| 探針臺(tái)設(shè)備是用于每片晶圓上的各個(gè)芯片的電信號(hào)的檢測(cè)設(shè)備來(lái)保證半導(dǎo)體產(chǎn)品的品質(zhì)。 |
| ****的采用下一代技術(shù)的高品質(zhì)的探針臺(tái)，采用新的運(yùn)算法則的晶圓的搬送及相關(guān)新技術(shù)的協(xié)作的使得產(chǎn)能的顯著提高成為可能。高速度，低噪音的X，Y軸平臺(tái)得宜于新的驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的創(chuàng)建。Z軸確保為***的負(fù)載容量及高精度。在整個(gè)的布置上通過(guò)*佳的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)與拓?fù)鋵W(xué)的良好結(jié)合可靠的消除平面上的受力。 在**的OTS位置處理系統(tǒng)及彩色晶圓圖象對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)并裝備小的極大倍率放大功能，UF3000EX在業(yè)內(nèi)成為一臺(tái)引人注目高精度，可操作性的設(shè)備。 | | |
| 吸收到了到目前為止的*新工藝，如創(chuàng)造性的OTS，QPU&TTG，非常**的技術(shù)規(guī)格為目前所遇到的小型化，下一代的半導(dǎo)體產(chǎn)品及多種的測(cè)試環(huán)境提供專業(yè)的測(cè)試系統(tǒng)。 | | 特點(diǎn)1 | OTS—*新的定位技術(shù)（光學(xué)定位） | | | | | | | | | OTS通過(guò)照相機(jī)對(duì)相關(guān)位置的測(cè)量來(lái)來(lái)保證**的精度，非常引人注目的技術(shù)改良?；跂|京精密度量學(xué)的技術(shù)，OTS成為自我相關(guān)的對(duì)準(zhǔn)光學(xué)系統(tǒng)。 | | | | 特點(diǎn)2 | QPU—剛性的承載臺(tái)(四支點(diǎn)系統(tǒng)) | | | | | | | | | 為了有效的達(dá)到適當(dāng)?shù)奈恢镁?，在承載臺(tái)各個(gè)區(qū)域保持一致的剛性是非常重要的。UF3000采用新的技術(shù)使用4個(gè)軸驅(qū)動(dòng)Z軸移動(dòng)（QPU），實(shí)現(xiàn)高剛性，高穩(wěn)定的探針接觸。 | | | | | | | | | | | | | 提供令客戶滿意的公共平臺(tái)8英寸及12英寸從前部的搬送平臺(tái)。設(shè)備并符合美國(guó)物料搬送協(xié)會(huì)的標(biāo)準(zhǔn)。 | | | | | 特點(diǎn)4 | TTF（點(diǎn)那里移動(dòng)到那里） | | | | | | | | | 追求更好的操作性，UF3000采用了新的功能，在這個(gè)顯示屏顯示的范圍內(nèi)，點(diǎn)到任何的區(qū)域，承載臺(tái)就移動(dòng)到該區(qū)域，設(shè)置非常的簡(jiǎn)單，屏幕顯示菜單的項(xiàng)目由客戶自己定義。 | | | | | |
| 東京精密，現(xiàn)在的ACCRETECH，在世界范圍內(nèi)繼續(xù)著半導(dǎo)體工業(yè)內(nèi)探針臺(tái)的發(fā)展方向，*新開(kāi)發(fā)出來(lái)的基于200mm晶圓使用的探針臺(tái)UF2000主要應(yīng)用的LCD及其他新工藝下的產(chǎn)品測(cè)試。在各項(xiàng)功能上有了大幅度的提升，具有前面所列型號(hào)的*新的技術(shù)。 | | | | | | | | | | 采用新的處理芯片，新的搬送系統(tǒng)設(shè)計(jì)及高清晰的圖象處理系統(tǒng)有效了提高了性能及設(shè)備的產(chǎn)能。 | | | |
