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  • DX-80常溫電磁型全自動(dòng)霍爾效應(yīng)測(cè)試系統(tǒng)
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DX-80常溫電磁型全自動(dòng)霍爾效應(yīng)測(cè)試系統(tǒng)由電磁鐵、電磁鐵電源、高精度恒流源、高精度電壓表、霍爾效應(yīng)樣品支架、標(biāo)準(zhǔn)樣品,系統(tǒng)軟件組成。為本儀器系統(tǒng)專門研制的DX-320效應(yīng)儀將恒流源,六位半微伏表及霍爾測(cè)量復(fù)雜的切換繼電器——開(kāi)關(guān)組裝成一體,大大減化了實(shí)驗(yàn)的連線與操作。DX-320可單獨(dú)做恒流源、微伏表使用。用于測(cè)量半導(dǎo)體材料的載流子濃度、遷移率、電阻率、霍爾系數(shù)等重要參數(shù),而這些參數(shù)是了解半導(dǎo)體......

DX-80常溫電磁型全自動(dòng)霍爾效應(yīng)測(cè)試系統(tǒng)詳細(xì)信息

        DX-80常溫電磁型全自動(dòng)霍爾效應(yīng)測(cè)試系統(tǒng)由電磁鐵、電磁鐵電源、高精度恒流源、高精度電壓表、霍爾效應(yīng)樣品支架、標(biāo)準(zhǔn)樣品,系統(tǒng)軟件組成。為本儀器系統(tǒng)專門研制的DX-320效應(yīng)儀將恒流源,六位半微伏表及霍爾測(cè)量復(fù)雜的切換繼電器——開(kāi)關(guān)組裝成一體,大大減化了實(shí)驗(yàn)的連線與操作。DX-320可單獨(dú)做恒流源、微伏表使用。用于測(cè)量半導(dǎo)體材料的載流子濃度、遷移率、電阻率、霍爾系數(shù)等重要參數(shù),而這些參數(shù)是了解半導(dǎo)體材料電學(xué)特性必須預(yù)先掌控的,因此霍爾效應(yīng)測(cè)試系統(tǒng)是理解和研究半導(dǎo)體器件和半導(dǎo)體材料電學(xué)特性的工具。實(shí)驗(yàn)結(jié)果由軟件自動(dòng)計(jì)算得到,可同時(shí)得到體載流子濃度(Bulk Carrier Concentration)、表面載流子濃度(Sheet Carrier Concentration)、遷移率(Mobility)、電阻率(Resistivity)、霍爾系數(shù)(Hall Coefficient)、磁致電阻(Magnetoresistance)等等。

 

可測(cè)試材料:

 

物理學(xué)參數(shù)

載流子濃度

Carrier Density

103cm-3 1023cm-3

遷移率(Mobility

0.1cm2/volt*sec 108cm2/volt*sec

電阻率范圍(Resistivity)

10-7 Ohm*cm~1012 Ohm*cm

霍爾電壓(Hall voltage

1uV  3V

霍爾系數(shù)

10-5  1027cm3/C

可測(cè)試材料類型

半導(dǎo)體材料

SiGe, SiC, InAs, InGaAs, InP,AlGaAs, HgCdTe和鐵氧體材料等

低阻抗材料

石墨烯、金屬、透明氧化物、

弱磁性半導(dǎo)體材料、TMR材料等

高阻抗材料

半絕緣的GaAs, GaN, CdTe等

材料導(dǎo)電粒子

材料的P型與N型測(cè)試

磁場(chǎng)環(huán)境

磁鐵類型

可變電磁鐵

磁場(chǎng)大小

1900mT(極頭間距為:10mm

1300mT(極頭間距為:20mm

900mT(極頭間距為:30mm

800mT(極頭間距為:40mm

600mT(極頭間距為:50mm

均勻區(qū)

1%

可選磁環(huán)境

可根據(jù)客戶需求定制相關(guān)磁性大小的電磁鐵,

電學(xué)參數(shù)

電流源

50.00nA-50.00mA

電流源分辨率

0.0001uA

測(cè)量電壓

0~±3V

電壓測(cè)量分辨率

0.0001mV

溫度環(huán)境

常溫

其他配件

遮光性

外部安裝遮光部件,使得測(cè)試材料更加穩(wěn)定

樣品尺寸

30mm*30mm

箱式機(jī)柜

600*600*1000mm

測(cè)試樣片

提供半導(dǎo)體所霍爾效應(yīng)

