溝槽腐蝕機(jī)-

概述

1.1 設(shè)備概況：

主要功能：本設(shè)備主要手動(dòng)搬運(yùn)方式，通過(guò)對(duì)si片腐蝕、漂洗、等方式進(jìn)行處理，從而達(dá)到一個(gè)用戶要求的效果。

1.1.1 設(shè)備名稱：溝槽腐蝕機(jī)

1.1.2 設(shè)備型號(hào)：-SC-N601

1.1.3 整機(jī)尺寸(參考)：約2000mm（L）×1400mm(W)×2000mm(H)；

1.1.4 被清洗硅片尺寸：5寸/6寸

1.1.5 設(shè)備形式:室內(nèi)放置型;

1.1.6 操作形式：手動(dòng)

1.2 設(shè)備組成

該設(shè)備主要由清洗部分、抽風(fēng)系統(tǒng)及電控部分組成

設(shè)備工藝走向：參照本方案臺(tái)面布局圖

1.3 設(shè)備描述

●此裝置是一個(gè)半自動(dòng)的處理設(shè)備。

●8.0英寸PROFACE 人機(jī)界面顯示 / 檢測(cè) / 操作

●主體材料：10mmPP板，優(yōu)質(zhì)不銹鋼骨架，外包3mmPP板防腐；

●化學(xué)槽槽體材料：德國(guó)勞士領(lǐng) 10mm PVDF板；

●純水槽槽體材料：德國(guó)勞士領(lǐng) 10mm NPP板；

●臺(tái)面板為10mm PP板（帶有菱形漏液孔）；

●DIW主管路及構(gòu)件采用日本進(jìn)口clean-PVC管材，支管路及閥件采用PFA材質(zhì)，需滿足18M去離子水水質(zhì)要求；酸 堿管路材質(zhì)為進(jìn)口PFA/PVDF；

●采用國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)生產(chǎn)加工，焊接組裝均在萬(wàn)級(jí)凈化間內(nèi)完成

●排風(fēng)：位于機(jī)臺(tái)后下部

●工作照明：上方防酸型白光照明

●歐姆龍/三菱 PLC控制。

●安全考慮：

1. 設(shè)有EMO(急停裝置)，

2. 強(qiáng)電弱點(diǎn)隔離

3. 所有電磁閥均高于工作槽體工作液面

4. 電控箱正壓裝置（CDA Purge）

5. 設(shè)備三層防漏 樓盤(pán)傾斜 漏液報(bào)警 設(shè)備整體置于防漏托盤(pán)內(nèi)

6. 排放管路加過(guò)濾裝置

7 排液按鈕具有連鎖功能。啟動(dòng)排液時(shí)，同時(shí)切斷泵啟動(dòng)。

8 槽內(nèi)配液位開(kāi)關(guān)，無(wú)液不循環(huán)。

半導(dǎo)體設(shè)備；

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