半導(dǎo)體制造車間溫濕度控制工業(yè)冷水機(jī)組，專為半導(dǎo)體制造車間溫濕度控制設(shè)計(jì)，控溫范圍 5℃~35℃，精度 PID±1℃，適配車間穩(wěn)定環(huán)境需求。制冷量 9.9~192kW，采用美國艾默生全封閉渦旋式壓縮機(jī)，搭配殼管式紫銅冷凝器與多類型蒸發(fā)器，降溫高效。SUS304 水箱保障水質(zhì)潔凈，具備溫度異常、缺水等 10 重保護(hù)。支持定制管徑與遠(yuǎn)程控制，可 24 小時(shí)連續(xù)運(yùn)行，提供 1 年保修，助力維持設(shè)備溫度。
支持非標(biāo)定制，免費(fèi)提供技術(shù)規(guī)格書、方案。
專為半導(dǎo)體制造車間溫濕度控制場景研發(fā)設(shè)計(jì)，核心通過穩(wěn)定冷水循環(huán)調(diào)節(jié)車間空調(diào)系統(tǒng)冷卻負(fù)荷，精準(zhǔn)維持車間環(huán)境溫度（如 23℃±1℃）與相對濕度（如 45%-60%），適配 12 英寸 / 8 英寸晶圓光刻、蝕刻、封裝測試等精密制程需求。避免溫濕度波動(dòng)導(dǎo)致晶圓表面水汽凝結(jié)、光刻精度偏差或芯片性能異常，設(shè)備支持在 0-40℃環(huán)境溫度、50%-80% 相對濕度、±4℃/h 溫差工況下每周 7 天、每天 24 小時(shí)連續(xù)運(yùn)行，符合半導(dǎo)體車間潔凈生產(chǎn)與連續(xù)作業(yè)要求，保障晶圓制程質(zhì)量一致性與生產(chǎn)效率。
控溫范圍覆蓋 5℃~35℃（可定制），可根據(jù)半導(dǎo)體車間空調(diào)系統(tǒng)冷卻需求靈活設(shè)定冷水溫度（如 10℃~15℃），通過冷水與空調(diào)系統(tǒng)換熱間接穩(wěn)定車間環(huán)境溫濕度，溫控精度達(dá) PID±1℃，嚴(yán)格控制冷水溫度偏差，避免因冷水溫度波動(dòng)影響車間溫濕度穩(wěn)定性。采用 PC PID 控制方式與輕觸式數(shù)碼管顯示器（Gw532A），設(shè)定溫度與實(shí)際溫度分別顯示，操作直觀易懂；搭配中國臺灣銘揚(yáng) PT100/NTC 鉑電阻測溫體，溫度響應(yīng)迅速，可實(shí)時(shí)捕捉冷水溫度變化，進(jìn)一步保障控溫準(zhǔn)確性，契合半導(dǎo)體車間對環(huán)境參數(shù)的嚴(yán)苛要求。
強(qiáng)勁制冷能力：制冷量范圍 9.9~192kW（出水溫度 10℃、冷凝溫度 50℃工況下），8514~165120kcal/h（同工況），可根據(jù)半導(dǎo)體車間面積（如千級潔凈車間、萬級潔凈車間）與空調(diào)負(fù)荷靈活匹配；采用美國艾默生全封閉渦旋式壓縮機(jī)，Y 型啟動(dòng)方式，運(yùn)行噪音低、振動(dòng)小，避免干擾車間精密設(shè)備運(yùn)行，且制冷效率高，能快速響應(yīng)車間空調(diào)系統(tǒng)的瞬時(shí)冷卻需求，防止車間溫度回升。
潔凈換熱設(shè)計(jì)：冷凝器為殼管式高效紫銅冷凝器，換熱效率高，可快速導(dǎo)出系統(tǒng)熱量；蒸發(fā)器型式可選板換釬焊式、殼管式、盤管式，能適配不同規(guī)格車間空調(diào)系統(tǒng)的換熱接口，確保冷水與空調(diào)系統(tǒng)高效換熱。水箱采用 SUS304 不銹鋼材質(zhì)，具備良好耐腐蝕性與潔凈度，無金屬離子溶出風(fēng)險(xiǎn)，避免污染循環(huán)水進(jìn)而影響空調(diào)系統(tǒng)或車間環(huán)境；主管路系統(tǒng)為碳鋼材質(zhì)，經(jīng)無縫氬弧焊接工藝處理，密封性強(qiáng)，減少漏水隱患，適配車間潔凈生產(chǎn)要求。