標(biāo)準(zhǔn)測(cè)試樣片及數(shù)據(jù):1套

(硅、鍺、砷化鎵、銻化銦)

制作歐姆接觸

電烙鐵、銦片、焊錫、漆包線等

 

測(cè)試樣品示例:

 

序號(hào)

測(cè)試樣品材料

測(cè)試樣品參數(shù)

測(cè)試樣品展示

樣品1

單晶Si

樣品厚度:0.043 cm

測(cè)試電流:1 mA

霍爾電壓:3.903 mV

霍爾系數(shù):3356.34 cm³/C

載流子濃度:1.86*10^15

遷移率:233.115 cm2/Vs

電阻率:14.397 Ω•cm

樣品2

砷化鎵GaAs

樣品厚度:0.0002 cm

測(cè)試電流:0.01 mA

霍爾電壓:-28.2384 mV

霍爾系數(shù):-11295.36 cm³/C

載流子濃度:5.53*10^14

遷移率:6797.295 cm2/Vs

電阻率:1.6617 Ω•cm

樣品3

氮化鎵GaN

樣品厚度:0.0004 cm

測(cè)試電流:20 mA

霍爾電壓:-7.121 mV

霍爾系數(shù):-2.848 cm³/C

載流子濃度:2.19*10^18

遷移率:238.245 cm2/Vs

電阻率:0.01195 Ω•cm

樣品4

透明氧化物

樣品厚度:0.053 cm

測(cè)試電流:0.01 mA

霍爾電壓:-18.2332 mV

霍爾系數(shù):-1939058 cm³/C

載流子濃度:3.23*10^12

遷移率:498.7153 cm2/Vs

電阻率:3862.74 Ω•cm

樣品5

合金

樣品厚度:0.108 cm

測(cè)試電流:20 mA

霍爾電壓:-0.0011 mV

霍爾系數(shù):-0.1152 cm³/C

載流子濃度:6.02*10^18

遷移率:132.7011 cm2/Vs

電阻率:0.00084 Ω•cm

樣品6

石墨烯

樣品厚度:3.40*10^-8cm

測(cè)試電流:0.3 mA

霍爾電壓:8.4843 mV

霍爾系數(shù):0.0191 cm³/C

載流子濃度:3.25*10^20

遷移率:153.3448 cm2/Vs

電阻率:0.00012Ω•cm

樣品7

銻化銦InSb

 

樣品厚度:0.0001 cm

測(cè)試電流:10 mA

霍爾電壓:-998.7382 mV

霍爾系數(shù):-1999.7476 cm³/C

載流子濃度:3.13*10^16

遷移率:34305.52 cm2/Vs

電阻率:171.74 Ω•cm

 

儀器介紹:

 

序號(hào)

名稱

主要技術(shù)參數(shù)

產(chǎn)品圖片

儀器1

DX-100

電磁鐵

1、磁場(chǎng)強(qiáng)度(Magnet Flux Density)

N,S間距10mm時(shí)磁場(chǎng)1900mT

N,S間距20mm時(shí)磁場(chǎng)1300mT

N, S間距30mm時(shí)磁場(chǎng)900mT

N, S間距40mm時(shí)磁場(chǎng) 800mT

N, S間距50mm時(shí)磁場(chǎng) 600mT

  1. 磁場(chǎng)均勻區(qū)(Uniformity):間隙10mm時(shí)直徑20mm范圍均勻度為1%

3、電磁鐵參數(shù)

3.1、極柱直徑φ:100mm

3.2、極頭直徑φ:60mm

3.3、極頭間隙可調(diào)范圍:0 ~ 100mm

3.4、線圈內(nèi)阻:10.0Ω

3.5、磁場(chǎng)穩(wěn)定性:±0.3Gs(24h時(shí)間內(nèi))

3.6、自重:110Kg

3.7、自帶移動(dòng)車輪,可根據(jù)客戶需要隨意變動(dòng)放置位置

儀器2

DX-2030

恒流源

1、輸出電壓:有效輸出電壓范圍 0V—100V DC,開(kāi)路輸出電壓為120V ± 8V @10A

2、輸出電流:–10A ~ +10A DC(電流線性漸變速率0.01A/s—2A/s連續(xù)可選)

3、高步進(jìn)分辨率0.1mA(1/100000 F.S.)

