考, 實物可能會變動。 編碼 兩端接頭 A(mm) B(mm) C(mm) D(mm) E(mm) F(mm) G(mm) 常閉NC 常開NO DLPC04M DLPO04M 1/4"VCR公頭 57 11 67/67 40 25 26 25.4 DLPC06M DLPO06M 3/8"VCR公頭 77 16 84/77.5 55 36 36 28 DLPC08M DLPO08M 1/2"VCR公頭 77 16 84/77.5 55 36 36 28 DLPC12M DLPO12M 3/4"VCR公頭 107 23 148/143 85 46 48 35 DLPC04F DLPO04F 1/4"VCR母頭 70.6 11 67/67 40 25 26 25.4 DLPC06F DLPO06F 3/8"VCR母頭 83 16 84/77.5 55 36 36 28 DLPC08F DLPO08F 1/2"VCR母頭 83 16 84/77.5 55 36 36 28 DLPC12F DLPO12F 3/4"VCR母頭 179.2 23 148/143 85 46 48 35 DLPC04T DLPO04T 1/4"卡套接頭 48 11 67/67 40 25 26 25.4 DLPC06T DLPO06T 3/8"卡套接頭 64 16 84/77.5 55 36 36 28 DLPC08T DLPO08T 1/2"卡套接頭 64 16 84/77.5 55 36 36 28 DLPC12T DLPO12T 3/4"卡套接頭 126 23 148/143 85 46 48 35 DLPC04W DLPO04W 1/4"對焊 54 11 67/67 40 25 26 25.4 DLPC06W DLPO06W 3/8"對焊 69 16 84/77.5 55 36 36 28 DLPC08W DLPO08W 1/2"對焊 69 16 84/77.5 55 36 36 28 DLPC12W DLPO12W 3/4"對焊 156 23 148/143 85 46 48 35


















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