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半導(dǎo)體制造車間溫濕度控制工業(yè)冷水機組

參考價 16000
訂貨量 ≥1
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱邁浦特機械(四川)有限公司
  • 品       牌邁浦特 MAIPT
  • 型       號MPTD
  • 所  在  地成都市
  • 廠商性質(zhì)生產(chǎn)廠家
  • 更新時間2025/9/8 14:13:55
  • 訪問次數(shù)243
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邁浦特科技公司于2010年成立于香港,蘇州邁浦特機械有限公司是邁浦特公司在大陸設(shè)立的生產(chǎn)基地,并于2017年在南通成立南通邁浦特公司。邁浦特—直致力于TCU溫控系統(tǒng),導(dǎo)熱油系統(tǒng),高低溫機,模溫機,油溫機,水溫機,油加熱器,電加熱油爐,冷水機,冷熱一體機的研發(fā)、生產(chǎn)、銷售、服務(wù)和技術(shù)咨詢,是為您提供工業(yè)溫度控制技術(shù)及解決方案的供應(yīng)商。


邁浦特借助于多年的成熟經(jīng)驗,以專業(yè)技術(shù)為橡塑材料,壓鑄,食品,化工,醫(yī)療,印刷,包裝,木材,壓機,復(fù)合材料,碳纖維復(fù)材成型,鋰電池隔膜,橡膠輪胎,壓延,鞋材,烘干以及科研行業(yè)提供所需的各種溫控設(shè)備和技術(shù)服務(wù)。主要有產(chǎn)品包括模溫機,油溫機,水溫機,油加熱器,冷水機,電加熱油爐,防爆模溫機,PLC模溫機,水循環(huán)溫度控制機,油循環(huán)溫度控制....





機械設(shè)備銷售,特種設(shè)備銷售,風(fēng)機,風(fēng)扇銷售,泵及真空設(shè)備銷售,制冷,空調(diào)設(shè)備銷售,貨物進出口,儀器儀表銷售,計算機軟硬件及輔助設(shè)備零售,氣體,液體分離及純凈設(shè)備銷售,機械設(shè)備研發(fā),軟件開發(fā)
標(biāo)準(zhǔn)制冷量 定制 產(chǎn)地 國產(chǎn)
產(chǎn)品大小 其他 產(chǎn)品新舊 全新
結(jié)構(gòu)類型 密封式,立式 結(jié)構(gòu)類型 密封式,立式
冷凍水流量 定制 溫度 其他
制冷劑 定制可選
半導(dǎo)體制造車間溫濕度控制工業(yè)冷水機組,專為半導(dǎo)體制造車間溫濕度控制設(shè)計,控溫范圍 5℃~35℃,精度 PID±1℃,適配車間穩(wěn)定環(huán)境需求。制冷量 9.9~192kW,采用美國艾默生全封閉渦旋式壓縮機,搭配殼管式紫銅冷凝器與多類型蒸發(fā)器,降溫高效。SUS304 水箱保障水質(zhì)潔凈,具備溫度異常、缺水等 10 重保護。支持定制管徑與遠(yuǎn)程控制,可 24 小時連續(xù)運行,提供 1 年保修,助力維持設(shè)備溫度。
半導(dǎo)體制造車間溫濕度控制工業(yè)冷水機組 產(chǎn)品信息

半導(dǎo)體制造車間溫濕度控制工業(yè)冷水機組(MAIPT MC-(W) 系列)產(chǎn)品簡介

支持非標(biāo)定制,免費提供技術(shù)規(guī)格書、方案。

一、產(chǎn)品定位與核心用途

專為半導(dǎo)體制造車間溫濕度控制場景研發(fā)設(shè)計,核心通過穩(wěn)定冷水循環(huán)調(diào)節(jié)車間空調(diào)系統(tǒng)冷卻負(fù)荷,精準(zhǔn)維持車間環(huán)境溫度(如 23℃±1℃)與相對濕度(如 45%-60%),適配 12 英寸 / 8 英寸晶圓光刻、蝕刻、封裝測試等精密制程需求。避免溫濕度波動導(dǎo)致晶圓表面水汽凝結(jié)、光刻精度偏差或芯片性能異常,設(shè)備支持在 0-40℃環(huán)境溫度、50%-80% 相對濕度、±4℃/h 溫差工況下每周 7 天、每天 24 小時連續(xù)運行,符合半導(dǎo)體車間潔凈生產(chǎn)與連續(xù)作業(yè)要求,保障晶圓制程質(zhì)量一致性與生產(chǎn)效率。

