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STPA1603C 真空渦輪分子泵

參考價(jià)面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱上海赫哲真空設(shè)備有限公司
  • 品       牌
  • 型       號(hào)STPA1603C
  • 所  在  地上海
  • 廠商性質(zhì)代理商
  • 更新時(shí)間2025/3/21 7:14:40
  • 訪問(wèn)次數(shù)182
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上海赫哲真空設(shè)備有限公司是一家依靠德國(guó)*技術(shù)、*海歸工程師團(tuán)隊(duì)組成,以真空設(shè)備銷售和維修為主,集科研開(kāi)發(fā)、工程項(xiàng)目、技術(shù)服務(wù)于一體的*。

 

  赫哲真空(Hertzian)擁有*的售后團(tuán)隊(duì),在上海設(shè)有專業(yè)維修工廠,為客戶24小時(shí)提供所有銷售產(chǎn)品的技術(shù)支持及售后服務(wù),公司擁有各種油泵、旋片式真空泵、干泵、機(jī)械泵等真空泵的維修保養(yǎng)技術(shù)、各類工具和必要的部品,能應(yīng)客戶要求,對(duì)客戶工廠設(shè)置的真空機(jī)器、設(shè)備提供定期維護(hù)、保養(yǎng)服務(wù)。

 

  赫哲真空(Hertzian)代理銷售世界-意大利DVP,旗下產(chǎn)品有真空泵、真空油品、真空泵配件維修包等相關(guān)設(shè)備配件材料。

 

  赫哲真空(Hertzian)銷售的產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于車輛、土木建筑工程、機(jī)械、包裝、環(huán)境保護(hù)、醫(yī)藥及醫(yī)療器械、石油、化工、食品、光學(xué)、電氣、電子、原子能、半導(dǎo)體、航空航天、低溫、*機(jī)械、紡織、造紙、農(nóng)業(yè)以及民用工業(yè)等工業(yè)部門(mén)和科學(xué)研究工作中。依托*的質(zhì)量、*的技術(shù)、人性化的管理、多元化的解決方案和服務(wù),以上海為中心輻射到全國(guó)各地,深受海內(nèi)外客戶的認(rèn)可。                          

除提供優(yōu)質(zhì)的服務(wù)及咨詢,并且堅(jiān)實(shí)的后勤工作團(tuán)隊(duì),為客戶提供質(zhì)量及技術(shù)的Z佳保證,讓客戶使用上無(wú)后顧之憂,并且為客戶解決使用上或應(yīng)用上問(wèn)題

  赫哲真空(Hertzian)秉承誠(chéng)信合作、與時(shí)俱進(jìn),為新老客戶提供優(yōu)質(zhì)的產(chǎn)品和服務(wù),歡迎各界朋友前來(lái)洽談合作,共創(chuàng)未來(lái)。

真空泵、真空油品、真空泵維修包等相關(guān)設(shè)備配件
小巧而的 Edwards STPA1603C 渦輪分子泵采用 Edwards 的轉(zhuǎn)子進(jìn)行設(shè)計(jì)。它提供的吞吐量、高的性和的性能,滿足半導(dǎo)體制程的需要。其半機(jī)架的控制器和緊湊型設(shè)計(jì)可節(jié)省可觀的空間,而其的沉積減少系統(tǒng)提高了性和性能。STPA1603C 已經(jīng)在新的 200 mm 刻蝕工具上得到了證明,也能夠滿足 300 mm 氧化物腐蝕制程的需要。
STPA1603C 真空渦輪分子泵 產(chǎn)品信息

概述

小巧而的 Edwards STPA1603C 渦輪分子泵采用 Edwards 的轉(zhuǎn)子進(jìn)行設(shè)計(jì)。它提供的吞吐量、高的性和的性能,滿足半導(dǎo)體制程的需要。其半機(jī)架的控制器和緊湊型設(shè)計(jì)可節(jié)省可觀的空間,而其的沉積減少系統(tǒng)提高了性和性能。STPA1603C 已經(jīng)在新的 200 mm 刻蝕工具上得到了證明,也能夠滿足 300 mm 氧化物腐蝕制程的需要。

應(yīng)用

  • 金屬(鋁)、鎢和電介質(zhì)(氧化物)以及多晶硅等離子刻蝕(氯化物、氟化物和溴化物)
  • 電子回旋共振 (ECR) 刻蝕
  • 薄膜沉積 CVD、PECVD、ECRCVD、MOCVD
  • 濺射
  • 離子注入源,射束線泵送端點(diǎn)站
  • MBE
  • 擴(kuò)散
  • 光致抗蝕劑脫模
  • 晶體/晶膜生長(zhǎng)
  • 晶片檢查
  • 負(fù)載鎖真空腔
  • 科學(xué)儀器:表面分析、質(zhì)譜分析、電子顯微鏡
  • 高能物理:射束線、加速器
  • 放射線應(yīng)用:融合系統(tǒng)、回旋

功能和優(yōu)勢(shì)

的轉(zhuǎn)子設(shè)計(jì)  
  • 改進(jìn)的性能
  • 更高的氣體吞吐量
  • 高度
  • 免維護(hù)
  • 可用于嚴(yán)苛制程
5 軸磁懸浮系統(tǒng)  
  • 無(wú)污染
  • 低振動(dòng)
防腐蝕  
  • 可用于嚴(yán)苛制程
  • 使用壽命延長(zhǎng)
緊湊型設(shè)計(jì)  
  • 占地面積小
  • 半機(jī)架控制器
的控制器設(shè)計(jì) 
  • 自動(dòng)調(diào)整
  • 自行診斷功能
  • 直流電機(jī)驅(qū)動(dòng)
  • 無(wú)電池運(yùn)行

數(shù)據(jù)

入口法蘭 ISO200F
KF40
吹掃口 KF16
水冷卻接頭 PT1/4
抽速
  N2 1600 ls-1
  H2 1200 ls-1
壓縮比
  N2 >108
  H2 >7 x 103
加熱時(shí)的極限壓力 10-7 Pa
大允許前級(jí)壓力 266 Pa

(2 Torr)
大氮?dú)馔掏铝? 2500 sccm
額定速度 36500 rpm
啟動(dòng)時(shí)間 7 分鐘
固定位置 任意
水冷卻流量 2 lmin-1
溫度 5-25 °C
壓力 0.3 MPa
的吹掃氣體流量 20 sccm
輸入電壓 200 至 240 (± 10) V 交流
功耗 0.85 kVA
泵重量 35 kg
控制器重量 9 kg

關(guān)鍵詞:控制器 電子顯微鏡
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