| 類別 | 描述 |
| 堆疊式XYZ Stage | 平臺特性
平臺概要 堆疊式XYZ 系統(tǒng)，采用模塊化、超薄設(shè)計、正交性設(shè)計等理念，將MZ-10Stage 標(biāo)準(zhǔn)模組集成在十字平臺Cross XY Stage 模組之上，能實現(xiàn)X、Y 和Z軸3 自由度的高精度、高剛度直線運動。其中，MZ-10 Stage 標(biāo)準(zhǔn)模組采用了大行程磁浮重力補(bǔ)償技術(shù)，具有降低垂向電機(jī)的載荷，極大地提高了垂向運動性能和壽命的功能?？蓪崿F(xiàn)高精度上下方向定位的升降。十字平臺Cross XY Stage模組采用集成式、正交性設(shè)計理念，具有緊湊扁平的輪廓尺寸。能實現(xiàn)水平向X/Y 軸2 自由度的高精度、高剛度直線運動。可廣泛應(yīng)用于晶圓生產(chǎn)控制應(yīng)用，例如薄膜計量、關(guān)鍵尺寸檢查等，以及晶圓劃線和晶圓激光退火等。 |
| 堆疊式XYZT Stage（Stacked XYZT Stage） | 平臺特性
平臺概要 堆疊式XYZ 臺采用模塊化、超薄設(shè)計、正交性設(shè)計等理念，將MZT-24-CRGStage 標(biāo)準(zhǔn)模組集成在十字平臺Cross XY Stage 模組之上，能實現(xiàn)X、Y 和Z軸3 自由度的高精度、高剛度直線運動。其中，MZT-24-CRG Stage 采用旋轉(zhuǎn)運動平臺和垂向運動創(chuàng)新性的在軸向進(jìn)行耦合的設(shè)計思想，具有緊湊扁平的輪廓尺寸，能實現(xiàn)Rz/Z 軸2 自由度的高精度、高剛度運動無限制旋轉(zhuǎn)。十字平臺Cross XY Stage 模組采用集成式、正交性設(shè)計理念，具有緊湊扁平的輪廓尺寸。能實現(xiàn)水平向X/Y 軸2 自由度的高精度、高剛度直線運動。可廣泛應(yīng)用于晶圓生產(chǎn)控制應(yīng)用，例如薄膜計量、關(guān)鍵尺寸檢查等，以及晶圓劃線和晶圓激光退火等。 |
| 堆疊式XYZ3T Stage（Stacked XYZ3T Stage） | 平臺特性
垂向磁懸浮重力補(bǔ)償，可實現(xiàn)定位精度
平臺概要 堆疊式XYZ3T 臺采用模塊化、超薄設(shè)計、正交性設(shè)計等的理念，將MZ3T標(biāo)準(zhǔn)模組集成在XYY 堆疊式水平運動模組之上，能實現(xiàn)X、Y、Rx、Ry、Rz和Z 軸6 自由度的高精度、高剛度運動。其中MZ3T 標(biāo)準(zhǔn)模組采用緊湊設(shè)計技術(shù)，集成了Z、Rx、Ry 和Rz 軸，具有擁有優(yōu)異的定位精度、平面度、直線度、剛性和重復(fù)性精度的功能。垂向采用了的磁浮重力補(bǔ)償技術(shù)，降低了垂向音圈電機(jī)的載荷，極大地提高了垂向運動性能和壽命。XYY 堆疊式水平運動模組采用集成式、正交性設(shè)計理念，具有緊湊扁平的輪廓尺寸。能實現(xiàn)水平向X/Y 軸2自由度的高精度、高剛度直線運動?？蓮V泛應(yīng)用于晶圓生產(chǎn)控制應(yīng)用，例如薄膜計量、關(guān)鍵尺寸檢查等，以及晶圓劃線和晶圓激光退火等。特別適用于特定大型面板/基體上的倒晶封裝。 |
上海頻標(biāo)科技有限公司是一家專業(yè)的實驗室儀器設(shè)備及試劑耗材類產(chǎn)品的綜合服務(wù)提供商，集研發(fā)、集成、銷售、測試服務(wù)、方案咨詢及品牌代理于一體。公司業(yè)務(wù)主要涵蓋實驗室各類測試測量及分析設(shè)備、試劑及耗材、成像及光譜、半導(dǎo)體微電子復(fù)雜系統(tǒng)及環(huán)境控制等多個領(lǐng)域。我司下設(shè)光電事業(yè)部、生命科學(xué)事業(yè)部、光譜事業(yè)部、半導(dǎo)體微電子事業(yè)部四大事業(yè)部，廣泛服務(wù)于各大科研院所、企業(yè)研發(fā)中心、半導(dǎo)體微電子、生命科學(xué)等領(lǐng)域中的眾多客戶，并長期以來秉承“請將問題交給我們，時間留給科研!”的企業(yè)理念，誠信、高效、專業(yè)地努力為客戶提供服務(wù)。
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堆疊式多軸系統(tǒng)（Stacked System） 產(chǎn)品信息
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