| 晶圓劃片機(jī)能用金剛石刀片將晶圓片切割成獨(dú)立的半導(dǎo)體晶粒,東京精密牌激光劃片機(jī)實(shí)現(xiàn)了不用傳統(tǒng)的金剛石刀片,通過(guò)激光的能量高速將晶圓分開(kāi),這種切開(kāi)方式是真正的干式切削工藝。 |
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