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  • STP-XA4503C 真空渦輪分子泵
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品牌

廠商性質(zhì)

代理商

型號(hào)

STP-XA4503C

訪問次數(shù)

194

產(chǎn)地

上海

更新時(shí)間

2025/3/21 7:18:35

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產(chǎn)品簡介

STP-XA4503C 磁力軸承渦輪分子泵具有很寬的制程范圍（從高真空到高流量要求），對(duì)氣體都具有更高的吞吐量。 此泵基于新的設(shè)計(jì)，提供功能以改善熱管理，從而增強(qiáng)在嚴(yán)苛制程中的性能，提高大制程流能力，并減少腐蝕和沉積的影響。 它設(shè)計(jì)成既可以處理溫和的應(yīng)用，也可以處理嚴(yán)苛的應(yīng)用，例如刻蝕、注入、光刻和 FPD 制程。

STP-XA4503C 真空渦輪分子泵詳細(xì)信息

製品概要

STP-XA4503C 磁力軸承渦輪分子泵具有很寬的制程范圍（從高真空到高流量要求），對(duì)氣體都具有更高的吞吐量。 
  
此泵基于新的設(shè)計(jì)，提供功能以改善熱管理，從而增強(qiáng)在嚴(yán)苛制程中的性能，提高大制程流能力，并減少腐蝕和沉積的影響。 
  
它設(shè)計(jì)成既可以處理溫和的應(yīng)用，也可以處理嚴(yán)苛的應(yīng)用，例如刻蝕、注入、光刻和 FPD 制程。

功能和優(yōu)勢(shì)

  • 的轉(zhuǎn)子設(shè)計(jì)
    • 改進(jìn)的氬氣性能
    • 同類產(chǎn)品中抽速高
    • 寬的制程范圍
    • 在較低壓力下具有較高的吞吐量
    • 免維護(hù)
    • 可用于嚴(yán)苛制程
  • 5 軸磁懸浮系統(tǒng)
    • 無污染
    • 低振動(dòng)
    • 高度
  • 經(jīng)優(yōu)化的溫度分配
    • 低沉積
    • 內(nèi)置冷卻機(jī)械裝置
    • 更高的氣體吞吐量
    • 使用壽命延長
    • 符合標(biāo)準(zhǔn)
    • 列于 UL 中，具有 CE 標(biāo)記，符合 SEMI® S2

數(shù)據(jù)

入口法蘭尺寸 VF300、ISO320F、VG350
前級(jí)抽氣口尺寸 KF40
抽速
  N2 3800 至 4300 ls-1

（取決于具體型號(hào)）
  H2 2500 ls-1
壓縮比
  N2 >108
  H2 6 x 103
極限壓力 10-7 Pa / 10-9 mbar
大允許前級(jí)壓力 266 Pa / 2.66 mbar
大允許氣體流量 N2
（僅水冷卻） 		2800 sccm

4.73 Pam3s-1
大允許氣體流量 Ar
（僅水冷卻） 		2150 sccm

3.63 Pam3s-1
額定速度 24000 rpm
運(yùn)轉(zhuǎn)到 90% 額定速度的時(shí)間 12 分鐘
固定位置 任何方向
水冷卻
  流量 3 lmin-1
  溫度 5 – 25 °C / 41 – 77 °F
  壓力 0.3 MPa
的吹掃氣體流量 N2 50 sccm/8.4 x 10-2 Pam3s-1
輸入電壓 200 – 240 ±10 % V 交流
大輸入功率（不帶 TMS） 1.5 KVA

用戶評(píng)論

發(fā)布評(píng)論
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