機(jī)臺型號

CGB-SSC-XX；

機(jī)臺重量

XX

清洗能力（采購方提供cassette樣品）

8 inch  wafer；

處理方式

單片處理   人工手動取放片，干進(jìn)干出；

產(chǎn)能要求

濕法制程清洗工藝XXXX    Pcs /月（按照＜30min/run，50PCS/Run，22小時/天，26天/月計(jì)算，預(yù)估值）；

設(shè)備形式（潔凈度：千級潔凈室）

室內(nèi)放置型；

機(jī)臺封面、主要結(jié)構(gòu)材質(zhì)

聚丙烯磁白PP 10T（）；

SUS304單鏡面板材1.5T（√）；

機(jī)臺視窗

材質(zhì)

透明、抗靜電之聚氯乙烯PVC  5T （）；

SUS304單鏡面板材及鋼化玻璃   5T（√）； 

模式

上下舉升式（）；

左右推拉式（√）；

機(jī)臺主機(jī)強(qiáng)度結(jié)構(gòu)

整體SUS304不銹鋼結(jié)構(gòu)骨架；

防漏盤

材質(zhì)

聚丙烯磁白PP板材；

模式

分體式  每側(cè)尺寸比設(shè)備本體長50mm；

漏液檢測裝置

材質(zhì)

防腐材質(zhì)；

點(diǎn)式

單點(diǎn)式；

其它

水平調(diào)整

通過地腳調(diào)整設(shè)備水平；

設(shè)備移動

設(shè)備裝有樹脂腳輪以備設(shè)備移動之用；

臺面板

材質(zhì)

￠12mm左右洞洞結(jié)構(gòu)   聚丙烯磁白PP板材（√）；

￠12mm左右洞洞結(jié)構(gòu)   SUS304單鏡面板材（）；

模式

可拆式（√）；

一體式（）；

排風(fēng)系統(tǒng)

排風(fēng)口位置

設(shè)備后頂部（√）；

設(shè)備后部（）；

排風(fēng)通道結(jié)構(gòu)

1） 排風(fēng)強(qiáng)勁合理設(shè)計(jì)，為了排風(fēng)效果達(dá)到，排風(fēng)通道內(nèi)設(shè)有風(fēng)量導(dǎo)流板；

2） 為了方便操作人員根據(jù)情況及時調(diào)節(jié)排風(fēng)量，操作人員可小范圍調(diào)節(jié)機(jī)臺排風(fēng)背板上的可拆卸式(以便清除可能產(chǎn)生的結(jié)晶)排風(fēng)柵欄再配合機(jī)臺視窗上的可調(diào)進(jìn)氣模塊使用達(dá)到使用效果；

3） 設(shè)備排風(fēng)通道的底部帶排液管，冷凝回流的廢液通過管道排放至機(jī)臺U型濕區(qū)內(nèi)與QDR排出的廢水混合稀釋并排放至機(jī)臺后方廠務(wù)廢水專用管道內(nèi)；

機(jī)臺的電控系統(tǒng)

安裝在機(jī)體的后部; 觸摸屏及電源控制開關(guān)、照明等安裝在設(shè)備正前方。各槽體的工藝過程均由PLC、觸摸屏、溫控器、傳感器等組成。設(shè)備具有上電手動操作復(fù)位功能。每個機(jī)臺可存儲X套工藝配方，操作者可通過觸摸屏調(diào)用預(yù)先編制好的工藝配方。軟件系統(tǒng)具有工藝配方參數(shù)設(shè)定、手動維護(hù)、自動運(yùn)行、狀態(tài)監(jiān)控等畫面。軟件具有報(bào)警信息、歷史記錄、維護(hù)信息等系統(tǒng)記錄。軟件系統(tǒng)具有3級加密進(jìn)入權(quán)限設(shè)置：分別為設(shè)備作業(yè)員、設(shè)備工程師、工藝工程師，不可混用權(quán)限；