二、核心性能特點

1. 精準(zhǔn)控溫,適配車間溫濕度調(diào)節(jié)需求

控溫范圍覆蓋 5℃~35℃(可定制),可根據(jù)半導(dǎo)體車間空調(diào)系統(tǒng)冷卻需求靈活設(shè)定冷水溫度(如 10℃~15℃),通過冷水與空調(diào)系統(tǒng)換熱間接穩(wěn)定車間環(huán)境溫濕度,溫控精度達 PID±1℃,嚴(yán)格控制冷水溫度偏差,避免因冷水溫度波動影響車間溫濕度穩(wěn)定性。采用 PC PID 控制方式與輕觸式數(shù)碼管顯示器(Gw532A),設(shè)定溫度與實際溫度分別顯示,操作直觀易懂;搭配中國臺灣銘揚 PT100/NTC 鉑電阻測溫體,溫度響應(yīng)迅速,可實時捕捉冷水溫度變化,進一步保障控溫準(zhǔn)確性,契合半導(dǎo)體車間對環(huán)境參數(shù)的嚴(yán)苛要求。

2. 高效制冷與潔凈循環(huán)系統(tǒng)

  • 強勁制冷能力:制冷量范圍 9.9~192kW(出水溫度 10℃、冷凝溫度 50℃工況下),8514~165120kcal/h(同工況),可根據(jù)半導(dǎo)體車間面積(如千級潔凈車間、萬級潔凈車間)與空調(diào)負(fù)荷靈活匹配;采用美國艾默生全封閉渦旋式壓縮機,Y 型啟動方式,運行噪音低、振動小,避免干擾車間精密設(shè)備運行,且制冷效率高,能快速響應(yīng)車間空調(diào)系統(tǒng)的瞬時冷卻需求,防止車間溫度回升。

  • 潔凈換熱設(shè)計:冷凝器為殼管式高效紫銅冷凝器,換熱效率高,可快速導(dǎo)出系統(tǒng)熱量;蒸發(fā)器型式可選板換釬焊式、殼管式、盤管式,能適配不同規(guī)格車間空調(diào)系統(tǒng)的換熱接口,確保冷水與空調(diào)系統(tǒng)高效換熱。水箱采用 SUS304 不銹鋼材質(zhì),具備良好耐腐蝕性與潔凈度,無金屬離子溶出風(fēng)險,避免污染循環(huán)水進而影響空調(diào)系統(tǒng)或車間環(huán)境;主管路系統(tǒng)為碳鋼材質(zhì),經(jīng)無縫氬弧焊接工藝處理,密封性強,減少漏水隱患,適配車間潔凈生產(chǎn)要求。

  • 穩(wěn)定水循環(huán)保障:配備邁浦特定制離心式清水泵,揚程與流量可根據(jù)車間空調(diào)管路布局定制,確保冷水循環(huán)均勻;循環(huán)介質(zhì)為水,符合半導(dǎo)體車間對潔凈度的基本要求,且補水及冷卻水需為不含懸浮物的干凈水(20℃時 PH 值 7.5-8.5、硬度<200mg/L 以 CaCO3 計),避免管路結(jié)垢或污染,保障循環(huán)系統(tǒng)長期穩(wěn)定運行,減少因設(shè)備維護導(dǎo)致的車間溫濕度波動。

3. 全面安全保護,規(guī)避生產(chǎn)風(fēng)險

具備 10 重安全保護裝置,多維度保障設(shè)備運行與半導(dǎo)體車間生產(chǎn)安全:


