分子泵電機主軸

適用于:半導體制造(晶圓刻蝕、沉積)精密儀器(電子顯微鏡、質(zhì)譜儀)生物醫(yī)藥(真空凍干、細胞培養(yǎng))航天航空(空間環(huán)境模擬、推進系統(tǒng)測試)

優(yōu)點·:無接觸高精度支撐:實現(xiàn)微米級運行穩(wěn)定性低損耗高效傳動:減少能量浪費與發(fā)熱強環(huán)境與工況適應性:耐受復雜負載與特殊場景

1.磁懸浮分子泵是為滿足半導體刻蝕、離子注入、

薄膜沉積、太陽能光伏、鋰電負荷集流體、真空鍍膜、科學研究等領域開發(fā)的真空獲得設備

2.磁軸承控制技術(shù)：為五自由度電磁軸承，采用動態(tài)主動閉路磁浮控制技術(shù)，實現(xiàn)動態(tài)反應迅速、調(diào)節(jié)及時，保證高速運轉(zhuǎn)軸系具有懸浮穩(wěn)定、運轉(zhuǎn)可靠等顯著優(yōu)點 

3.電機驅(qū)動控制技術(shù)：系列磁懸浮分子泵全部采用高效高速直流電機和伺服控制系統(tǒng)、軸系轉(zhuǎn)速自動補償，實現(xiàn)啟動平穩(wěn)、運轉(zhuǎn)可靠、動態(tài)能量自動調(diào)節(jié)功能