| 參考價(jià) | 面議 |
產(chǎn)品簡介
超純高壓手動(dòng)隔膜閥 DHM
DHM系列超純高壓手動(dòng)隔膜閥適用于半導(dǎo)體行業(yè)高純氣體高壓工況下的輸送，產(chǎn)品在采用緊湊設(shè)計(jì)的同時(shí)，實(shí)現(xiàn)高CV值。在高標(biāo)準(zhǔn)的潔凈室內(nèi)生產(chǎn)，EP電解拋光處理內(nèi)表面，粗糙度可達(dá)Ra≤5μin。每個(gè)產(chǎn)品都需要經(jīng)過氦質(zhì)譜泄漏測(cè)試，從而保障應(yīng)用安全性。
材料
閥體：SS316L、SS316L VAR、SS316L VIM/VAR
閥座：PCTFE/PFA/PI
膜片：鈷基超級(jí)合金、Hastelloy C-22、SS316L
使用溫度：PCTFE: -10~80℃
PFA/PI: -10~150℃
使用壓力：3500psi（240Bar）
閥體內(nèi)漏率：≤1.0x10-9 Pa?m3/sec He
閥體外漏率：≤1.0x10-9 Pa?m3/sec He
| 規(guī)格 | 1/4” | 3/8” | 1/2” |
| CV值（流量系數(shù)） | 0.27 | 0.27 | 0.27 |
內(nèi)表面粗糙度
B：Ra≤10μin（0.25μm）
EP級(jí)：Ra≤5μin （0.13μm）
連接選擇：VCR公頭、VCR母頭、卡套接頭、對(duì)焊管接頭
氣動(dòng)操作選擇：常閉（NC）
尺寸僅供參考, 實(shí)物可能會(huì)變動(dòng)。 編碼 兩端接頭 A(mm) B(mm) C(mm) D(mm) E(mm) F(mm) G(mm) DHM04M 1/4"VCR公頭 60 11.1 73.7 48 28.6 29 25.4 DHM04F 1/4"VCR母頭 76.6 11.1 73.7 48 28.6 29 25.4 DHM04T 1/4"卡套接頭 49.7 11.1 73.7 48 28.6 29 25.4 DHM06T 3/8"卡套接頭 51.7 11.1 73.7 48 28.6 29 25.4 DHM04W 1/4"對(duì)焊 48.2 11.1 73.7 48 28.6 29 25.4 DHM06W 3/8"對(duì)焊 48.2 11.1 73.7 48 28.6 29 25.4 DHM08W 1/2"對(duì)焊 48.2 11.1 73.7 48 28.6 29 25.4
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