  • 溫度與介質(zhì)保護:循環(huán)水溫度超上,自動停止壓縮機啟動,防止冷水過熱導(dǎo)致空調(diào)系統(tǒng)冷卻能力下降;溫度低于報警溫度時,控制器發(fā)出異常制冷報警并停機,避免管路凍裂影響車間空調(diào)運行;液位開關(guān)檢測水位,防止缺水并報警提示,避免干燒損壞設(shè)備。

  • 系統(tǒng)穩(wěn)定保護:電源相位檢測防止泵浦反轉(zhuǎn)并報警,避免水循環(huán)中斷導(dǎo)致空調(diào)系統(tǒng)冷卻失效;熱繼電器保護泵浦超載,管路阻塞時通過 BY-PASS 泄壓回路保護泵浦;系統(tǒng)壓力異常自動停止壓縮機,減少設(shè)備故障導(dǎo)致的車間溫濕度失控風(fēng)險。

  • 應(yīng)急與便捷保護:配備手動 / 自動補水功能,可根據(jù)水箱水位自動或手動補水,保障水循環(huán)穩(wěn)定;空氣開關(guān)防短路,緊急停止按鈕可在設(shè)備異常時手動停機,快速切斷風(fēng)險源,降低因設(shè)備故障對半導(dǎo)體制程的影響。

4. 靈活定制與車間場景適配

冷媒介進、出口管徑可根據(jù)半導(dǎo)體車間空調(diào)系統(tǒng)的管路接口需求定制,適配不同規(guī)格空調(diào)設(shè)備連接;支持定制遠(yuǎn)程控制功能(PROFINET、PROFIBUS),便于車間運維人員在中控室遠(yuǎn)程監(jiān)控與操作,減少頻繁進出潔凈車間對環(huán)境的干擾;可加裝流量監(jiān)測、壓力監(jiān)測功能,實時掌握水循環(huán)狀態(tài),及時發(fā)現(xiàn)管路異常;還可定制超溫警報并切斷電源、冷卻水流量異常報警等功能,進一步提升車間溫濕度控制的安全性;蒸發(fā)器、水泵等核心部件可根據(jù)車間空調(diào)負(fù)荷與換熱需求選擇適配參數(shù),提升設(shè)備與車間空調(diào)系統(tǒng)的兼容性。

三、關(guān)鍵技術(shù)參數(shù)(典型機型)

參數(shù)類別具體參數(shù)
電源規(guī)格3N-380V-50Hz(可定制)
總功率2.7~46.8kW
總電流9~165A
循環(huán)介質(zhì)水(需潔凈無懸浮物,符合半導(dǎo)體車間要求)
控溫范圍5℃~35℃
控溫精度PID±1℃
控溫方式PC PID 控制,輕觸式數(shù)碼管顯示器(Gw532A)
制冷量9.9~192kW(出水溫度 10℃、冷凝溫度 50℃);8514~165120kcal/h(同工況)
節(jié)流裝置熱力膨脹閥或毛細(xì)管
壓縮機型式:全封閉渦旋式(美國艾默生);啟動方式:Y 型
水泵型式:離心式清水泵(邁浦特定制);揚程、流量可定制
蒸發(fā)器型式:板換釬焊式、殼管式、盤管式(可選)
冷凝器型式:殼管式高效紫銅冷凝器(邁浦特定制)
水箱材質(zhì):SUS304 不銹鋼;容積:可定制
測溫體PT100/NTC(中國臺灣銘揚)
安全保護溫度異常、電源逆相、泵浦超載、缺水、管路阻塞、壓力異常等 10 重保護
通訊方式標(biāo)配 Modbus RS485(其他可定制)
工作環(huán)境溫度 0-40℃,相對濕度 50%-80%,溫差 ±4℃/h

四、安裝與環(huán)境適配要求

1. 安裝規(guī)范

  • 電源配置:需使用三相 380V 50Hz + 地線,建議采用 3xmm2+1xmm2 銅芯電纜線(由需方自備),允許電壓波動 ±10%,確保電源穩(wěn)定不影響控溫精度,避免電壓波動導(dǎo)致冷水溫度偏差進而干擾車間溫濕度。

