產(chǎn)品簡介
| 入口法蘭 | ISO200F |
| KF40 | |
| 吹掃口 | KF10 |
| 水冷卻接頭 | PT1/4 |
| 抽速 | |
| N2 | 1300 ls-1 |
| H2 | 800 ls-1 |
| 壓縮比 | |
| N2 | >108 |
| H2 | 103 |
| 加熱時的極限壓力 | 10-7 Pa |
| | (10-9 Torr) |
| 大連續(xù)壓力 | 270 Pa |
| | (2 Torr) |
| 大氮氣吞吐量 | 1500 sccm |
| 額定速度 | 32500 rpm |
| 啟動時間 | 7 分鐘 |
| 高入口法蘭溫度 | 120 °C |
| 輸入電壓 | 200 至 240 (± 10) V 交流 |
| 功耗 | 0.85 kVA |
| 泵重量 | 39 kg |
| 控制器重量 | 9 kg |
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