應用范圍廣

可實現(xiàn)快速拆裝
Polyflora E 系列光化學過濾器為一字型排布接口，F(xiàn) 系列為三角形排布接口，搭配管路接頭均可實現(xiàn)快速拆裝，適用于去離子水、顯影液、光抗蝕劑等光化學試劑，應用范圍廣泛。

產(chǎn)品特色
- 化學兼容性：顯影液、光抗蝕劑等光化學試劑
- 低析出：金屬離子、有機物、非揮發(fā)性殘留物物質低析出管控
- 超凈工藝：加強清洗技術減少顆粒脫落和微氣泡形成
- 靈活適配：多種膜材料（UPE、Nylon、PTFE）和截留精度（3 nm 至 200 nm）可選。

典型應用
- EUV、ArF、KrF 光刻膠
- 顯影液
- 溶劑類