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更新時(shí)間

2025/10/20 9:58:34

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超純高壓氣動(dòng)隔膜閥DHP DHP系列超純高壓氣動(dòng)隔膜閥適用于半導(dǎo)體行業(yè)高純氣體高壓工況下的輸送,產(chǎn)品在采用緊湊設(shè)計(jì)的同時(shí),實(shí)現(xiàn)高CV值

超純高壓氣動(dòng)隔膜閥 DHP詳細(xì)信息

超純高壓氣動(dòng)隔膜閥 DHP

DHP系列超純高壓氣動(dòng)隔膜閥適用于半導(dǎo)體行業(yè)高純氣體高壓工況下的輸送,產(chǎn)品在采用緊湊設(shè)計(jì)的同時(shí),實(shí)現(xiàn)高CV值。在高標(biāo)準(zhǔn)的潔凈室內(nèi)生產(chǎn),EP電解拋光處理內(nèi)表面,粗糙度可達(dá)Ra≤5μin。每個(gè)產(chǎn)品都需要經(jīng)過(guò)氦質(zhì)譜泄漏測(cè)試,從而保障應(yīng)用安全性。


材料

閥體:SS316L、SS316L VAR、SS316L VIM/VAR

閥座:PCTFE/PFA/PI

膜片:鈷基超級(jí)合金、Hastelloy C-22、SS316L

使用溫度

PCTFE: -10~80°C

PFA/PI: -10~150°C

使用壓力:3500psi(240Bar)

閥體內(nèi)漏率:≤1.0x10-9 Pa?m3/sec He

閥體外漏率:≤1.0x10-9 Pa?m3/sec He


規(guī)格

1/4”

3/8”

1/2”

CV值(流量系數(shù))

0.27

0.27

0.27


內(nèi)表面粗糙度

B:Ra≤10μin(0.25μm)

EP級(jí):Ra≤5μin (0.13μm)

連接選擇:VCR公頭、VCR母頭、卡套接頭、對(duì)焊管接頭

氣動(dòng)操作選擇:常閉(NC)

編碼 兩端接頭 A(mm) B(mm) C(mm) D(mm) E(mm) F(mm) G(mm)
DHPC04M 1/4"VCR公頭 60 11.1 99 40 28.6 29 25.4
DHPC04F 1/4"VCR母頭 76.6 11.1 99 40 28.6 29 25.4
DHPC04T 1/4"卡套接頭 49.7 11.1 99 40 28.6 29 25.4
DHPC06T 3/8"卡套接頭 51.7 11.1 99 40 28.6 29 25.4
DHPC04W 1/4"對(duì)焊 48.2 11.1 99 40 28.6 29 25.4
DHPC06W 3/8"對(duì)焊 48.2 11.1 99 40 28.6 29 25.4
DHPC08W 1/2"對(duì)焊 48.2 11.1 99 40 28.6 29 25.4
尺寸僅供參考, 實(shí)物可能會(huì)變動(dòng)。

關(guān)鍵詞:隔膜閥

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