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STP-XA4503C 真空渦輪分子泵

參考價(jià)面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱上海赫哲真空設(shè)備有限公司
  • 品       牌
  • 型       號STP-XA4503C
  • 所  在  地上海
  • 廠商性質(zhì)代理商
  • 更新時(shí)間2025/3/21 7:18:35
  • 訪問次數(shù)167
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上海赫哲真空設(shè)備有限公司是一家依靠德國*技術(shù)、*海歸工程師團(tuán)隊(duì)組成,以真空設(shè)備銷售和維修為主,集科研開發(fā)、工程項(xiàng)目、技術(shù)服務(wù)于一體的*。

 

  赫哲真空(Hertzian)擁有*的售后團(tuán)隊(duì),在上海設(shè)有專業(yè)維修工廠,為客戶24小時(shí)提供所有銷售產(chǎn)品的技術(shù)支持及售后服務(wù),公司擁有各種油泵、旋片式真空泵、干泵、機(jī)械泵等真空泵的維修保養(yǎng)技術(shù)、各類工具和必要的部品,能應(yīng)客戶要求,對客戶工廠設(shè)置的真空機(jī)器、設(shè)備提供定期維護(hù)、保養(yǎng)服務(wù)。

 

  赫哲真空(Hertzian)代理銷售世界-意大利DVP,旗下產(chǎn)品有真空泵、真空油品、真空泵配件維修包等相關(guān)設(shè)備配件材料。

 

  赫哲真空(Hertzian)銷售的產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于車輛、土木建筑工程、機(jī)械、包裝、環(huán)境保護(hù)、醫(yī)藥及醫(yī)療器械、石油、化工、食品、光學(xué)、電氣、電子、原子能、半導(dǎo)體、航空航天、低溫、*機(jī)械、紡織、造紙、農(nóng)業(yè)以及民用工業(yè)等工業(yè)部門和科學(xué)研究工作中。依托*的質(zhì)量、*的技術(shù)、人性化的管理、多元化的解決方案和服務(wù),以上海為中心輻射到全國各地,深受海內(nèi)外客戶的認(rèn)可。                          

除提供優(yōu)質(zhì)的服務(wù)及咨詢,并且堅(jiān)實(shí)的后勤工作團(tuán)隊(duì),為客戶提供質(zhì)量及技術(shù)的Z佳保證,讓客戶使用上無后顧之憂,并且為客戶解決使用上或應(yīng)用上問題

  赫哲真空(Hertzian)秉承誠信合作、與時(shí)俱進(jìn),為新老客戶提供優(yōu)質(zhì)的產(chǎn)品和服務(wù),歡迎各界朋友前來洽談合作,共創(chuàng)未來。

真空泵、真空油品、真空泵維修包等相關(guān)設(shè)備配件
STP-XA4503C 磁力軸承渦輪分子泵具有很寬的制程范圍(從高真空到高流量要求),對氣體都具有更高的吞吐量。 此泵基于新的設(shè)計(jì),提供功能以改善熱管理,從而增強(qiáng)在嚴(yán)苛制程中的性能,提高大制程流能力,并減少腐蝕和沉積的影響。 它設(shè)計(jì)成既可以處理溫和的應(yīng)用,也可以處理嚴(yán)苛的應(yīng)用,例如刻蝕、注入、光刻和 FPD 制程。
STP-XA4503C 真空渦輪分子泵 產(chǎn)品信息

製品概要

STP-XA4503C 磁力軸承渦輪分子泵具有很寬的制程范圍(從高真空到高流量要求),對氣體都具有更高的吞吐量。 
  
此泵基于新的設(shè)計(jì),提供功能以改善熱管理,從而增強(qiáng)在嚴(yán)苛制程中的性能,提高大制程流能力,并減少腐蝕和沉積的影響。 
  
它設(shè)計(jì)成既可以處理溫和的應(yīng)用,也可以處理嚴(yán)苛的應(yīng)用,例如刻蝕、注入、光刻和 FPD 制程。

功能和優(yōu)勢

  • 的轉(zhuǎn)子設(shè)計(jì)
    • 改進(jìn)的氬氣性能
    • 同類產(chǎn)品中抽速高
    • 寬的制程范圍
    • 在較低壓力下具有較高的吞吐量
    • 免維護(hù)
    • 可用于嚴(yán)苛制程
  • 5 軸磁懸浮系統(tǒng)
    • 無污染
    • 低振動(dòng)
    • 高度
  • 經(jīng)優(yōu)化的溫度分配
    • 低沉積
    • 內(nèi)置冷卻機(jī)械裝置
    • 更高的氣體吞吐量
    • 使用壽命延長
    • 符合標(biāo)準(zhǔn)
    • 列于 UL 中,具有 CE 標(biāo)記,符合 SEMI® S2

數(shù)據(jù)

入口法蘭尺寸 VF300、ISO320F、VG350
前級抽氣口尺寸 KF40
抽速
  N2 3800 至 4300 ls-1

(取決于具體型號)
  H2 2500 ls-1
壓縮比
  N2 >108
  H2 6 x 103
極限壓力 10-7 Pa / 10-9 mbar
大允許前級壓力 266 Pa / 2.66 mbar
大允許氣體流量 N2
(僅水冷卻)
2800 sccm

4.73 Pam3s-1
大允許氣體流量 Ar
(僅水冷卻)
2150 sccm

3.63 Pam3s-1
額定速度 24000 rpm
運(yùn)轉(zhuǎn)到 90% 額定速度的時(shí)間 12 分鐘
固定位置 任何方向
水冷卻
  流量 3 lmin-1
  溫度 5 – 25 °C / 41 – 77 °F
  壓力 0.3 MPa
的吹掃氣體流量 N2 50 sccm/8.4 x 10-2 Pam3s-1
輸入電壓 200 – 240 ±10 % V 交流
大輸入功率(不帶 TMS) 1.5 KVA

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