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產(chǎn)品簡介
超純高壓氣動隔膜閥 DHP
DHP系列超純高壓氣動隔膜閥適用于半導體行業(yè)高純氣體高壓工況下的輸送,產(chǎn)品在采用緊湊設計的同時,實現(xiàn)高CV值。在高標準的潔凈室內(nèi)生產(chǎn),EP電解拋光處理內(nèi)表面,粗糙度可達Ra≤5μin。每個產(chǎn)品都需要經(jīng)過氦質(zhì)譜泄漏測試,從而保障應用安全性。
材料
閥體:SS316L、SS316L VAR、SS316L VIM/VAR
閥座:PCTFE/PFA/PI
膜片:鈷基超級合金、Hastelloy C-22、SS316L
使用溫度
PCTFE: -10~80°C
PFA/PI: -10~150°C
使用壓力:3500psi(240Bar)
閥體內(nèi)漏率:≤1.0x10-9 Pa?m3/sec He
閥體外漏率:≤1.0x10-9 Pa?m3/sec He
| 規(guī)格 | 1/4” | 3/8” | 1/2” |
| CV值(流量系數(shù)) | 0.27 | 0.27 | 0.27 |
內(nèi)表面粗糙度
B:Ra≤10μin(0.25μm)
EP級:Ra≤5μin (0.13μm)
連接選擇:VCR公頭、VCR母頭、卡套接頭、對焊管接頭
氣動操作選擇:常閉(NC)
尺寸僅供參考, 實物可能會變動。 編碼 兩端接頭 A(mm) B(mm) C(mm) D(mm) E(mm) F(mm) G(mm) DHPC04M 1/4"VCR公頭 60 11.1 99 40 28.6 29 25.4 DHPC04F 1/4"VCR母頭 76.6 11.1 99 40 28.6 29 25.4 DHPC04T 1/4"卡套接頭 49.7 11.1 99 40 28.6 29 25.4 DHPC06T 3/8"卡套接頭 51.7 11.1 99 40 28.6 29 25.4 DHPC04W 1/4"對焊 48.2 11.1 99 40 28.6 29 25.4 DHPC06W 3/8"對焊 48.2 11.1 99 40 28.6 29 25.4 DHPC08W 1/2"對焊 48.2 11.1 99 40 28.6 29 25.4
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