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  • DX-30永磁體霍爾效應(yīng)測試系統(tǒng)
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2026/8/21 7:10:50

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產(chǎn)品簡介

DX-30永磁體霍爾效應(yīng)測試系統(tǒng)由永磁體、高精度恒流源高精度電壓表、霍爾效應(yīng)樣品支架、標準樣品、高精度高斯計和系統(tǒng)軟件組成。為本儀器系統(tǒng)專門研制的DX-320效應(yīng)儀將恒流源,六位半微伏表及霍爾測量復(fù)雜的切換繼電器——開關(guān)組裝成一體,大大減化了實驗的連線與操作。DX-320可單獨做恒流源、微伏表使用。用于測量半導(dǎo)體材料的載流子濃度、遷移率、電阻率、霍爾系數(shù)等重要參數(shù),而這些參數(shù)是了解半導(dǎo)體材料電學(xué)特......

DX-30永磁體霍爾效應(yīng)測試系統(tǒng)詳細信息

系統(tǒng)組成:

  本儀器系統(tǒng)由永磁體、高精度恒流源高精度電壓表、霍爾效應(yīng)樣品支架、標準樣品、高精度高斯計和系統(tǒng)軟件組成。為本儀器系統(tǒng)專門研制的DX-320效應(yīng)儀將恒流源,六位半微伏表及霍爾測量復(fù)雜的切換繼電器——開關(guān)組裝成一體,大大減化了實驗的連線與操作。DX-320可單獨做恒流源、微伏表使用。用于測量半導(dǎo)體材料的載流子濃度、遷移率、電阻率、霍爾系數(shù)等重要參數(shù),而這些參數(shù)是了解半導(dǎo)體材料電學(xué)特性必須預(yù)先掌控的,因此霍爾效應(yīng)測試系統(tǒng)是理解和研究半導(dǎo)體器件和半導(dǎo)體材料電學(xué)特性的工具。實驗結(jié)果由軟件自動計算得到,可同時得到體載流子濃度(Bulk Carrier Concentration)、表面載流子濃度 (Sheet Carrier Concentration)、遷移率 (Mobility)、電阻率  (Resistivity)、 霍爾系數(shù)  (Hall Coefficient)、磁致電阻(Magnetoresistance)等等。

 

可測試材料:

 

物理學(xué)參數(shù)

載流子濃度

Carrier Density

103cm-3 1023cm-3

遷移率(Mobility

0.1cm2/volt*sec 108cm2/volt*sec

電阻率范圍(Resistivity)

10-7 Ohm*cm~1012 Ohm*cm

霍爾電壓(Hall voltage

1uV  3V

霍爾系數(shù)

10-3  106cm3/C

可測試材料類型

半導(dǎo)體材料

SiGe, SiC, InAs, InGaAs, InP,AlGaAs, HgCdTe和鐵氧體材料等

低阻抗材料

石墨烯、金屬、透明氧化物、

弱磁性半導(dǎo)體材料、TMR材料等

高阻抗材料

半絕緣的GaAs, GaN, CdTe等

材料導(dǎo)電粒子

材料的P型與N型測試

磁場環(huán)境

磁鐵類型

核磁共振NMR系列磁鐵

磁場大小

500mT

極頭間距為:18mm

可選磁環(huán)境

可根據(jù)客戶需求定制相關(guān)磁性大小的永磁鐵,

電學(xué)參數(shù)

電流源

50.00nA-50.00mA

電流源分辨率

0.0001uA

測量電壓

0~±3V

電壓測量分辨率

0.0001mV

溫度環(huán)境

常溫

其他配件

遮光性

外部安裝遮光部件,使得測試材料更加穩(wěn)定

樣品尺寸

30mm*30mm

測試樣片

提供半導(dǎo)體所霍爾效應(yīng)

標準測試樣片及數(shù)據(jù):1套

(硅、鍺、砷化鎵、銻化銦)

制作歐姆接觸

電烙鐵、銦片、焊錫、漆包線等

 

 

測試樣品示例:

 

序號

測試樣品材料

測試樣品參數(shù)

