技術(shù)參數(shù)
定制信息
交叉十字XY 臺可選項(xiàng):在Cross-Series XY Stage 產(chǎn)品序列里,配置了可根據(jù)用戶實(shí)際應(yīng)用選擇的可選項(xiàng)??蛇x內(nèi)容包括行程、編碼器、高精度標(biāo)定等選項(xiàng)。
行程選項(xiàng)
-200 200mm 行程位移平臺,配置直線電機(jī)和限位
-320 320mm 行程位移平臺,配置直線電機(jī)和限位
-450 450mm 行程位移平臺,配置直線電機(jī)和限位
編碼器選項(xiàng)
-E1 增量式模擬光學(xué)式線性編碼器,1Vpp
-E2 增量式數(shù)字光學(xué)式線性編碼器,RS422
-E3 式光學(xué)式線性編碼器,BISS
高精度標(biāo)定選項(xiàng)
-PLUS 高精標(biāo)定:產(chǎn)品生產(chǎn)結(jié)束,出廠前對平臺進(jìn)行干涉儀標(biāo)定














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