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制藥網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>儀器儀表>物性測試儀器>其它物性測試儀器>1 TFL3200非接觸式平面度翹曲度測定儀

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1 TFL3200非接觸式平面度翹曲度測定儀

參考價(jià)	￥ 10
訂貨量	≥10把

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品牌 其他品牌: 廠商性質(zhì)
經(jīng)銷商

型號 1: 訪問次數(shù)
3

產(chǎn)地 廣東深圳市: 更新時(shí)間
2026/9/28 16:54:19

晶圓PCB光學(xué)表面形貌測量儀玻璃晶圓PCB翹曲度檢測激光三角法3D點(diǎn)云無損掃描花崗巖基座高精度XY軸聯(lián)動新能源雙極板TTV平面度測試

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TFL3200非接觸式平面度翹曲度測定儀產(chǎn)品參數(shù)

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日本TECHNO MU TFL3200非接觸式平面度翹曲度測定儀，專為高精密薄型工件及大尺寸光學(xué)零部件設(shè)計(jì)的微米級測量系統(tǒng)。采用高精度激光三角測量法與花崗巖基座掃描平臺，無需接觸工件即可快速完成大面積三維面數(shù)據(jù)采集。設(shè)備配備專業(yè)3D形貌評估軟件，可精準(zhǔn)量化晶圓、玻璃基板、PCB線路板及精密金屬部件的平面度、翹曲度及扭曲度

TFL3200非接觸式平面度翹曲度測定儀詳細(xì)信息

日本TECHNO MU TFL3200非接觸式平面度翹曲度測定儀【產(chǎn)品概述】

TFL3200非接觸平面度測定裝置由日本TECHNO MU株式會社研發(fā)。該設(shè)備突破了傳統(tǒng)千分表、三坐標(biāo)等接觸式測量的局限，采用全封閉、高穩(wěn)定性的精密光學(xué)測量架構(gòu)。通過高精度XY軸運(yùn)動平臺帶動激光測頭對工件進(jìn)行全覆蓋柵格化掃描，實(shí)時(shí)構(gòu)建微米級的3D表面點(diǎn)云模型。系統(tǒng)軟件可自動擬合基準(zhǔn)面，快速輸出平面度、翹曲度及最小高度差（TTV）等關(guān)鍵品質(zhì)數(shù)據(jù)，為高精度制造工藝提供堅(jiān)實(shí)的數(shù)據(jù)支撐。

日本TECHNO MU TFL3200非接觸式平面度翹曲度測定儀【核心性能與優(yōu)勢】

純非接觸無損測量：采用的激光位移傳感技術(shù)，測量過程不接觸工件表面。杜絕了探針劃傷、光學(xué)元件壓痕以及接觸應(yīng)力導(dǎo)致的精密薄片材料彈性形變，確保測量數(shù)據(jù)的真實(shí)性。
花崗巖基座與高動態(tài)掃描：設(shè)備整體采用00級高精度花崗巖底座，具備抗熱脹冷縮與抗振動性能。配合高響應(yīng)伺服電機(jī)驅(qū)動的高直線度XY軸平臺，確保了在大范圍掃描時(shí)的重復(fù)精度與定位準(zhǔn)確度。
可視化3D形貌與色彩渲染：配套的測量軟件能夠?qū)⒑Ａ康狞c(diǎn)云數(shù)據(jù)，實(shí)時(shí)轉(zhuǎn)化為直觀的色彩漸變3D形貌圖。通過冷暖色的梯度變化，研發(fā)人員與質(zhì)檢工程師可以瞬間定位工件表面的微觀翹曲、局部凹陷或凸起。
高精度TTV與翹曲度評估：支持對工件進(jìn)行多段面掃描，軟件內(nèi)置多種物理擬合算法（如最小二乘法），可精準(zhǔn)評估半導(dǎo)體晶圓的總厚度變化（TTV）、面板玻璃的翹曲度（Warp）及多層PCB板的扭曲度（Twist）。

【技術(shù)參數(shù)表】

表格

參數(shù)項(xiàng)目	技術(shù)規(guī)格
產(chǎn)品型號	TFL3200
測量原理	激光三角測量法 / 激光位移傳感
測量方式	全自動XY軸聯(lián)動高精度光學(xué)掃描
測量精度	微米級 (μm)
掃描基座	00級高精度花崗巖精密平臺
測量參數(shù)	平面度 (Flatness)、翹曲度 (Warp/Twist)、TTV (總厚度變化)
數(shù)據(jù)處理	專業(yè)3D點(diǎn)云渲染、基準(zhǔn)面擬合、色彩漸變形貌圖
適用工件	硅晶圓、玻璃基板、藍(lán)寶石片、PCB/FPC、精密金屬件
工作電源	AC 100V - 240V，50/60Hz

【典型應(yīng)用領(lǐng)域】

半導(dǎo)體與光電顯示：針對硅晶圓（Wafer）、藍(lán)寶石襯底、TFT-LCD/OLED面板、手機(jī)蓋板玻璃（Cover Glass）的表面翹曲與厚度變化（TTV）進(jìn)行非接觸全檢。
精密PCB與集成電路：對多層高密度線路板、柔性電路板（FPC）在高溫制程后的整體翹曲度（Warp）及局部扭曲度（Twist）進(jìn)行精準(zhǔn)測量，保障SMT貼片精度。
新能源與汽車電子：測量鋰電池極片、氫燃料電池雙極板（Bipolar Plate）的表面平整度，以及汽車發(fā)動機(jī)缸蓋、精密液壓閥密封面的微觀平面度。
高精密光學(xué)組件：對光學(xué)棱鏡、激光反射鏡、光柵尺玻璃基底的表面平整度進(jìn)行無損評估。

關(guān)鍵詞：液壓閥

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