產(chǎn)品簡介
| 入口法蘭 | ISO200F |
| KF40 | |
| 吹掃口 | KF16 |
| 水冷卻接頭 | PT1/4 |
| 抽速 | |
| N2 | 1600 ls-1 |
| H2 | 1200 ls-1 |
| 壓縮比 | |
| N2 | >108 |
| H2 | >7 x 103 |
| 加熱時的極限壓力 | 10-7 Pa |
| 大允許前級壓力 | 266 Pa |
| | (2 Torr) |
| 大氮氣吞吐量 | 2500 sccm |
| 額定速度 | 36500 rpm |
| 啟動時間 | 7 分鐘 |
| 固定位置 | 任意 |
| 水冷卻流量 | 2 lmin-1 |
| 溫度 | 5-25 °C |
| 壓力 | 0.3 MPa |
| 的吹掃氣體流量 | 20 sccm |
| 輸入電壓 | 200 至 240 (± 10) V 交流 |
| 功耗 | 0.85 kVA |
| 泵重量 | 35 kg |
| 控制器重量 | 9 kg |
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