產(chǎn)品簡介
本儀器系統(tǒng)由電磁鐵、電磁鐵電源、高精度恒流源、高精度電壓表、霍爾效應(yīng)樣品支架、標準樣品、系統(tǒng)軟件組成。為本儀器系統(tǒng)專門研制的DX-320效應(yīng)儀將恒流源，六位半微伏表及霍爾測量復雜的切換繼電器——開關(guān)組裝成一體，大大減化了實驗的連線與操作。DX-320可單獨做恒流源、微伏表使用。用于測量半導體材料的載流子濃度、遷移率、電阻率、霍爾系數(shù)等重要參數(shù)，而這些參數(shù)是了解半導體材料電學特性必須預先掌控的，因此霍爾效應(yīng)測試系統(tǒng)是理解和研究半導體器件和半導體材料電學特性的工具。 實驗結(jié)果由軟件自動計算得到，可同時得到體載流子濃度(Bulk Carrier Concentration)、表面載流子濃度(Sheet Carrier Concentration)、遷移率(Mobility)、電阻率(Resistivity)、霍爾系數(shù)(Hall Coefficient)、磁致電阻(Magnetoresistance)等等。
可測試材料：
| 序號 | 測試樣品材料 | 測試樣品參數(shù) | 測試樣品展示 |
| 樣品1 | 單晶Si | 樣品厚度：0.043 cm 測試電流：1 mA 霍爾電壓：3.903 mV 霍爾系數(shù)：3356.34 cm³/C 載流子濃度：1.86*10^15 遷移率：233.115 cm2/V•s 電阻率：14.397 Ω•cm |
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| 樣品2 | 砷化鎵GaAs | 樣品厚度：0.0002 cm 測試電流：0.01 mA 霍爾電壓：-28.2384 mV 霍爾系數(shù)：-11295.36 cm³/C 載流子濃度：5.53*10^14 遷移率：6797.295 cm2/V•s 電阻率：1.6617 Ω•cm |
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| 樣品3 | 氮化鎵GaN | 樣品厚度：0.0004 cm 測試電流：20 mA 霍爾電壓：-7.121 mV 霍爾系數(shù)：-2.848 cm³/C 載流子濃度：2.19*10^18 遷移率：238.245 cm2/V•s 電阻率：0.01195 Ω•cm |
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| 樣品4 | 透明氧化物 | 樣品厚度：0.053 cm 測試電流：0.01 mA 霍爾電壓：-18.2332 mV 霍爾系數(shù)：-1939058 cm³/C 載流子濃度：3.23*10^12 遷移率：498.7153 cm2/V•s 電阻率：3862.74 Ω•cm |
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| 樣品5 | 合金 | 樣品厚度：0.108 cm 測試電流：20 mA 霍爾電壓：-0.0011 mV 霍爾系數(shù)：-0.1152 cm³/C 載流子濃度：6.02*10^18 遷移率：132.7011 cm2/V•s 電阻率：0.00084 Ω•cm |
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| 樣品6 | 石墨烯 | 樣品厚度：3.40*10^-8cm 測試電流：0.3 mA 霍爾電壓：8.4843 mV 霍爾系數(shù)：0.0191 cm³/C 載流子濃度：3.25*10^20 遷移率：153.3448 cm2/V•s 電阻率：0.00012Ω•cm |
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| 樣品7 | 銻化銦InSb
| 樣品厚度：0.0001 cm 測試電流：10 mA 霍爾電壓：-998.7382 mV 霍爾系數(shù)：-1999.7476 cm³/C 載流子濃度：3.13*10^16 遷移率：34305.52 cm2/V•s 電阻率：171.74 Ω•cm |
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儀器介紹：
| 序號 | 名稱 | 主要技術(shù)參數(shù) | 產(chǎn)品圖片 |
| 儀器1 | DX-50 電磁鐵 | 1、磁場強度（Magnet Flux Density） N，S間距10mm時磁場1070mT N，S間距20mm時磁場678mT N, S間距30mm時磁場500mT N, S間距40mm時磁場 378mT N, S間距50mm時磁場 293mT 2、磁場均勻區(qū)（Uniformity）：間隙10mm時直徑10mm范圍均勻度為1% 3、電磁鐵參數(shù) 3.1、極柱直徑φ：50mm 3.2、極頭直徑φ：50mm 3.3、極頭間隙可調(diào)范圍：0 ～ 80mm 3.4、線圈內(nèi)阻：約為12.0Ω 3.5、磁場穩(wěn)定性：±0.3Gs（24h時間內(nèi)） 3.6、自重：30Kg |