穩(wěn)定水循環(huán)保障：配備邁浦特定制離心式清水泵，揚(yáng)程與流量可根據(jù)車間空調(diào)管路布局定制，確保冷水循環(huán)均勻；循環(huán)介質(zhì)為水，符合半導(dǎo)體車間對潔凈度的基本要求，且補(bǔ)水及冷卻水需為不含懸浮物的干凈水（20℃時(shí) PH 值 7.5-8.5、硬度＜200mg/L 以 CaCO3 計(jì)），避免管路結(jié)垢或污染，保障循環(huán)系統(tǒng)長期穩(wěn)定運(yùn)行，減少因設(shè)備維護(hù)導(dǎo)致的車間溫濕度波動(dòng)。
具備 10 重安全保護(hù)裝置，多維度保障設(shè)備運(yùn)行與半導(dǎo)體車間生產(chǎn)安全：
溫度與介質(zhì)保護(hù)：循環(huán)水溫度超上限，自動(dòng)停止壓縮機(jī)啟動(dòng)，防止冷水過熱導(dǎo)致空調(diào)系統(tǒng)冷卻能力下降；溫度低于報(bào)警溫度時(shí)，控制器發(fā)出異常制冷報(bào)警并停機(jī)，避免管路凍裂影響車間空調(diào)運(yùn)行；液位開關(guān)檢測水位，防止缺水并報(bào)警提示，避免干燒損壞設(shè)備。
系統(tǒng)穩(wěn)定保護(hù)：電源相位檢測防止泵浦反轉(zhuǎn)并報(bào)警，避免水循環(huán)中斷導(dǎo)致空調(diào)系統(tǒng)冷卻失效；熱繼電器保護(hù)泵浦超載，管路阻塞時(shí)通過 BY-PASS 泄壓回路保護(hù)泵浦；系統(tǒng)壓力異常自動(dòng)停止壓縮機(jī)，減少設(shè)備故障導(dǎo)致的車間溫濕度失控風(fēng)險(xiǎn)。
應(yīng)急與便捷保護(hù)：配備手動(dòng) / 自動(dòng)補(bǔ)水功能，可根據(jù)水箱水位自動(dòng)或手動(dòng)補(bǔ)水，保障水循環(huán)穩(wěn)定；空氣開關(guān)防短路，緊急停止按鈕可在設(shè)備異常時(shí)手動(dòng)停機(jī)，快速切斷風(fēng)險(xiǎn)源，降低因設(shè)備故障對半導(dǎo)體制程的影響。
冷媒介進(jìn)、出口管徑可根據(jù)半導(dǎo)體車間空調(diào)系統(tǒng)的管路接口需求定制，適配不同規(guī)格空調(diào)設(shè)備連接；支持定制遠(yuǎn)程控制功能（PROFINET、PROFIBUS），便于車間運(yùn)維人員在中控室遠(yuǎn)程監(jiān)控與操作，減少頻繁進(jìn)出潔凈車間對環(huán)境的干擾；可加裝流量監(jiān)測、壓力監(jiān)測功能，實(shí)時(shí)掌握水循環(huán)狀態(tài)，及時(shí)發(fā)現(xiàn)管路異常；還可定制超溫警報(bào)并切斷電源、冷卻水流量異常報(bào)警等功能，進(jìn)一步提升車間溫濕度控制的安全性；蒸發(fā)器、水泵等核心部件可根據(jù)車間空調(diào)負(fù)荷與換熱需求選擇適配參數(shù)，提升設(shè)備與車間空調(diào)系統(tǒng)的兼容性。
電源配置：需使用三相 380V 50Hz + 地線，建議采用 3xmm2+1xmm2 銅芯電纜線（由需方自備），允許電壓波動(dòng) ±10%，確保電源穩(wěn)定不影響控溫精度，避免電壓波動(dòng)導(dǎo)致冷水溫度偏差進(jìn)而干擾車間溫濕度。
