製品概要
此泵基于新的設(shè)計(jì),提供功能以改善熱管理,從而增強(qiáng)在嚴(yán)苛制程中的性能,提高大制程流能力,并減少腐蝕和沉積的影響。
它設(shè)計(jì)成既可以處理溫和的應(yīng)用,也可以處理嚴(yán)苛的應(yīng)用,例如刻蝕、注入、光刻和 FPD 制程。
功能和優(yōu)勢
- 的轉(zhuǎn)子設(shè)計(jì)
- 改進(jìn)的氬氣性能
- 同類產(chǎn)品中抽速高
- 寬的制程范圍
- 在較低壓力下具有較高的吞吐量
- 免維護(hù)
- 可用于嚴(yán)苛制程
- 5 軸磁懸浮系統(tǒng)
- 無污染
- 低振動(dòng)
- 高度
- 經(jīng)優(yōu)化的溫度分配
- 低沉積
- 內(nèi)置冷卻機(jī)械裝置
- 更高的氣體吞吐量
- 使用壽命延長
-
- 符合標(biāo)準(zhǔn)
- 列于 UL 中,具有 CE 標(biāo)記,符合 SEMI® S2
數(shù)據(jù)
| 入口法蘭尺寸 | VF300、ISO320F、VG350 |
| 前級抽氣口尺寸 | KF40 |
| 抽速 | |
| N2 | 3800 至 4300 ls-1 |
| | (取決于具體型號) |
| H2 | 2500 ls-1 |
| 壓縮比 | |
| N2 | >108 |
| H2 | 6 x 103 |
| 極限壓力 | 10-7 Pa / 10-9 mbar |
| 大允許前級壓力 | 266 Pa / 2.66 mbar |
| 大允許氣體流量 N2 (僅水冷卻) | 2800 sccm |
| | 4.73 Pam3s-1 |
| 大允許氣體流量 Ar (僅水冷卻) | 2150 sccm |
| | 3.63 Pam3s-1 |
| 額定速度 | 24000 rpm |
| 運(yùn)轉(zhuǎn)到 90% 額定速度的時(shí)間 | 12 分鐘 |
| 固定位置 | 任何方向 |
| 水冷卻 | |
| 流量 | 3 lmin-1 |
| 溫度 | 5 – 25 °C / 41 – 77 °F |
| 壓力 | 0.3 MPa |
| 的吹掃氣體流量 N2 | 50 sccm/8.4 x 10-2 Pam3s-1 |
| 輸入電壓 | 200 – 240 ±10 % V 交流 |
| 大輸入功率(不帶 TMS) | 1.5 KVA |


















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