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STP-iXA4506 真空磁懸浮渦輪分子泵

參考價(jià)面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱(chēng)上海赫哲真空設(shè)備有限公司
  • 品       牌
  • 型       號(hào)STP-iXA4506
  • 所  在  地上海
  • 廠商性質(zhì)代理商
  • 更新時(shí)間2025/3/20 8:53:44
  • 訪問(wèn)次數(shù)216
產(chǎn)品標(biāo)簽:

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上海赫哲真空設(shè)備有限公司是一家依靠德國(guó)*技術(shù)、*海歸工程師團(tuán)隊(duì)組成,以真空設(shè)備銷(xiāo)售和維修為主,集科研開(kāi)發(fā)、工程項(xiàng)目、技術(shù)服務(wù)于一體的*。

 

  赫哲真空(Hertzian)擁有*的售后團(tuán)隊(duì),在上海設(shè)有專(zhuān)業(yè)維修工廠,為客戶(hù)24小時(shí)提供所有銷(xiāo)售產(chǎn)品的技術(shù)支持及售后服務(wù),公司擁有各種油泵、旋片式真空泵、干泵、機(jī)械泵等真空泵的維修保養(yǎng)技術(shù)、各類(lèi)工具和必要的部品,能應(yīng)客戶(hù)要求,對(duì)客戶(hù)工廠設(shè)置的真空機(jī)器、設(shè)備提供定期維護(hù)、保養(yǎng)服務(wù)。

 

  赫哲真空(Hertzian)代理銷(xiāo)售世界-意大利DVP,旗下產(chǎn)品有真空泵、真空油品、真空泵配件維修包等相關(guān)設(shè)備配件材料。

 

  赫哲真空(Hertzian)銷(xiāo)售的產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于車(chē)輛、土木建筑工程、機(jī)械、包裝、環(huán)境保護(hù)、醫(yī)藥及醫(yī)療器械、石油、化工、食品、光學(xué)、電氣、電子、原子能、半導(dǎo)體、航空航天、低溫、*機(jī)械、紡織、造紙、農(nóng)業(yè)以及民用工業(yè)等工業(yè)部門(mén)和科學(xué)研究工作中。依托*的質(zhì)量、*的技術(shù)、人性化的管理、多元化的解決方案和服務(wù),以上海為中心輻射到全國(guó)各地,深受海內(nèi)外客戶(hù)的認(rèn)可。                          

除提供優(yōu)質(zhì)的服務(wù)及咨詢(xún),并且堅(jiān)實(shí)的后勤工作團(tuán)隊(duì),為客戶(hù)提供質(zhì)量及技術(shù)的Z佳保證,讓客戶(hù)使用上無(wú)后顧之憂,并且為客戶(hù)解決使用上或應(yīng)用上問(wèn)題

  赫哲真空(Hertzian)秉承誠(chéng)信合作、與時(shí)俱進(jìn),為新老客戶(hù)提供優(yōu)質(zhì)的產(chǎn)品和服務(wù),歡迎各界朋友前來(lái)洽談合作,共創(chuàng)未來(lái)。

真空泵、真空油品、真空泵維修包等相關(guān)設(shè)備配件
Edwards STP-iXA4506 系列磁懸浮渦輪分子泵 (TMP) 使用的,為如今具有挑戰(zhàn)性的應(yīng)用提供業(yè)內(nèi)的性能、更好的氣流能力和高溫管理。
STP-iXA4506 真空磁懸浮渦輪分子泵 產(chǎn)品信息

製品概要

Edwards STP-iXA4506 系列磁懸浮渦輪分子泵 (TMP) 使用的,為如今具有挑戰(zhàn)性的應(yīng)用提供業(yè)內(nèi)的性能、更好的氣流能力和高溫管理。

用途

  • 金屬(鋁)、鎢和電介質(zhì)(氧化物)以及多晶硅等離子刻蝕(氯化物、氟化物和溴化物)
  • 電子回旋共振 (ECR) 刻蝕
  • 薄膜沉積 CVD、PECVD、ECRCVD、MOCVD
  • 濺射
  • 離子注入源,射束線泵送和站

特性與優(yōu)勢(shì)

    • 由于采用全集成控制器和電源,不需要電纜和單獨(dú)的
    • 控制器安裝卡槽,從而使 TMP 組件具有成本效益且結(jié)構(gòu)緊湊,能夠快速簡(jiǎn)單地安裝在狹小的空間。
    • 大連續(xù)流量達(dá) 4300 sccm (N2),與 STP-XA4503 相比性能提高 50% 以上。
    • 使用高 35 °C 的冷卻水供應(yīng)時(shí),泵能夠高效運(yùn)轉(zhuǎn)。
    • 提供了溫度管理系統(tǒng) (TMS) 裝置,用于處理在過(guò)程中產(chǎn)生的副產(chǎn)品。
    • I/O 遠(yuǎn)程、RS232C、RS485、STP-Link 是標(biāo)配端口。
    • UL 標(biāo)記,CE 標(biāo)記,符合 SEMI-S2 和 RoHS 標(biāo)準(zhǔn)。

數(shù)據(jù)

法蘭
KF40
抽取速度

N2/H2 升/秒
VG300
3800/2700
ISO320F
4000/2700
VG350
4300/2700
VG400
4300/2700
壓縮比 N2/H2
>108 / 103
極限壓力 Pa (Torr) 10-7(10-9)
允許的前級(jí)壓力 Pa (Torr) 266(2)
大氣體流速 N2 1
4300
(僅水冷卻) (Pa m3/sec) (7.26)
大氣體流速 Ar 1
2600
(僅水冷卻) (Pa m3/sec) (4.39)
額定速度 rpm 24,240
啟動(dòng)時(shí)間 分鐘 11
固定位置
任何方向
輸入電壓 V 200-240
大輸入功率

不帶 TMS VA 1700
帶 TMS VA 2200
重量 kg
VG300
109
ISO320F
111
VG350
104
VG400
111

關(guān)鍵詞:控制器
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