磁懸浮分子泵靜片五軸一體精密加工
超高動平衡·無應力變形·一體性
航天級鋁合金|工業(yè)級精度
磁懸浮分子泵靜片一體成型性能
低振動 · 高穩(wěn)定性 · 長壽命
航天級鋁合金|工業(yè)級精度
1.磁懸浮分子泵是為滿足半導體刻蝕、離子注入、
薄膜沉積、太陽能光伏、鋰電負荷集流體、真空鍍膜、科學研究等領域開發(fā)的真空獲得設備
2.磁軸承控制技術:為五自由度電磁軸承,采用動態(tài)主動閉路磁浮控制技術,實現(xiàn)動態(tài)反應迅速、調(diào)節(jié)及時,保證高速運轉軸系具有懸浮穩(wěn)定、運轉可靠等顯著優(yōu)點
3.電機驅(qū)動控制技術:系列磁懸浮分子泵全部采用高效高速直流電機和伺服控制系統(tǒng),軸系轉速自動補償,實現(xiàn)啟動平穩(wěn)、運轉可靠、動態(tài)能量自動調(diào)節(jié)功能




















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