適用于清潔、快速且減少湍流的回填過程

Gasplate擴(kuò)散器可以輕松安裝到真空系統(tǒng)中。它非常適用于清潔、快速且減少湍流的回填過程。使用這些擴(kuò)散器的結(jié)果是增加產(chǎn)品產(chǎn)量和設(shè)備吞吐量。在正確安裝并在指定的操作條件下使用時(shí)，它們還能保持產(chǎn)品完整性長達(dá)3,000,000次循環(huán)。Gasplate擴(kuò)散器廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體設(shè)備接口（CVD、PVD、Etch、Epi）或其他真空室的裝載鎖腔體、傳輸腔體、冷卻腔體和工藝腔體等通風(fēng)應(yīng)用中。它們用于需要在短時(shí)間內(nèi)傳遞大量氣體流的場合。

產(chǎn)品特色
- 的 S316L 不銹鋼材質(zhì)
- 適用于高壓的系統(tǒng)管路
- 可以作為表面密封的過濾器，所以不需要額外的工作（切割/焊接管道用于過濾器安裝）
- 適用于高溫環(huán)境應(yīng)用