優(yōu)異的化學(xué)兼容性、適用多種工藝氣體

結(jié)合過濾器的顆粒攔截，減少工藝腔體排氣時的湍流
Gasfaver系列擴(kuò)散器，專為半導(dǎo)體制程中真空腔體快速放氣應(yīng)用進(jìn)行設(shè)計(jì)。Gasfaver擴(kuò)散器結(jié)合了擴(kuò)散器的氣體流動特性和高效過濾器的顆粒攔截特性，過濾精度達(dá)0.003μm。獨(dú)特的濾材結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，在保證過濾效率的同時，也避免引起湍流，對工藝室環(huán)境造成影響，防止吹起顆?；蛏踔链灯鸸杵?/span>

產(chǎn)品特色
- 減少工藝腔體排氣時的湍流
- 適用于多種工藝氣體
- 潔凈室環(huán)境內(nèi)制造、測試、包裝
- 99% 完整性測試通過
- 99% 氦氣泄露檢測通過

典型應(yīng)用
- 半導(dǎo)體制程中真空腔體快速放氣