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  • STP-iX455 真空一體式渦輪分子泵
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品牌

廠商性質(zhì)

代理商

型號

STP-iX455

訪問次數(shù)

186

產(chǎn)地

上海

更新時間

2025/3/21 7:21:14

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STP-iX455 渦輪分子泵具有性磁力軸承和電機驅(qū)動系統(tǒng),與上一代渦輪泵相比將振動降低了 50%。采用集成的控制器,不需要使用傳統(tǒng)的安裝于機架上的控制器及互連電纜,不需要水冷卻。此泵的氮氣抽速為 450 ls-1。STP-iX455 極為適合電子顯微鏡、度量學、光刻和其他對振動的應(yīng)用。

STP-iX455 真空一體式渦輪分子泵詳細信息

概述
STP-iX455 渦輪分子泵具有性磁力軸承和電機驅(qū)動系統(tǒng),與上一代渦輪泵相比將振動降低了 50%。采用集成的控制器,不需要使用傳統(tǒng)的安裝于機架上的控制器及互連電纜,不需要水冷卻。
此泵的氮氣抽速為 450 ls-1。STP-iX455 極為適合電子顯微鏡、度量學、光刻和其他對振動的應(yīng)用。

應(yīng)用
金屬(鋁)、鎢和電介質(zhì)(氧化物)以及多晶硅等離子刻蝕(氯化物、氟化物和溴化物)
電子回旋共振 (ECR) 刻蝕
薄膜沉積 CVD、PECVD、ECRCVD、MOCVD
濺射
離子注入源,射束線泵送端點站
MBE
擴散
光致抗蝕劑脫模
晶體/晶膜生長
晶片檢查
負載鎖真空腔
科學儀器:表面分析、質(zhì)譜分析、電子顯微鏡
高能物理:射束線、加速器

放射線應(yīng)用:融合系統(tǒng)、回旋


功能和優(yōu)勢
緊湊型設(shè)計,包括集成的控制器
性自傳感軸承系統(tǒng)
數(shù)字化 5 軸控制
與現(xiàn)有渦輪泵相比振動級別降低了 50%
可以配置為運行腐蝕性制程
自動平衡系統(tǒng) (ABS) 標準
自動減振 (AVR) 標準
列于 UL 中,具有 CE 標記,符合 SEMI® S2

數(shù)據(jù)

入口法蘭 ISO100K
抽速
N2 300 ls-1
H2 300 ls-1
壓縮比
N2 >108
H2 >1 x 104
極限壓力 6.5 x 10-6 Pa
大工作壓力 1.3 x 10-1 Pa
允許的前級壓力 67 Pa
額定速度 55000 rpm
啟動時間 <6 分鐘
固定位置 任何方向
冷卻方法 自然冷卻(加熱和氣體泵送時進行水冷卻或空氣冷卻)
潤滑油 不需要
前級泵 240 lmin-1
泄露磁通量
軸向方向 <100 m/Gauss
徑向方向 <100 m/Gauss
環(huán)境溫度范圍 0 至 40 °C
存儲溫度范圍 -25 至 55 °C
重量 15 kg

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