產(chǎn)品簡介
超純高流量減壓閥 PRH
PRH系列超純高流量減壓閥采用單級膜片式硬密封設(shè)計，超低漏率，內(nèi)部EP電解拋光處理，超低內(nèi)表面粗糙度。高壓輸入（可達3500Psi），低壓輸出時滿足高流量的要求。適用于半導(dǎo)體行業(yè)使用的高純度氣體。每臺減壓閥出廠前都會進行單獨的壓力測試、氦質(zhì)譜泄漏測試和顆粒物檢測。
材料
閥體：SS316L、SS316L VAR、Hastelloy C-22
閥座：PCTFE/PI
膜片、提升閥芯： Hastelloy C-22、SS316L
使用溫度PCTFE: -40~80℃
PI: -26~177℃
閥體內(nèi)漏率：≤2.0x10-10 Pa?m3/sec He
閥體外漏率：≤2.0x10-9 Pa?m3/sec He
閥座泄漏率：≤4.0x10-8 Pa?m3/sec He
內(nèi)表面粗糙度
B：Ra≤10μin（0.25μm）
EP級：Ra≤5μin （0.13μm）
安裝方式：后座安裝、面板安裝
進口壓力: 標準及高流量款HF 1700psi (117bar)、應(yīng)力補償款FC 300psig (21bar)、 高壓款HR 3500psi（241Bar）
出口壓力: 1-150psi（詳見選型表）
驗證壓力：工作壓力的150％
爆破壓力：工作壓力的300％
| 規(guī)格 | 1/4” | 3/8”“ | 1/2” | 3/4” |
| CV值（流量系數(shù)） | 0.65（應(yīng)力補償FC）、0.9（標準）、0.15（高流量HF） | |||
| 內(nèi)部容積 | 1.07in3 (17.6 cm3 ) | |||
供壓效應(yīng)：標準款3.5%,、高流量款HF和應(yīng)力補償款FC:4.2%
流量曲線：
端口配置：
連接選擇：VCR公頭、VCR母頭、對焊管接頭
尺寸僅供參考, 實物可能會變動。 編碼 進口壓力 出口壓力 兩端接頭 A(mm) B(mm) PRH3004M/F 真空-1700psi (117bar) 1-30psi(0.07-2.0bar) 1/4"VCR公/母頭 55 102/94 PRH6004M/F 2-60psi (0.14-4.0bar) 1/4"VCR公/母頭 55 102/94 PRH10004M/F 2-100psi (0.14-7.0bar) 1/4"VCR公/母頭 55 102/94 PRH15004M/F 5-150psi (0.34-10.0bar) 1/4"VCR公/母頭 55 102/94 PRH3006M/F 1-30psi(0.07-2.0bar) 3/8"VCR公/母頭 64 133 PRH6006M/F 2-60psi (0.14-4.0bar) 3/8"VCR公/母頭 64 133 PRH10006M/F 2-100psi (0.14-7.0bar) 3/8"VCR公/母頭 64 133 PRH15006M/F 5-150psi (0.34-10.0bar) 3/8"VCR公/母頭 64 133 PRH3008M/F 1-30psi(0.07-2.0bar) 1/2"VCR公/母頭 64 133 PRH6008M/F 2-60psi (0.14-4.0bar) 1/2"VCR公/母頭 64 133 PRH10008M/F 2-100psi (0.14-7.0bar) 1/2"VCR公/母頭 64 133 PRH15008M/F 5-150psi (0.34-10.0bar) 1/2"VCR公/母頭 64 133 PRH3012M/F 1-30psi(0.07-2.0bar) 3/4"VCR公/母頭 64 159 PRH6012M/F 2-60psi (0.14-4.0bar) 3/4"VCR公/母頭 64 159 PRH10012M/F 2-100psi (0.14-7.0bar) 3/4"VCR公/母頭 64 159 PRH15012M/F 5-150psi (0.34-10.0bar) 3/4"VCR公/母頭 64 159 PRH3004M/F-HF 真空-1700psi (117bar) 1-30psi(0.07-2.0bar) 1/4"VCR公/母頭 55 102/94 PRH6004M/F-HF 2-60psi (0.14-4.0bar) 1/4"VCR公/母頭 55 102/94 PRH10004M/F-HF 2-100psi (0.14-7.0bar) 1/4"VCR公/母頭 55 102/94 PRH15004M/F-HF 5-150psi (0.34-10.0bar) 1/4"VCR公/母頭 55 102/94 PRH3006M/F-HF 1-30psi(0.07-2.0bar) 3/8"VCR公/母頭 64 133 PRH6006M/F-HF 2-60psi (0.14-4.0bar) 3/8"VCR公/母頭 64 133 PRH10006M/F-HF 2-100psi (0.14-7.0bar) 3/8"VCR公/母頭 64 133 PRH15006M/F-HF 5-150psi (0.34-10.0bar) 3/8"VCR公/母頭 64 133 PRH3008M/F-HF 1-30psi(0.07-2.0bar) 1/2"VCR公/母頭 64 133 PRH6008M/F-HF 2-60psi (0.14-4.0bar) 1/2"VCR公/母頭 64 133 PRH10008M/F-HF 2-100psi (0.14-7.0bar) 1/2"VCR公/母頭 64 133 PRH15008M/F-HF 5-150psi (0.34-10.0bar) 1/2"VCR公/母頭 64 133 PRH3012M/F-HF 1-30psi(0.07-2.0bar) 3/4"VCR公/母頭 64 159 PRH6012M/F-HF 2-60psi (0.14-4.0bar) 3/4"VCR公/母頭 64 159 PRH10012M/F-HF 2-100psi (0.14-7.0bar) 3/4"VCR公/母頭 64 159 PRH15012M/F-HF 5-150psi (0.34-10.0bar) 3/4"VCR公/母頭 64 159 PRH10004M/F-FC 真空-300psi (21bar) 2-100psi (0.14-7.0bar) 1/4"VCR公/母頭 55 102/94 PRH15004M/F-FC 5-150psi (0.34-10.0bar) 1/4"VCR公/母頭 55 102/94 PRH10006M/F-FC 2-100psi (0.14-7.0bar) 3/8"VCR公/母頭 64 133 PRH15006M/F-FC 5-150psi (0.34-10.0bar) 3/8"VCR公/母頭 64 133 PRH10008M/F-FC 2-100psi (0.14-7.0bar) 1/2"VCR公/母頭 64 133 PRH15008M/F-FC 5-150psi (0.34-10.0bar) 1/2"VCR公/母頭 64 133 PRH10012M/F-FC 2-100psi (0.14-7.0bar) 3/4"VCR公/母頭 64 159 PRH15012M/F-FC 5-150psi (0.34-10.0bar) 3/4"VCR公/母頭 64 159 PRH10004M/F-HR 真空-3500psi (241bar) 2-100psi (0.14-7.0bar) 1/4"VCR公/母頭 55 102/94 PRH15004M/F-HR 5-150psi (0.34-10.0bar) 1/4"VCR公/母頭 55 102/94 PRH10006M/F-HR 2-100psi (0.14-7.0bar) 3/8"VCR公/母頭 64 133 PRH15006M/F-HR 5-150psi (0.34-10.0bar) 3/8"VCR公/母頭 64 133 PRH10008M/F-HR 2-100psi (0.14-7.0bar) 1/2"VCR公/母頭 64 133 PRH15008M/F-HR 5-150psi (0.34-10.0bar) 1/2"VCR公/母頭 64 133 PRH10012M/F-HR 2-100psi (0.14-7.0bar) 3/4"VCR公/母頭 64 159 PRH15012M/F-HR 5-150psi (0.34-10.0bar) 3/4"VCR公/母頭 64 159
多孔端口，請在編碼后加孔數(shù)+PW；本款同時可提供對焊連接(具體型號請聯(lián)系存簡)
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移動站：超純高流量減壓閥 PRH
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