管路連接：機(jī)器水出入口建議采用硬管連接，必要時(shí)可配耐高溫 60℃不銹鋼軟管（長度不超過 3 米，由需方自備）并加保溫管，減少冷量損耗；冷凍管路需使用高壓耐熱水管（耐熱約 200℃，由需方自備），接口尺寸可定制；補(bǔ)水及冷卻水需符合潔凈要求，壓力控制在 0.15-0.3Mpa 之間，避免水質(zhì)問題導(dǎo)致管路結(jié)垢或污染，影響設(shè)備運(yùn)行與車間環(huán)境。
調(diào)試條件：需在水、電供應(yīng)正常，車間空調(diào)系統(tǒng)管路連接完成后進(jìn)行安裝調(diào)試，確保設(shè)備與空調(diào)系統(tǒng)溫控聯(lián)動(dòng)順暢；調(diào)試完成后需進(jìn)行空載試運(yùn)行，確認(rèn)各項(xiàng)參數(shù)穩(wěn)定、無泄漏后方可投入使用，避免調(diào)試不當(dāng)導(dǎo)致車間溫濕度波動(dòng)。
設(shè)備可直接部署于半導(dǎo)體車間配套機(jī)房，機(jī)架采用碳鋼材質(zhì)（板厚 2mm，噴塑處理），防腐蝕且易清潔，能耐受機(jī)房常見粉塵、輕微振動(dòng)環(huán)境，無需特殊改造機(jī)房即可安裝。設(shè)備運(yùn)行噪音低、振動(dòng)小，不會對車間內(nèi)光刻設(shè)備、蝕刻機(jī)等精密儀器的運(yùn)行造成干擾，適配半導(dǎo)體制造車間對環(huán)境安靜、穩(wěn)定的要求。
自設(shè)備送達(dá)需方半導(dǎo)體車間起 1 年內(nèi)，正常使用下出現(xiàn)故障（如控溫精度下降、壓縮機(jī)故障），供方提供免費(fèi)維修服務(wù)，所需原廠配件（如西門子接觸器、丹佛斯熱力膨脹閥）由供方免費(fèi)提供，不收取任何費(fèi)用；保修期內(nèi)若因人為操作失誤（如水質(zhì)不達(dá)標(biāo)導(dǎo)致管路堵塞）或天災(zāi)導(dǎo)致設(shè)備損壞，供方僅收取交通費(fèi)和零件費(fèi)；保修期外提供長期維修服務(wù)，收取合理的人工（聯(lián)系：①⑧①零⑧①②⑨零⑧②）、零件及交通費(fèi)用，保障設(shè)備長期穩(wěn)定支持車間溫濕度控制。
半導(dǎo)體制造車間生產(chǎn)連續(xù)性強(qiáng)，設(shè)備發(fā)生故障時(shí)，需方技術(shù)人員可先電話通知供方售后服務(wù)人員，詳細(xì)描述故障情況（如溫度報(bào)警、水泵不運(yùn)轉(zhuǎn)），供方售后工程師將在 15 分鐘內(nèi)提供電話指導(dǎo)排障；若故障無法通過電話解決，供方將在 24 小時(shí)內(nèi)安排人員上門維修，減少設(shè)備停機(jī)對車間溫濕度控制的影響，降低因環(huán)境異常導(dǎo)致的晶圓制程損失。
可根據(jù)半導(dǎo)體車間的特殊需求定制配件品牌（如指定無油壓縮機(jī)、高潔凈度水泵，確保與車間環(huán)境兼容性），也可定制遠(yuǎn)程控制、多點(diǎn)溫控監(jiān)測、溫度數(shù)據(jù)審計(jì)追蹤（符合半導(dǎo)體行業(yè)數(shù)據(jù)合規(guī)要求）等功能（需額外付費(fèi)）；還可定制熱媒介進(jìn)出口管徑與換熱面積，貼合不同規(guī)模半導(dǎo)體車間空調(diào)系統(tǒng)的溫控需求，提升設(shè)備與車間生產(chǎn)系統(tǒng)的適配性。
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