  • 管路連接:機器水出入口建議采用硬管連接,必要時可配耐高溫 60℃不銹鋼軟管(長度不超過 3 米,由需方自備)并加保溫管,減少冷量損耗;冷凍管路需使用高壓耐熱水管(耐熱約 200℃,由需方自備),接口尺寸可定制;補水及冷卻水需符合潔凈要求,壓力控制在 0.15-0.3Mpa 之間,避免水質(zhì)問題導(dǎo)致管路結(jié)垢或污染,影響設(shè)備運行與車間環(huán)境。

  • 調(diào)試條件:需在水、電供應(yīng)正常,車間空調(diào)系統(tǒng)管路連接完成后進行安裝調(diào)試,確保設(shè)備與空調(diào)系統(tǒng)溫控聯(lián)動順暢;調(diào)試完成后需進行空載試運行,確認(rèn)各項參數(shù)穩(wěn)定、無泄漏后方可投入使用,避免調(diào)試不當(dāng)導(dǎo)致車間溫濕度波動。

2. 環(huán)境適配

設(shè)備可直接部署于半導(dǎo)體車間配套機房,機架采用碳鋼材質(zhì)(板厚 2mm,噴塑處理),防腐蝕且易清潔,能耐受機房常見粉塵、輕微振動環(huán)境,無需特殊改造機房即可安裝。設(shè)備運行噪音低、振動小,不會對車間內(nèi)光刻設(shè)備、蝕刻機等精密儀器的運行造成干擾,適配半導(dǎo)體制造車間對環(huán)境安靜、穩(wěn)定的要求。

五、售后服務(wù)保障

1. 保修政策

自設(shè)備送達需方半導(dǎo)體車間起 1 年內(nèi),正常使用下出現(xiàn)故障(如控溫精度下降、壓縮機故障),供方提供免費維修服務(wù),所需原廠配件(如西門子接觸器、丹佛斯熱力膨脹閥)由供方免費提供,不收取任何費用;保修期內(nèi)若因人為操作失誤(如水質(zhì)不達標(biāo)導(dǎo)致管路堵塞)或天災(zāi)導(dǎo)致設(shè)備損壞,供方僅收取交通費和零件費;保修期外提供長期維修服務(wù),收取合理的人工(聯(lián)系:①⑧①零⑧①②⑨零⑧②)、零件及交通費用,保障設(shè)備長期穩(wěn)定支持車間溫濕度控制。

2. 故障響應(yīng)

半導(dǎo)體制造車間生產(chǎn)連續(xù)性強,設(shè)備發(fā)生故障時,需方技術(shù)人員可先電話通知供方售后服務(wù)人員,詳細(xì)描述故障情況(如溫度報警、水泵不運轉(zhuǎn)),供方售后工程師將在 15 分鐘內(nèi)提供電話指導(dǎo)排障;若故障無法通過電話解決,供方將在 24 小時內(nèi)安排人員上門維修,減少設(shè)備停機對車間溫濕度控制的影響,降低因環(huán)境異常導(dǎo)致的晶圓制程損失。

3. 定制支持

可根據(jù)半導(dǎo)體車間的特殊需求定制配件品牌(如指定無油壓縮機、高潔凈度水泵,確保與車間環(huán)境兼容性),也可定制遠(yuǎn)程控制、多點溫控監(jiān)測、溫度數(shù)據(jù)審計追蹤(符合半導(dǎo)體行業(yè)數(shù)據(jù)合規(guī)要求)等功能(需額外付費);還可定制熱媒介進出口管徑與換熱面積,貼合不同規(guī)模半導(dǎo)體車間空調(diào)系統(tǒng)的溫控需求,提升設(shè)備與車間生產(chǎn)系統(tǒng)的適配性。

半導(dǎo)體制造車間溫濕度控制工業(yè)冷水機組(MAIPT MC-(W) 系列)產(chǎn)品規(guī)格書示例

半導(dǎo)體制造車間溫濕度控制工業(yè)冷水機組



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