4、準(zhǔn)確度 ±0.2%設(shè)置值+5mA)、

穩(wěn)定度優(yōu)于±0.1% @10A

5、噪聲/紋波:10mA RMS 典型值 @10A

6、 RS-232接口可數(shù)控極性轉(zhuǎn)換,方便進(jìn)行自動(dòng)化試驗(yàn)過(guò)程

7、交互能力: 白色背光FSTN LCD顯示器,的LED狀態(tài)指示器,與顯示器和指示器配合的3´4鍵交互型功能鍵盤操作,標(biāo)準(zhǔn)配備RS-232C計(jì)算機(jī)接口和易用的接口特性,完備的計(jì)算機(jī)接口命令集,掃描過(guò)程中的定時(shí)連續(xù)觸發(fā)輸出功能

8、負(fù)載保護(hù)功能:儀器掉電保護(hù)、儀器過(guò)溫保護(hù)、儀器過(guò)流保護(hù)、儀器過(guò)功率保護(hù)

儀器3

DX-1500

高斯計(jì)

1、量程:±0.1Gs ~ ±30kGs

2、分辨率:0.1Gs

3、精度:讀數(shù)的±0.3%±0.05%量程

4、測(cè)磁傳感器厚度為1.0mm,長(zhǎng)度為100mm

5、人機(jī)交互:明亮的寬屏高清液晶屏,

4¾位顯示,標(biāo)準(zhǔn)9針“D”型RS232連接器

6、自動(dòng)化:完備的計(jì)算機(jī)指令,可通過(guò)數(shù)據(jù)通訊,實(shí)時(shí)在電腦界面監(jiān)測(cè)并控制測(cè)試樣品周圍的磁場(chǎng)環(huán)境

儀器4

DX-320

樣品恒流源

1、電流輸出基本分辨力0.0001uA,電壓測(cè)量基本分辨力0.0001mV

2、輸出量程:50.00nA-50.00mA中間可以0.1nA步進(jìn)連續(xù)可調(diào)

3、測(cè)量電壓:0~±3V大量程測(cè)試電壓滿足高阻芯片的測(cè)試

4、內(nèi)置自動(dòng)變換的四相陣卡,可實(shí)現(xiàn)霍爾效應(yīng)范德堡法的自動(dòng)測(cè)量

5、良好的人機(jī)交互界面,方便使用者進(jìn)行手動(dòng)調(diào)節(jié)

6、完備的上位機(jī)指令,可與電腦進(jìn)行通訊完成各項(xiàng)操作

儀器5

上位機(jī)軟件

1、可實(shí)現(xiàn)一鍵自動(dòng)化測(cè)量,檢測(cè)開(kāi)始后無(wú)需人員進(jìn)行操作即可進(jìn)行測(cè)量。

2、在軟件中進(jìn)行設(shè)置可進(jìn)行自動(dòng)變溫測(cè)量。

3、軟件中可進(jìn)行I-V曲線、B-V曲線以及測(cè)量的各個(gè)半導(dǎo)體參數(shù)對(duì)于溫度t的曲線圖

4、軟件內(nèi)進(jìn)行的模塊化設(shè)計(jì),方便客戶使用以及進(jìn)行相關(guān)功能的開(kāi)發(fā)5、實(shí)驗(yàn)結(jié)果測(cè)量完成,數(shù)據(jù)將暫時(shí)保存在軟件中,如需要長(zhǎng)期保存可將數(shù)據(jù)導(dǎo)出至EXCEL表格中,方便后期的數(shù)據(jù)處理

6、提供半導(dǎo)體所霍爾效應(yīng)標(biāo)準(zhǔn)測(cè)試樣片及數(shù)據(jù):1套

儀器6

配套儀器裝置

1、標(biāo)準(zhǔn)600mm*600mm*1000mm(長(zhǎng)*寬*高)箱式機(jī)柜,內(nèi)置6芯插排,數(shù)量和功率均滿足各使用儀器電源的同時(shí)使用要求

2、標(biāo)準(zhǔn)接口用FX-8型號(hào)機(jī)械真空泵,速度可達(dá):3L/S

3、恒溫器固定裝置,帶滑軌可實(shí)現(xiàn)恒溫器帶動(dòng)樣片的移動(dòng)。

4、磁場(chǎng)傳感器探頭固定裝置:全鋁非導(dǎo)體支架5-70mm可調(diào)

5、溫度測(cè)量與控制連接線固定裝置

6、制作樣品上歐姆接觸焊點(diǎn)的相應(yīng)工具:電烙鐵、銦片、焊錫、漆包線等

 

關(guān)鍵詞:傳感器 真空泵

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