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詳細摘要： 氣體純化器，深度脫除雜質FTKLN系列是針對POU終端客戶需求研制的氣體純化器，A系列主要為提高高純度惰性氣體在微電子行的純度一致性和最終純度，利用科學的材料配...

詳細摘要： 適用于清潔、快速且減少湍流的回填過程Gasplate擴散器可以輕松安裝到真空系統(tǒng)中

詳細摘要： 防止意外高氣體流量限流裝置通常安裝在壓縮氣體供應管線和氣體分配歧管中，以防止由氣體管線破裂、閥門或壓力調節(jié)器故障引起的意外高氣體流量

詳細摘要： 優(yōu)異的化學兼容性、適用多種工藝氣體結合過濾器的顆粒攔截，減少工藝腔體排氣時的湍流Gasfaver系列擴散器，專為半導體制程中真空腔體快速放氣應用進行設計

詳細摘要： 過濾面積大，漿料分級過濾LibaGard系列囊式濾芯，專門針對高粘度、高固含流體的過濾而設計

詳細摘要： 的化學兼容性，耐高溫耐強腐蝕可做預潤濕，快速沖洗啟用Mighty濾芯采用的全氟結構，具有的化學兼容性、極低的析出水平，適用于關鍵濕電子化學品的過濾與凈化

詳細摘要： 高通量、低阻力、低析出物的化學兼容性、多種可選過濾精度Taurus系列濾芯采用PTFE濾膜，具有優(yōu)秀的化學兼容性，適用于稀釋的酸、堿，以及溶劑、去離子水等的過濾...

詳細摘要： 改性PTFE濾膜、優(yōu)秀的化學兼容性高通量、低阻力、低析出物LIBRA濾芯采用的全氟結構，具有的化學兼容性、極低的析出水平，適用于關鍵濕電子化學品的過濾與凈化

詳細摘要： 超高過濾精度、快速沖洗啟用高過濾效率、高納污容量PEASIC濾芯采用高非對稱結構的聚醚砜膜制成，具有高通量、低阻力、高納污容量的特點

詳細摘要： 電子級、低析出高通量、低阻力、高納污量多種尺寸規(guī)格、多種端蓋配置EL濾芯采用高純PP樹脂，濾芯全部通過超純水清洗，有效控制離子析出問題

詳細摘要： 軟囊式結構，回收率高LibaSoft系列囊式濾芯，專門針對高粘度、高固含流體的過濾而設計

詳細摘要： 高通量、低壓損、耐高溫耐強腐蝕超大過濾面積、超高過濾精度Mighty-G系列濾芯采用超高密度折疊技術，提供超高過濾面積；的疏水性材料，確保高通量，低壓損，延長使...

詳細摘要： 超大過濾面積、超高過濾精度高通量、低阻力、高納污量EG系列濾芯，采用疏水PTFE濾膜，過濾精度可達0.003m，適用于微電子半導體工業(yè)大宗氣體過濾應用

詳細摘要： 化學兼容性廣泛，囊式結構飛潮LabG5-N系列過濾器，專為G5等級電子化學品在實驗室小試、中試階段研制，聚四氟乙烯（PTFE）膜材具有廣泛的化學兼容性，耐溫性能...

詳細摘要： 化學兼容性廣泛，嚴格金屬離子與顆粒物管控飛潮LabG5-F系列過濾器，專為G5等級電子化學品在實驗室研發(fā)階段研制，聚四氟乙烯（PTFE）膜材具有廣泛的化學兼容性...

詳細摘要： 高溫、動態(tài)高壓應用過濾Gasfilsintub系列超純氣體過濾器，采用整體316L不銹鋼結構，過濾精度可達3nm

詳細摘要： 專為濕法刻蝕清洗工藝設計高通量，化學兼容性廣泛全聚四氟乙烯(PTFE)過濾解決方案專為濕法刻蝕清洗工藝(WEC)設計，在確保潔凈度的同時有效去除各種酸、堿和其他...

詳細摘要： 應用范圍廣可實現(xiàn)快速拆裝PolyfloraE系列光化學過濾器為一字型排布接口，F(xiàn)系列為三角形排布接口，搭配管路接頭均可實現(xiàn)快速拆裝，適用于去離子水、顯影液、光抗...

詳細摘要： 濾膜前后雙通道排氣PolyfloraB系列光化學過濾器，基于已有的E、F系列的結構設計，針對更高精度需求和關鍵點位光刻膠對氣泡極其嚴格的管控要求，開發(fā)設計了濾膜...

詳細摘要： 有效攔截大顆粒，不改變原有顆粒分布專為半導體廠CMP工藝點位Slurry的過濾設計