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| 儀器2 | DXF-2031 恒流源 | 1、輸出電壓：有效輸出電壓范圍 0V—60V DC，開路輸出電壓：80V ± 5V @5A 2、輸出電流： –5A ～ +5A DC（電流線性漸變速率0.01A/s—2A/s連續(xù)可選，掃描電流設(shè)置范圍0.1mA—5A DC） 3、高步進分辨率0.1mA（1/50000 F.S.） 4、準確度 ±（0.2%設(shè)置值+5mA）、穩(wěn)定度優(yōu)于±0.1% @5A 5、噪聲/紋波：5mA RMS 典型值 @5A 6、 RS-232接口可數(shù)控極性轉(zhuǎn)換，方便進行自動化霍爾效應(yīng)試驗過程 7、交互能力： 白色背光FSTN LCD顯示器，的LED狀態(tài)指示器，與顯示器和指示器配合的3´4鍵交互型功能鍵盤操作，標準配備RS-232C計算機接口和易用的接口特性，完備的計算機接口命令集，掃描過程中的定時連續(xù)觸發(fā)輸出功能 8、負載保護功能：儀器掉電保護、儀器過溫保護、儀器過流保護、儀器過功率保護 |
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| 儀器3 | DX-1300 高斯計 | 1、量程：±1Gs ～ ±30kGs 2、分辨率：1Gs 3、精度：讀數(shù)的±0.5%±0.05%量程 4、測磁傳感器厚度為1.0mm，長度為100mm 5、人機交互：明亮的寬屏高清液晶屏，4¾位顯示，標準9針“D”型RS232連接器 6、自動化：完備的計算機指令，可通過數(shù)據(jù)通訊，實時在電腦界面監(jiān)測并控制測試樣品周圍的磁場環(huán)境 |
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| 儀器4 | DX-320 樣品恒流源 | 1、電流輸出基本分辨力0.0001uA，電壓測量基本分辨力0.0001mV 2、輸出量程：50.00nA-50.00mA中間可以0.1nA步進連續(xù)可調(diào) 3、測量電壓：0～±3V大量程測試電壓滿足高阻芯片的測試 4、內(nèi)置自動變換的四相陣卡，可實現(xiàn)霍爾效應(yīng)范德堡法的自動測量 5、良好的人機交互界面，方便使用者進行手動調(diào)節(jié) 6、完備的上位機指令，可與電腦進行通訊完成各項操作 |
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| 儀器5 | DX-35 樣品臺 | 1、樣品臺可支持30*30mm尺寸的樣品進行測試 2、四探針法壓點使得操作和樣品觸點接觸更方便牢固 3、外部安裝遮光部件，使得測試材料更加穩(wěn)定 4、樣品臺固定在永磁鐵支架上，使得每次測量樣品都處于同一位置，保證更好的測量的重復性 5、樣品臺插針通過導線與DX-320儀器進行信號的連接以實現(xiàn)范德堡法的穩(wěn)定測量 |
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| 儀器7 | 上位機軟件 | 1、可實現(xiàn)一鍵自動化測量，檢測開始后無需人員進行操作即可進行測量。 2、在軟件中進行設(shè)置可進行自動變溫測量。 3、軟件中可進行I-V曲線、B-V曲線 4、軟件內(nèi)進行的模塊化設(shè)計，方便客戶使用以及進行相關(guān)功能的開發(fā) 5、實驗結(jié)果測量完成，數(shù)據(jù)將暫時保存在軟件中，如需要長期保存可將數(shù)據(jù)導出至EXCEL表格中，方便后期的數(shù)據(jù)處理 6、提供半導體所霍爾效應(yīng)標準測試樣片及數(shù)據(jù)：1套 |
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| 儀器8 | 配套儀器裝置 |
2、磁場傳感器探頭固定裝置：全鋁非導體支架5-70mm可調(diào) 3、溫度測量與控制連接線固定裝置 4、制作樣品上歐姆接觸焊點的相應(yīng)工具：電烙鐵、銦片、焊錫、漆包線等 5、232轉(zhuǎn)USB串口線，實現(xiàn)測試儀器與上位機軟件之間的通訊 |
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