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機臺用途: 機臺用來完成對外延石英鐘罩的清洗;工件進行內(nèi)部腐蝕清洗并干燥，外部進行水洗。適用鐘罩型號：3061；630/680

特點：生產(chǎn)主線為：該設(shè)備主要由濕法清洗工藝模塊+主軸旋轉(zhuǎn)系統(tǒng)模塊、清洗臂掃描旋轉(zhuǎn)系統(tǒng)模塊、N2吹干系統(tǒng)模塊、液體供應(yīng)系統(tǒng)模塊、空氣凈化（配帶離子風(fēng)機）及靜電去除...

生產(chǎn)主線為：腐蝕槽1、沖水槽2、輕刻槽3、沖水槽4、上下料臺，共4個清洗工位。右進右出設(shè)備。本設(shè)備電器控制部分關(guān)鍵件均采用進口優(yōu)質(zhì)件，性能可靠，使用壽命長；及背...

生產(chǎn)主線為：石英加熱槽1、QDR槽2、PVDF槽3、QDR槽4、NPP槽5、NPP槽6，QDR槽7,IPA干燥槽8，共8個制程工位。本設(shè)備電器控制部分關(guān)鍵件均采...

生產(chǎn)主線為：上料臺、MAE酸槽1、QDR槽2、MAE酸槽3、QDR槽4、C5酸槽5、QDR槽6、下料臺，共6個制程工位。本設(shè)備電器控制部分關(guān)鍵件均采用進口優(yōu)質(zhì)件...

有機清洗機生產(chǎn)主線為：上料臺、ACE1槽1、ACE2槽2、METH槽3、QDR槽4、QDR槽5、IPA槽6、HOT N2槽7、下料臺，共6個制程工位。本設(shè)備電器...

生產(chǎn)主線為：上料臺、超聲循環(huán)溢流槽1、循環(huán)溢流槽2、循環(huán)溢流槽3、QDR槽4、QDR槽5、下料臺，共5個制程工位。本設(shè)備電器控制部分關(guān)鍵件均采用進口優(yōu)質(zhì)件，性能...

生產(chǎn)主線為：H2O超聲槽1、界面活化劑槽2、H2O超聲槽3、界面活化劑槽4、H2O超聲槽5、HCL槽6、H2O超聲槽7，共7個制程工位。本設(shè)備電器控制部分關(guān)鍵件...

生產(chǎn)主線為： Load，藥液A槽1、QDR槽2……干燥槽N、Unload，共X個制程工位, 設(shè)置為6" *1 cassette晶舟上貨，將晶舟置于Robot上貨...

生產(chǎn)主線為：設(shè)置為自動晶舟上貨，將晶舟置于Robot上貨區(qū)位置，按下【啟動鍵】，Robot將自動以夾持方式移至制程槽進行預(yù)設(shè)之制程，完成設(shè)備本身設(shè)定之流程，達成...