磁懸浮分子泵靜片五軸一體精密加工

超高動(dòng)平衡·無應(yīng)力變形·一體性

航天級鋁合金|工業(yè)級精度

磁懸浮分子泵靜片一體成型性能

低振動(dòng) · 高穩(wěn)定性 · 長壽命

航天級鋁合金|工業(yè)級精度

1.磁懸浮分子泵是為滿足半導(dǎo)體刻蝕、離子注入、

薄膜沉積、太陽能光伏、鋰電負(fù)荷集流體、真空鍍膜、科學(xué)研究等領(lǐng)域開發(fā)的真空獲得設(shè)備

2.磁軸承控制技術(shù)：為五自由度電磁軸承，采用動(dòng)態(tài)主動(dòng)閉路磁浮控制技術(shù)，實(shí)現(xiàn)動(dòng)態(tài)反應(yīng)迅速、調(diào)節(jié)及時(shí)，保證高速運(yùn)轉(zhuǎn)軸系具有懸浮穩(wěn)定、運(yùn)轉(zhuǎn)可靠等顯著優(yōu)點(diǎn) 

3.電機(jī)驅(qū)動(dòng)控制技術(shù)：系列磁懸浮分子泵全部采用高效高速直流電機(jī)和伺服控制系統(tǒng)，軸系轉(zhuǎn)速自動(dòng)補(bǔ)償，實(shí)現(xiàn)啟動(dòng)平穩(wěn)、運(yùn)轉(zhuǎn)可靠、動(dòng)態(tài)能量自動(dòng)調(diào)節(jié)功能