| 類別 | 描述 |
| 雙Z 軸多軸微動(dòng)臺（Z3T-Dz Stage） | 平臺特性
平臺概要 雙Z 軸多軸微動(dòng)臺擁有4 個(gè)自由度，提供364°的旋轉(zhuǎn)角，雙Z 軸，其中一個(gè)用于圓晶裝件與卸件的粗大調(diào)整，一個(gè)用于調(diào)焦的精密調(diào)整，以及±0.2°以上的tip 和tilt 修正。該Z3T-Dz 模塊為運(yùn)動(dòng)提供更優(yōu)的跟隨誤差控制性能，其重復(fù)精度、運(yùn)動(dòng)和穩(wěn)定時(shí)間性能均支持更大行程運(yùn)動(dòng)。Z3T-Dz 模塊主要用于前道應(yīng)用，優(yōu)先于光刻后段和圓晶生產(chǎn)控制。 |
| 單Z 軸多軸微動(dòng)臺（Z3T-Sz Stage） | 平臺特性
平臺概要 單Z 軸多軸微動(dòng)臺擁有四個(gè)各自獨(dú)立的自由度，包括一個(gè)旋轉(zhuǎn)軸、一個(gè)垂直軸和兩個(gè)搖擺和傾斜修正軸。該Z3T-Sz 模塊結(jié)構(gòu)極為緊湊，且具備優(yōu)異的定位精度和動(dòng)態(tài)特性，滿足半導(dǎo)體晶圓制造和檢測過程中對晶圓載臺運(yùn)動(dòng)性能的特殊需求。Z3T-Sz 的出現(xiàn)不僅為用戶提高運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)精度，簡化設(shè)計(jì)難度，還能顯著提升設(shè)備的可靠性和集成度，降低設(shè)備的復(fù)雜性和總體成本，提高性價(jià)比。 |
上海頻標(biāo)科技有限公司是一家專業(yè)的實(shí)驗(yàn)室儀器設(shè)備及試劑耗材類產(chǎn)品的綜合服務(wù)提供商，集研發(fā)、集成、銷售、測試服務(wù)、方案咨詢及品牌代理于一體。公司業(yè)務(wù)主要涵蓋實(shí)驗(yàn)室各類測試測量及分析設(shè)備、試劑及耗材、成像及光譜、半導(dǎo)體微電子復(fù)雜系統(tǒng)及環(huán)境控制等多個(gè)領(lǐng)域。我司下設(shè)光電事業(yè)部、生命科學(xué)事業(yè)部、光譜事業(yè)部、半導(dǎo)體微電子事業(yè)部四大事業(yè)部，廣泛服務(wù)于各大科研院所、企業(yè)研發(fā)中心、半導(dǎo)體微電子、生命科學(xué)等領(lǐng)域中的眾多客戶，并長期以來秉承“請將問題交給我們，時(shí)間留給科研!”的企業(yè)理念，誠信、高效、專業(yè)地努力為客戶提供服務(wù)。
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多軸微動(dòng)臺（MZ3T Stage） 產(chǎn)品信息
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