測試樣品展示

樣品1

單晶Si

樣品厚度:0.043 cm

測試電流:1 mA

霍爾電壓:3.903 mV

霍爾系數(shù):3356.34 cm³/C

載流子濃度:1.86*10^15

遷移率:233.115 cm2/Vs

電阻率:14.397 Ω•cm

樣品2

砷化鎵GaAs

樣品厚度:0.0002 cm

測試電流:0.01 mA

霍爾電壓:-28.2384 mV

霍爾系數(shù):-11295.36 cm³/C

載流子濃度:5.53*10^14

遷移率:6797.295 cm2/Vs

電阻率:1.6617 Ω•cm

樣品3

氮化鎵GaN

樣品厚度:0.0004 cm

測試電流:20 mA

霍爾電壓:-7.121 mV

霍爾系數(shù):-2.848 cm³/C

載流子濃度:2.19*10^18

遷移率:238.245 cm2/Vs

電阻率:0.01195 Ω•cm

樣品4

透明氧化物

樣品厚度:0.053 cm

測試電流:0.01 mA

霍爾電壓:-18.2332 mV

霍爾系數(shù):-1939058 cm³/C

載流子濃度:3.23*10^12

遷移率:498.7153 cm2/Vs

電阻率:3862.74 Ω•cm

樣品5

合金

樣品厚度:0.108 cm

測試電流:20 mA

霍爾電壓:-0.0011 mV

霍爾系數(shù):-0.1152 cm³/C

載流子濃度:6.02*10^18

遷移率:132.7011 cm2/Vs

電阻率:0.00084 Ω•cm

樣品6

石墨烯

樣品厚度:3.40*10^-8cm

測試電流:0.3 mA

霍爾電壓:8.4843 mV

霍爾系數(shù):0.0191 cm³/C

載流子濃度:3.25*10^20

遷移率:153.3448 cm2/Vs

電阻率:0.00012Ω•cm

樣品7

銻化銦InSb

 

樣品厚度:0.0001 cm

測試電流:10 mA

霍爾電壓:-998.7382 mV

霍爾系數(shù):-1999.7476 cm³/C

載流子濃度:3.13*10^16

遷移率:34305.52 cm2/Vs

電阻率:171.74 Ω•cm

 

 

儀器介紹:

 

序號

名稱

主要技術(shù)參數(shù)

產(chǎn)品圖片

儀器1

DX-50

電磁鐵

1、兩端為高穩(wěn)定度永磁鐵,磁場值為:500mT上下(具體數(shù)值以實際測量為準)

2、兩個永磁鐵極頭間距為:18mm,極柱直徑為:48mm,極面直徑為:33mm

3、該永磁鐵為核磁共振NMR系列磁鐵,穩(wěn)定性好,磁場非常均勻,保證均勻區(qū)的均勻度在15*10-5

4、可根據(jù)客戶需求定制相關(guān)磁性大小的永磁鐵,以配合進行霍爾效應(yīng)測試實驗

儀器2

DX-320

樣品恒流源

1、電流輸出基本分辨力0.0001uA,電壓測量基本分辨力0.0001mV

2、輸出量程:50.00nA-50.00mA中間可以0.1nA步進連續(xù)可調(diào)

3、測量電壓:0~±3V大量程測試電壓滿足高阻芯片的測試

4、內(nèi)置自動變換的四相陣卡,可實現(xiàn)霍爾效應(yīng)范德堡法的自動測量

5、良好的人機交互界面,方便使用者進行手動調(diào)節(jié)

6、完備的上位機指令,可與電腦進行通訊完成各項操作

儀器3

DX-35

樣品臺

1、樣品臺可支持30*30mm尺寸的樣品進行測試

2、四探針法壓點使得操作和樣品觸點接觸更方便牢固

3、外部安裝遮光部件,使得測試材料更加穩(wěn)定

4、樣品臺固定在永磁鐵支架上,使得每次測量樣品都處于同一位置,保證更好的測量的重復(fù)性

5、樣品臺插針通過導(dǎo)線與DX-320儀器進行信號的連接以實現(xiàn)范德堡法的穩(wěn)定測量

儀器4

上位機軟件

1、可實現(xiàn)一鍵自動化測量,檢測開始后須有測試人員按照程序提示將永磁鐵進行極性反轉(zhuǎn)即可進行測量

2、在軟件中進行相關(guān)測試樣品的參數(shù)設(shè)置,測試完成后實現(xiàn)各個參數(shù)的自動化計算

3、軟件中可進行I-V曲線、B-V曲線

4、軟件內(nèi)進行的模塊化設(shè)計,方便客戶使用以及進行相關(guān)功能的開發(fā)5、實驗結(jié)果測量完成,數(shù)據(jù)將暫時保存在軟件中,如需要長期保存可將數(shù)據(jù)導(dǎo)出至EXCEL表格中,方便后期的數(shù)據(jù)處理

儀器5

配套儀器裝置

  1. 永磁鐵固定裝置,使得每次操作將磁鐵都固定在同一個位置
  2. 提供半導(dǎo)體所霍爾效應(yīng)標準測試樣片及數(shù)據(jù):1套

3、制作樣品上歐姆接觸焊點的相應(yīng)工具:電烙鐵、銦片、焊錫、漆包線等

4、232轉(zhuǎn)USB串口線,實現(xiàn)測試儀器與上位機軟件之間的通訊

 

 

 

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