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產(chǎn)品簡(jiǎn)介
超純低流量單級(jí)減壓閥 PRL
PRL系列超純低流量單級(jí)減壓閥采用單級(jí)膜片式硬密封設(shè)計(jì)，超低漏率，內(nèi)部EP電解拋光處理，超低內(nèi)表面粗糙度。適用于半導(dǎo)體行業(yè)使用的高純度氣體，具有的重復(fù)性，穩(wěn)定性及靈敏度。每臺(tái)減壓閥出廠前都會(huì)進(jìn)行單獨(dú)的壓力測(cè)試、氦質(zhì)譜泄漏測(cè)試和顆粒物檢測(cè)。
材料
閥體：SS316L、SS316L VAR
閥座：PCTFE/PI
膜片、提升閥芯： Hastelloy C-22、SS316L
使用溫度
PCTFE: -40~80℃
PI: -26~177℃
閥體內(nèi)漏率：≤2.0x10-10 Pa?m3/sec He
閥體外漏率：≤2.0x10-9 Pa?m3/sec He
閥座泄漏率：≤4.0x10-8 Pa?m3/sec He
內(nèi)表面粗糙度
B：Ra≤10μin（0.25μm）
EP級(jí)：Ra≤5μin （0.13μm）
安裝方式：后座安裝、面板安裝
進(jìn)口壓力: 300psi（20.7Bar）
出口壓力:100mm Hg - 10psi
驗(yàn)證壓力：工作壓力的150％
爆破壓力：工作壓力的300％
| 規(guī)格 | 1/4” | 3/8”“ |
| CV值（流量系數(shù)） | 0.05 | |
| 內(nèi)部容積 | 0.49 in3 (8 cm3 ) | |
流量曲線：
端口配置：
連接選擇：VCR公頭、VCR母頭、對(duì)焊管接頭
尺寸僅供參考, 實(shí)物可能會(huì)變動(dòng)。 編碼 兩端接頭 A(mm) PRL04M/F 1/4"VCR公/母頭 94 PRL06M/F 3/8"VCR公/母頭 119 PRL04W 1/4"對(duì)焊 75 PRL06W 3/8"對(duì)焊 75
多孔端口，請(qǐng)?jiān)诰幋a后加孔數(shù)+PW
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