分子泵葉輪

適用于:半導體制造(顯圓刻蝕、沉職)精密飲賽(電子顯微鎮(zhèn)、質(zhì)謝飲)生物醫(yī)藥(真空凍干、細胞培)航天航空(空間環(huán)境模擬、推進系統(tǒng)測試)

優(yōu)點·:抽氣性能優(yōu)異:實現(xiàn)高真空與高抽速低腐損長壽命:減少維護成本與停機風險低振動低噪音:適配精密設(shè)備與安靜工況寬工況適應性:應對復雜負載與啟停需求結(jié)構(gòu)震湊:節(jié)省安裝空間

1.磁懸浮分子泵是為滿足半導體刻蝕、離子注入、

薄膜沉積、太陽能光伏、鋰電負荷集流體、真空鍍膜、科學研究等領(lǐng)域開發(fā)的真空獲得設(shè)備

2.磁軸承控制技術(shù)：為五自由度電磁軸承，采用動態(tài)主動閉路磁浮控制技術(shù)，實現(xiàn)動態(tài)反應迅速、調(diào)節(jié)及時，保證高速運轉(zhuǎn)軸系具有懸浮穩(wěn)定、運轉(zhuǎn)可靠等顯著優(yōu)點 

3.電機驅(qū)動控制技術(shù)：系列磁懸浮分子泵全部采用高效高速直流電機和伺服控制系統(tǒng)、軸系轉(zhuǎn)速自動補償，實現(xiàn)啟動平穩(wěn)、運轉(zhuǎn)可靠、動態(tài)能量自動調(diào)節(jié)功能