STP-iX455 渦輪分子泵具有性磁力軸承和電機(jī)驅(qū)動系統(tǒng),與上一代渦輪泵相比將振動降低了 50%。采用集成的控制器,不需要使用傳統(tǒng)的安裝于機(jī)架上的控制器及互連電纜,不需要水冷卻。
此泵的氮?dú)獬樗贋?450 ls-1。STP-iX455 極為適合電子顯微鏡、度量學(xué)、光刻和其他對振動的應(yīng)用。
應(yīng)用
金屬(鋁)、鎢和電介質(zhì)(氧化物)以及多晶硅等離子刻蝕(氯化物、氟化物和溴化物)
電子回旋共振 (ECR) 刻蝕
薄膜沉積 CVD、PECVD、ECRCVD、MOCVD
濺射
離子注入源,射束線泵送端點(diǎn)站
MBE
擴(kuò)散
光致抗蝕劑脫模
晶體/晶膜生長
晶片檢查
負(fù)載鎖真空腔
科學(xué)儀器:表面分析、質(zhì)譜分析、電子顯微鏡
高能物理:射束線、加速器
放射線應(yīng)用:融合系統(tǒng)、回旋
功能和優(yōu)勢
緊湊型設(shè)計(jì),包括集成的控制器
性自傳感軸承系統(tǒng)
數(shù)字化 5 軸控制
與現(xiàn)有渦輪泵相比振動級別降低了 50%
可以配置為運(yùn)行腐蝕性制程
自動平衡系統(tǒng) (ABS) 標(biāo)準(zhǔn)
自動減振 (AVR) 標(biāo)準(zhǔn)
列于 UL 中,具有 CE 標(biāo)記,符合 SEMI® S2
數(shù)據(jù)
| 入口法蘭 | ISO100K |
| 抽速 | |
| N2 | 300 ls-1 |
| H2 | 300 ls-1 |
| 壓縮比 | |
| N2 | >108 |
| H2 | >1 x 104 |
| 極限壓力 | 6.5 x 10-6 Pa |
| 大工作壓力 | 1.3 x 10-1 Pa |
| 允許的前級壓力 | 67 Pa |
| 額定速度 | 55000 rpm |
| 啟動時間 | <6 分鐘 |
| 固定位置 | 任何方向 |
| 冷卻方法 | 自然冷卻(加熱和氣體泵送時進(jìn)行水冷卻或空氣冷卻) |
| 潤滑油 | 不需要 |
| 前級泵 | 240 lmin-1 |
| 泄露磁通量 | |
| 軸向方向 | <100 m/Gauss |
| 徑向方向 | <100 m/Gauss |
| 環(huán)境溫度范圍 | 0 至 40 °C |
| 存儲溫度范圍 | -25 至 55 °C |
| 重量 | 15 kg |














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