| 類別 | 描述 |
| 扁平ZT 臺（MZT-10 Stage） | 平臺特性
平臺概要 扁平ZT 臺采用旋轉(zhuǎn)運(yùn)動平臺和創(chuàng)新性垂向運(yùn)動在軸向進(jìn)行耦合的設(shè)計(jì)思想，具有極為緊湊扁平的輪廓尺寸。能實(shí)現(xiàn)Rz/Z 軸2 自由度的高精度、高剛度運(yùn)動無限制旋轉(zhuǎn)，和MZT-25 Stage 相比，成本更低。可廣泛應(yīng)用于晶圓生產(chǎn)控制應(yīng)用，例如薄膜計(jì)量、關(guān)鍵尺寸檢查等。 |
| 大行程ZT 臺（MZT-25 Stage） | 平臺特性
平臺概要 大行程ZT 臺采用旋轉(zhuǎn)運(yùn)動平臺和垂向運(yùn)動創(chuàng)新性的在軸向進(jìn)行耦合的設(shè)計(jì)思想，具有緊湊扁平的輪廓尺寸。能實(shí)現(xiàn)Rz/Z 軸2 自由度的高精度、高剛度運(yùn)動無限制旋轉(zhuǎn)。和MZT-10 Stage 相比，垂向剛度更高，負(fù)載和抗偏心能力更大?？蓮V泛應(yīng)用于晶圓生產(chǎn)控制應(yīng)用，例如薄膜計(jì)量、關(guān)鍵尺寸檢查等。 |
| 高性能ZT 臺（MZT-24-CRG Stage） | 平臺特性
平臺概要 高性能ZT 臺采用旋轉(zhuǎn)運(yùn)動平臺和垂向運(yùn)動創(chuàng)新性的在軸向進(jìn)行耦合的設(shè)計(jì)思想，具有緊湊扁平的輪廓尺寸。能實(shí)現(xiàn)Rz/Z 軸2 自由度的高精度、高剛度運(yùn)動無限制旋轉(zhuǎn)。和MZT-24 Stage 相比，垂向性能更高?？蓮V泛應(yīng)用于晶圓生產(chǎn)控制應(yīng)用，例如薄膜計(jì)量、關(guān)鍵尺寸檢查等。 |
上海頻標(biāo)科技有限公司是一家專業(yè)的實(shí)驗(yàn)室儀器設(shè)備及試劑耗材類產(chǎn)品的綜合服務(wù)提供商，集研發(fā)、集成、銷售、測試服務(wù)、方案咨詢及品牌代理于一體。公司業(yè)務(wù)主要涵蓋實(shí)驗(yàn)室各類測試測量及分析設(shè)備、試劑及耗材、成像及光譜、半導(dǎo)體微電子復(fù)雜系統(tǒng)及環(huán)境控制等多個(gè)領(lǐng)域。我司下設(shè)光電事業(yè)部、生命科學(xué)事業(yè)部、光譜事業(yè)部、半導(dǎo)體微電子事業(yè)部四大事業(yè)部，廣泛服務(wù)于各大科研院所、企業(yè)研發(fā)中心、半導(dǎo)體微電子、生命科學(xué)等領(lǐng)域中的眾多客戶，并長期以來秉承“請將問題交給我們，時(shí)間留給科研!”的企業(yè)理念，誠信、高效、專業(yè)地努力為客戶提供服務(wù)。
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磁懸浮垂向與旋轉(zhuǎn)臺 產(chǎn)品信息
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