製品概要
新的緊湊型 EPX500 高真空干泵的特性是：工作性能，運行成本更低。 EPX500 使用了的保護(hù)機(jī)械裝置，能夠從大氣壓抽空到小于 7 x 10-5 Torr 的極限壓力。
EPX NE 系列的泵具有一個終用戶控制器 (EUC)。 通過終用戶控制器可以實現(xiàn)獨立使用的本地控制，并能夠連接到結(jié)構(gòu)的網(wǎng)絡(luò)，以進(jìn)行遠(yuǎn)程控制和監(jiān)視。
EPX NE 系列的泵具有一個終用戶控制器 (EUC)。 通過終用戶控制器可以實現(xiàn)獨立使用的本地控制，并能夠連接到結(jié)構(gòu)的網(wǎng)絡(luò)，以進(jìn)行遠(yuǎn)程控制和監(jiān)視。
應(yīng)用
- 負(fù)載鎖
- 傳輸腔
- PVD 濺射
- 灰化/PR 剝離
- 電介質(zhì)刻蝕
EPX“N”系列包括一個可提供氮清洗的氣體模塊，從而可將應(yīng)用范圍擴(kuò)大為中等制程，在這類制程中預(yù)期存在的腐蝕性蒸汽和微粒的程度較低。
功能和優(yōu)勢
- 緊湊的占地面積 – 作為可用的工具上泵之一，EPX 節(jié)省了占地面積。EPX 可以直接安裝到工具上，從而節(jié)省了前級管道和安裝成本，如果需要也可遠(yuǎn)程安裝。
- 低運行成本 - EPX 僅需要 1.4 kW 的功率和整合空閑模式，從而可大化功率效率。
- 的保護(hù)機(jī)械裝置 – EPX 可以從大氣壓抽空到渦輪分子基準(zhǔn)壓力，并可以在進(jìn)氣口壓力下連續(xù)工作。
- 清潔機(jī)械裝置 – 傳統(tǒng)的高真空軸承底油脂使用油脂潤滑，這可能成為制程工具中污染源。EPX 泵沒有高真空軸承底油脂，并且不存在任何其他的潛在污染源。
- – EPX 基于經(jīng)過現(xiàn)場驗證的 IPX ，具有 13 年的 MTBFp (SEMI E10)，大約每 5 年維修一次，大程度地延長了泵的使用壽命。
- 可兼容的網(wǎng)絡(luò) - EPX 系列配有終用戶控制，可以連接到結(jié)構(gòu)的網(wǎng)絡(luò)，以進(jìn)行診斷監(jiān)視和控制。
數(shù)據(jù)
| 峰值速度 | 500 m3h-1 |
| | 295 ft3min-1 |
| | 8338 lmin-1 |
| 極限真空 | <1 x 10-6 mbar |
| | <7 x 10-7 Torr |
| | <1 x 10-4 Pa |
| 預(yù)熱時間（達(dá)到標(biāo)稱性能） | 30 分鐘 |
| 入口法蘭 | ISO160 |
| 法蘭 | NW25 |
| 噪音 | <59 dB(A) |
| 冷卻水流速 | 2 lmin-1 |
| 冷卻水溫度 | 15 – 35°C |
| 氮氣供給接口 | 1/4 in (6.5 mm) 管 |
| 氮氣供給壓力 | 3 x 105 – 7 x 105 Pa |
| 低氮純度 | 99.95% |
| 電源供給 | 200/208 V，50/60 Hz，3 相 |
| 極限功率 | 1.4 kW |
| 電機(jī)額定功率 | 3.0 kW |
| TIM | 無 |
| 重量 | 45.2 kg |
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