| 進(jìn)化的晶圓探針臺(tái)，UF系列基于一個(gè)靈活的平臺(tái)，具有高精度和高剛性，UF系列的一個(gè)更好的改進(jìn)型，在整個(gè)裝配和線寬越來(lái)越小的半導(dǎo)體技術(shù)進(jìn)步過(guò)程中，該臺(tái)設(shè)備主要用于晶圓比較薄的工藝。 | | |
| 進(jìn)化的晶圓探針臺(tái)，UF系列基于一個(gè)靈活的平臺(tái)，具有高精度和高剛性，UF系列的一個(gè)更好的改進(jìn)型，在整個(gè)裝配和線寬越來(lái)越小的半導(dǎo)體技術(shù)進(jìn)步過(guò)程中，該臺(tái)設(shè)備主要用于晶圓比較薄的工藝。 | | |
| 進(jìn)化的晶圓探針臺(tái)，UF系列基于一個(gè)靈活的平臺(tái)，具有高精度和高剛性，UF系列的一個(gè)更好的改進(jìn)型，在整個(gè)裝配和線寬越來(lái)越小的半導(dǎo)體技術(shù)進(jìn)步過(guò)程中，該臺(tái)設(shè)備主要用于晶圓比較薄的工藝。 | | | | | | | | | | 高性能，高產(chǎn)能，具有很高性價(jià)比的設(shè)備。 | | | | | | | | | | | UF190A是具有高性能和非常優(yōu)良的操作性與并具有和為UF200爭(zhēng)得名譽(yù)的自動(dòng)對(duì)針系統(tǒng)和彩色的LCD顯示系統(tǒng)。 | | | |
| 進(jìn)化的晶圓探針臺(tái)，UF系列基于一個(gè)靈活的平臺(tái)，具有高精度和高剛性，UF系列的一個(gè)更好的改進(jìn)型，在整個(gè)裝配和線寬越來(lái)越小的半導(dǎo)體技術(shù)進(jìn)步過(guò)程中，該臺(tái)設(shè)備主要用于晶圓比較薄的工藝。 | | |
| EM系列分離器件產(chǎn)品測(cè)試機(jī)：EM21 |
| 該產(chǎn)品提供高精度，高速度的測(cè)量半導(dǎo)體分離器件產(chǎn)品，該系統(tǒng)支持大電流，大電壓測(cè)試系統(tǒng)及數(shù)據(jù)分析，數(shù)據(jù)管理系統(tǒng)。 | | | | | | | | | | 高精度，高速度的測(cè)量多種分離器件產(chǎn)品 | | | | | | | | | | | 該型號(hào)的設(shè)備均配備一臺(tái)4通道的測(cè)試機(jī) | | | |
| 硅片探針臺(tái)的網(wǎng)絡(luò)系統(tǒng)：VEGANET |
| 設(shè)備的運(yùn)轉(zhuǎn)情況被集中的監(jiān)控以實(shí)現(xiàn)更高的生產(chǎn)效率。 | | | | | | 系統(tǒng)監(jiān)控 | 運(yùn)行速度控制 | 設(shè)備狀態(tài)監(jiān)控 | 數(shù)據(jù)分析 | | |
| 硅片探針臺(tái)的網(wǎng)絡(luò)系統(tǒng)：LIGHTVEGA |
| 所有的數(shù)據(jù)信息被客戶的服務(wù)器所集中保存。 | | |
| 硅片探針臺(tái)的網(wǎng)絡(luò)系統(tǒng)：VEGA PLANET |
| 專門(mén)的終端管理平臺(tái)用于提升整個(gè)測(cè)試過(guò)程的性能 | |
****的采用下一代技術(shù)的高品質(zhì)的探針臺(tái)，采用新的運(yùn)算法則的晶圓的搬送及相關(guān)新技術(shù)的協(xié)作的使得產(chǎn)能的顯著提高成為可能。高速度，低噪音的X，Y軸平臺(tái)得宜于新的驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的創(chuàng)建。Z軸確保為***的負(fù)載容量及高精度。硅片探針臺(tái)在整個(gè)的布置上通過(guò)*佳的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)與拓?fù)鋵W(xué)的良好結(jié)合可靠的消除平面上的受力。
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