磁懸浮電機(jī)底座
零接觸懸浮
無摩擦磨損
超高轉(zhuǎn)速
出)
1.磁懸浮分子泵是為滿足半導(dǎo)體刻蝕、離子注入、
薄膜沉積、太陽能光伏、鋰電負(fù)荷集流體、真空鍍膜、科學(xué)研究等領(lǐng)域開發(fā)的真空獲得設(shè)備
2.磁軸承控制技術(shù):為五自由度電磁軸承采用動態(tài)主動閉路磁浮控制技術(shù),實(shí)現(xiàn)動態(tài)反應(yīng)迅速、調(diào)節(jié)及時(shí),保證高速運(yùn)轉(zhuǎn)軸系具有懸浮穩(wěn)定、運(yùn)轉(zhuǎn)可靠等顯著優(yōu)點(diǎn)
3.電機(jī)驅(qū)動控制技術(shù):系列磁懸浮分子泵全部采用高效高速直流電機(jī)和伺服控制系統(tǒng),軸系轉(zhuǎn)速自動補(bǔ)償,實(shí)現(xiàn)啟動平穩(wěn)、運(yùn)轉(zhuǎn)可靠、動態(tài)能量自動調(diào)節(jié)功能






















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