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STP-iX455 真空一體式渦輪分子泵

參考價面議
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱上海赫哲真空設(shè)備有限公司
  • 品       牌
  • 型       號STP-iX455
  • 所  在  地上海
  • 廠商性質(zhì)代理商
  • 更新時間2025/3/21 7:21:14
  • 訪問次數(shù)159
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上海赫哲真空設(shè)備有限公司是一家依靠德國*技術(shù)、*海歸工程師團(tuán)隊(duì)組成,以真空設(shè)備銷售和維修為主,集科研開發(fā)、工程項(xiàng)目、技術(shù)服務(wù)于一體的*。

 

  赫哲真空(Hertzian)擁有*的售后團(tuán)隊(duì),在上海設(shè)有專業(yè)維修工廠,為客戶24小時提供所有銷售產(chǎn)品的技術(shù)支持及售后服務(wù),公司擁有各種油泵、旋片式真空泵、干泵、機(jī)械泵等真空泵的維修保養(yǎng)技術(shù)、各類工具和必要的部品,能應(yīng)客戶要求,對客戶工廠設(shè)置的真空機(jī)器、設(shè)備提供定期維護(hù)、保養(yǎng)服務(wù)。

 

  赫哲真空(Hertzian)代理銷售世界-意大利DVP,旗下產(chǎn)品有真空泵、真空油品、真空泵配件維修包等相關(guān)設(shè)備配件材料。

 

  赫哲真空(Hertzian)銷售的產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于車輛、土木建筑工程、機(jī)械、包裝、環(huán)境保護(hù)、醫(yī)藥及醫(yī)療器械、石油、化工、食品、光學(xué)、電氣、電子、原子能、半導(dǎo)體、航空航天、低溫、*機(jī)械、紡織、造紙、農(nóng)業(yè)以及民用工業(yè)等工業(yè)部門和科學(xué)研究工作中。依托*的質(zhì)量、*的技術(shù)、人性化的管理、多元化的解決方案和服務(wù),以上海為中心輻射到全國各地,深受海內(nèi)外客戶的認(rèn)可。                          

除提供優(yōu)質(zhì)的服務(wù)及咨詢,并且堅(jiān)實(shí)的后勤工作團(tuán)隊(duì),為客戶提供質(zhì)量及技術(shù)的Z佳保證,讓客戶使用上無后顧之憂,并且為客戶解決使用上或應(yīng)用上問題

  赫哲真空(Hertzian)秉承誠信合作、與時俱進(jìn),為新老客戶提供優(yōu)質(zhì)的產(chǎn)品和服務(wù),歡迎各界朋友前來洽談合作,共創(chuàng)未來。

真空泵、真空油品、真空泵維修包等相關(guān)設(shè)備配件
STP-iX455 渦輪分子泵具有性磁力軸承和電機(jī)驅(qū)動系統(tǒng),與上一代渦輪泵相比將振動降低了 50%。采用集成的控制器,不需要使用傳統(tǒng)的安裝于機(jī)架上的控制器及互連電纜,不需要水冷卻。此泵的氮?dú)獬樗贋?450 ls-1。STP-iX455 極為適合電子顯微鏡、度量學(xué)、光刻和其他對振動的應(yīng)用。
STP-iX455 真空一體式渦輪分子泵 產(chǎn)品信息
概述
STP-iX455 渦輪分子泵具有性磁力軸承和電機(jī)驅(qū)動系統(tǒng),與上一代渦輪泵相比將振動降低了 50%。采用集成的控制器,不需要使用傳統(tǒng)的安裝于機(jī)架上的控制器及互連電纜,不需要水冷卻。
此泵的氮?dú)獬樗贋?450 ls-1。STP-iX455 極為適合電子顯微鏡、度量學(xué)、光刻和其他對振動的應(yīng)用。

應(yīng)用
金屬(鋁)、鎢和電介質(zhì)(氧化物)以及多晶硅等離子刻蝕(氯化物、氟化物和溴化物)
電子回旋共振 (ECR) 刻蝕
薄膜沉積 CVD、PECVD、ECRCVD、MOCVD
濺射
離子注入源,射束線泵送端點(diǎn)站
MBE
擴(kuò)散
光致抗蝕劑脫模
晶體/晶膜生長
晶片檢查
負(fù)載鎖真空腔
科學(xué)儀器:表面分析、質(zhì)譜分析、電子顯微鏡
高能物理:射束線、加速器

放射線應(yīng)用:融合系統(tǒng)、回旋


功能和優(yōu)勢
緊湊型設(shè)計(jì),包括集成的控制器
性自傳感軸承系統(tǒng)
數(shù)字化 5 軸控制
與現(xiàn)有渦輪泵相比振動級別降低了 50%
可以配置為運(yùn)行腐蝕性制程
自動平衡系統(tǒng) (ABS) 標(biāo)準(zhǔn)
自動減振 (AVR) 標(biāo)準(zhǔn)
列于 UL 中,具有 CE 標(biāo)記,符合 SEMI® S2

數(shù)據(jù)

入口法蘭 ISO100K
抽速
N2 300 ls-1
H2 300 ls-1
壓縮比
N2 >108
H2 >1 x 104
極限壓力 6.5 x 10-6 Pa
大工作壓力 1.3 x 10-1 Pa
允許的前級壓力 67 Pa
額定速度 55000 rpm
啟動時間 <6 分鐘
固定位置 任何方向
冷卻方法 自然冷卻(加熱和氣體泵送時進(jìn)行水冷卻或空氣冷卻)
潤滑油 不需要
前級泵 240 lmin-1
泄露磁通量
軸向方向 <100 m/Gauss
徑向方向 <100 m/Gauss
環(huán)境溫度范圍 0 至 40 °C
存儲溫度范圍 -25 至 55 °C
重量 15 kg
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