超純中低流量單級(jí)減壓閥 PRLI
PRLI系列超純低流量單級(jí)減壓閥采用單級(jí)膜片式硬密封設(shè)計(jì),超低漏率,內(nèi)部EP電解拋光處理,超低內(nèi)表面粗糙度。高壓輸入(可達(dá)3500Psi),低壓標(biāo)準(zhǔn)流量輸出,輸出壓力穩(wěn)定,適用于半導(dǎo)體行業(yè)使用的高純度氣體。每臺(tái)減壓閥出廠前都會(huì)進(jìn)行單獨(dú)的壓力測(cè)試、氦質(zhì)譜泄漏測(cè)試和顆粒物檢測(cè)。
材料
閥體:SS316L、SS316L VAR、Hastelloy C-22
閥座:PCTFE/PI
膜片、提升閥芯: Hastelloy C-22、SS316L
使用溫度
PCTFE: -40~80°C
PI: -26~177℃
閥體內(nèi)漏率:≤2.0x10-10 Pa?m3/sec He
閥體外漏率:≤2.0x10-9 Pa?m3/sec He
閥座泄漏率:≤4.0x10-8 Pa?m3/sec He
內(nèi)表面粗糙度
B:Ra≤10μin(0.25μm)
EP級(jí):Ra≤5μin (0.13μm)
安裝方式:后座安裝、面板安裝
進(jìn)口壓力: 3500psi(241Bar)
出口壓力: 1-150psi(詳見選型表)
驗(yàn)證壓力:工作壓力的150%
爆破壓力:工作壓力的300%
| 規(guī)格 | 1/4” | 3/8” |
| CV值(流量系數(shù)) | 0.09(標(biāo)準(zhǔn))/0.15(高流量HF) | |
| 內(nèi)部容積 | 0.49 in3 (8 cm3 ) | |
供壓效應(yīng):標(biāo)準(zhǔn):0.25%, 高流量HF:0.75%
流量曲線:
端口配置:
連接選擇:
VCR公頭、VCR母頭、對(duì)焊管接頭
| 編碼 | 進(jìn)口壓力 | 出口壓力 | 兩端接頭 | A(mm) |
| PRLI1004M/F | 真空-300psi (21bar) | 1-10psi (0.07-0.7bar) | 1/4"VCR公/母頭 | 94 |
| PRLI3004M/F | 真空-3500psi (241bar) | 1-30psi (0.07-2.0bar) | 1/4"VCR公/母頭 | 94 |
| PRLI6004M/F | 真空-3500psi (241bar) | 2-60psi (0.14-4.0bar) | 1/4"VCR公/母頭 | 94 |
| PRLI10004M/F | 真空-3500psi (241bar) | 2-100psi (0.14-7.0bar) | 1/4"VCR公/母頭 | 94 |
| PRLI15004M/F | 真空-3500psi (241bar) | 5-150psi (0.34-10.0bar) | 1/4"VCR公/母頭 | 94 |
| PRLI1006M/F | 真空-300psi (21bar) | 1-10psi (0.07-0.7bar) | 3/8"VCR公/母頭 | 119 |
| PRLI3006M/F | 真空-3500psi (241bar) | 1-30psi (0.07-2.0bar) | 3/8"VCR公/母頭 | 119 |
| PRLI6006M/F | 真空-3500psi (241bar) | 2-60psi (0.14-4.0bar) | 3/8"VCR公/母頭 | 119 |
| PRLI10006M/F | 真空-3500psi (241bar) | 2-100psi (0.14-7.0bar) | 3/8"VCR公/母頭 | 119 |
| PRLI15006M/F | 真空-3500psi (241bar) | 5-150psi (0.34-10.0bar) | 3/8"VCR公/母頭 | 119 |
| PRLI1004W | 真空-300psi (21bar) | 1-10psi (0.07-0.7bar) | 1/4"對(duì)焊 | 75 |
| PRLI3004W | 真空-3500psi (241bar) | 1-30psi (0.07-2.0bar) | 1/4"對(duì)焊 | 75 |
| PRLI6004W | 真空-3500psi (241bar) | 2-60psi (0.14-4.0bar) | 1/4"對(duì)焊 | 75 |
| PRLI10004W | 真空-3500psi (241bar) | 2-100psi (0.14-7.0bar) | 1/4"對(duì)焊 | 75 |
| PRLI15004W | 真空-3500psi (241bar) | 5-150psi (0.34-10.0bar) | 1/4"對(duì)焊 | 75 |
| PRLI1006W | 真空-300psi (21bar) | 1-10psi (0.07-0.7bar) | 3/8"對(duì)焊 | 75 |
| PRLI3006W | 真空-3500psi (241bar) | 1-30psi (0.07-2.0bar) | 3/8"對(duì)焊 | 75 |
| PRLI6006W | 真空-3500psi (241bar) | 2-60psi (0.14-4.0bar) | 3/8"對(duì)焊 | 75 |
| PRLI10006W | 真空-3500psi (241bar) | 2-100psi (0.14-7.0bar) | 3/8"對(duì)焊 | 75 |
| PRLI15006W | 真空-3500psi (241bar) | 5-150psi (0.34-10.0bar) | 3/8"對(duì)焊 | 75 |
尺寸僅供參考, 實(shí)物可能會(huì)變動(dòng)。
高流量款,請(qǐng)?jiān)诰幪?hào)后+HF;多孔端口,請(qǐng)?jiān)诰幋a后加孔數(shù)+PW


















采購中心
