類型

槽式

尺寸(參考)

約3500（L）×1350 (W)×2300mm (H)

清洗件規(guī)格

4” 2籃50片

設備凈重

1T

運行重量

1.5T±10%

電源

380v 50hz

功率

70kw

槽體尺寸

200mm*400mm*260mm

槽數(shù)

6個

操作方式

手動/半自動/全自動

適用規(guī)格

2英寸-8英寸

適用領(lǐng)域

半導體、太陽能、液晶等

設備穩(wěn)定性

1、清洗良品率≥99%

2、≥0.2um顆粒少于10顆

1

設備機架采用不銹鋼骨架外包PP板，耐酸堿腐蝕；

2

電氣區(qū)設置在設備后上部，與濕區(qū)和管路區(qū)隔離；

3

槽體材料選用耐相應溶液腐蝕的材料；

4

機械手探入濕區(qū)部分的零部件表面噴氟或套PFA管處理；

5

設備排風采用頂部百級FFU送新風，臺面下抽風，每套工藝清洗槽都有自動開閉的槽蓋，槽蓋下有單獨的抽風裝置，排風口處設有自動調(diào)節(jié)風門，即上電打開風門，斷電關(guān)閉風門，具有風壓檢測功能，以及氮氣、壓縮空氣壓力報警功能；

6

溶液槽中藥液自動供液按設定好比例混合，并可在工作過程中根據(jù)設定補液；客戶根據(jù)自身工藝條件自行設定；

7

臺面為多孔結(jié)構(gòu)，便于臺面上沖洗水、液的排出；

8

操作面設有透明PVC安全門；

9

設備設有漏電、急停、液位、過溫、安全門開、漏液、超時等保護和報警裝置，保證設備的安全可靠；

10

配備有進口PFA，水、各一。