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SW系列晶圓對準/鍵合/解鍵合設備

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公司名稱上海頻標科技有限公司
品牌
型號
所在地
廠商性質(zhì)經(jīng)銷商
更新時間2025/3/30 8:22:00
訪問次數(shù)241

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公司介紹主營產(chǎn)品

　　上海頻標科技有限公司是一家專業(yè)的實驗室儀器設備及試劑耗材類產(chǎn)品的綜合服務提供商，集研發(fā)、集成、銷售、測試服務、方案咨詢及品牌代理于一體。公司業(yè)務主要涵蓋實驗室各類測試測量及分析設備、試劑及耗材、成像及光譜、半導體微電子復雜系統(tǒng)及環(huán)境控制等多個領域。我司下設光電事業(yè)部、生命科學事業(yè)部、光譜事業(yè)部、半導體微電子事業(yè)部四大事業(yè)部，廣泛服務于各大科研院所、企業(yè)研發(fā)中心、半導體微電子、生命科學等領域中的眾多客戶，并長期以來秉承“請將問題交給我們，時間留給科研!”的企業(yè)理念，誠信、高效、專業(yè)地努力為客戶提供服務。

　　上海頻標科技有限公司由來自于東京大學、中科院研究所、吉林大學及復旦大學等多位業(yè)內(nèi)儀器儀表及解決方案領域的教授、博士、碩士等專業(yè)團隊構(gòu)成，公司致力于打造實驗室綜合解決方案和服務提供商。我們崇尚專注、專業(yè)、專長，以努力為各類客戶提供專家型一站式服務為宗旨。

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儀器儀表，實驗室耗材，光電，生命科學，半導體微電子，光譜

產(chǎn)品簡介在線詢價

SW系列晶圓對準/鍵合/解鍵合設備可應用于多個領域，包括MEMS、功率器件、圖像傳感器、封裝（3D-TSV、WLP）和化合物半導體（LED、RF器件）等。其中，SWA系列能夠滿足各類基底的鍵合對準需求，SWB系列可應用于有機膠鍵合、玻璃漿料鍵合、共晶鍵合，陽極鍵合等工藝，而SWDB系列滿足解鍵合工藝需求。

SW系列晶圓對準/鍵合/解鍵合設備產(chǎn)品信息

產(chǎn)品特征

● 靈活多樣的對準方式和應用

● 高精度壓力和優(yōu)異溫度控制

● 翹曲硅片和超高厚度硅片處理

● 客戶低擁有成本

● 便捷的升級設計

晶圓對準設備

晶圓對準設備	SWA200	SWA300
基底尺寸	200mm	300mm
對準方式	Face to face Alignment	Face to face Alignment
對準精度	<±2μm	<±2μm

晶圓鍵合設備

晶圓鍵合設備	SWB200	SWB300
基底尺寸	200mm	300mm
接觸壓力	5KN（100KN可選配）	30KN（100KN可選配）
壓力均勻性	<1%	<1%
鍵合溫度	250℃ (550℃ Optional)	250℃ (550℃ Optional)
真空度	<5×10-5 mbar	<5×10-5 mbar
陽極鍵合	0-2000 V/50mA (Optional)	0-2000 V/50mA (Optional)