濾膜前后雙通道排氣
Polyflora B 系列光化學過濾器，基于已有的 E、F 系列的結(jié)構(gòu)設(shè)計，針對更高精度需求和關(guān)鍵點位光刻膠對氣泡極其嚴格的管控要求，開發(fā)設(shè)計了濾膜前后雙通道排氣的方式，以應對光刻技術(shù)中的過濾挑戰(zhàn)，適用于最關(guān)鍵的光刻膠和光化學應用。

產(chǎn)品特色
- 化學兼容性：支持 EUV、ArF、KrF 等光化學試劑
- 低析出：金屬離子、有機物、非揮發(fā)性殘留物物質(zhì)低析出管控
- 超凈工藝：加強清洗技術(shù)減少顆粒脫落和微氣泡形成
- 靈活適配：多種膜材料（UPE、Nylon、PTFE）和截留精度（3 nm 至 200 nm）可選。

典型應用
- EUV、ArF、KrF 光刻膠
- 顯影液
- 溶劑類