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硅片外觀檢查設備

參考價面議
具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 公司名稱無錫奧本精密工業(yè)有限公司
  • 品       牌
  • 型       號
  • 所  在  地無錫市
  • 廠商性質其他
  • 更新時間2025/4/29 8:47:46
  • 訪問次數91
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　　AUBAT(奧本精密)，一家致力于高精度解決方案的公司。
天平
硅片外觀檢查設備是指在芯片制造過程中，對硅片表面的半導體電路圖形的形狀缺陷及其異物雜質檢測的設備
硅片外觀檢查設備 產品信息
硅片外觀檢查設備是指在芯片制造過程中，對硅片表面的半導體電路圖形的形狀缺陷及其異物雜質檢測的設備。
 
　硅片外觀檢查設備：WIN-WIN50
 

WIN-WIN50是東京精密在“共贏關系”的理念下，以其**的光學系統(tǒng)，超高速的畫像處理系統(tǒng)，超精密的測試臺等，融合了*的技術開發(fā)出來的與目前同類設備不同水平的世界*高性能的硅片外觀檢查設備。

WIN-WIN50是針對65納米以下水平的設計開發(fā)及量產所研制出來的具有下世紀水平的硅片外觀檢查設備。

WIN-WIN50通過多種波長及照明系統(tǒng)可以對應多種工藝條件。通過抑制前程缺陷，捕捉微弱的缺陷信號等方法，發(fā)現(xiàn)影響到產品良率的重大缺陷。
 
特點1
 
 
 
通過配備的共焦點顯微鏡，實現(xiàn)畫面的高解像化，抑制前程缺陷。
 
特點2
 
 
 
采用UV光源及廣域波長帶的白色光源，實現(xiàn)畫面的高解像化，可以對應多種工藝條件。
 
特點3
  
 
 
 
開發(fā)出針對UV光的高速度高感度CCD攝像機。
 
特點4
  
 
 
 
根據激光測長系統(tǒng)，直線性達到10nm的超精密測試臺。
 
特點5
  
 
 
 
通過超高速畫像處理系統(tǒng)的并列處理技術，實現(xiàn)了超高速的畫像處理功能。
 
特點6
  
 
 
 
主機和畫像處理系統(tǒng)的分離構造，實現(xiàn)了潔凈廠房內的場地優(yōu)化功能。
應用
  
 
 
 
Resist Patern工藝
STI工藝
Gate工藝
Metal接線工藝
Memory/Logic以外的設計工藝（CCD, Quartz等）
硅片外觀檢查設備是指在芯片制造過程中，對硅片表面的半導體電路圖形的形狀缺陷及其異物雜質檢測的硅片外觀檢查設備。
關鍵詞：顯微鏡
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