產(chǎn)品簡介
| 入口法蘭 | ISO320F |
| 抽速 | |
| N2 | 3200 ls-1 |
| H2 | 2300 ls-1 |
| 壓縮比 | |
| N2 | >108 |
| H2 | >6 x 103 |
| 極限壓力 | 10-7 Pa |
| 大允許前級壓力 | 266 Pa |
| 大允許氣體流量 | |
| N2（水冷卻） | 2300 sccm |
| | (3.8 Pam3s-1) |
| Ar（水冷卻） | 1900 sccm |
| | (3.2 Pam3s-1) |
| 額定速度 | 27500 rpm |
| 啟動時間 | 8 min |
| 固定位置 | 任何方向 |
| 水冷卻 | |
| 流量 | 3 lmin-1 |
| 溫度 | 5-25 °C (41-77 °F) |
| 壓力 | 0.3 MPa |
| 的吹掃氣體流量 | 50 sccm |
| | (8.4 x 10-2 Pam3s-1) |
| 輸入電壓 | 200 至 240 (± 10) V 交流 |
| 功耗 | 1.5 kVA |
| 泵重量 | 80 kg (176 lb) |
| 控制器重量 | 12 kg (26.4 lb) |
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