DX-100霍爾效應(yīng)測試系統(tǒng)可分為常溫，高溫，低溫，高低溫霍爾效應(yīng)測試系統(tǒng)；用于測量半導(dǎo)體材料的載流子濃度、遷移率、電阻率、霍爾系數(shù)等重要參數(shù)；霍爾效應(yīng)測試系統(tǒng)是理解和研究半導(dǎo)體器件和半導(dǎo)體材料電學(xué)特性的工具。

可測試的樣品：

 

半導(dǎo)體材料：SiGe, SiC, InAs, InGaAs, InP, AlGaAs, HgCdTe和鐵氧體材料等

低阻抗材料：石墨烯、金屬、透明氧化物、弱磁性半導(dǎo)體材料、TMR材料等

高阻抗材料：半絕緣的GaAs, GaN, CdTe等

 

霍爾系統(tǒng)的組成：

系統(tǒng)由：電磁鐵、高精度電源、連接電纜、高精度恒流源、高精度電壓表、高斯計(jì)、標(biāo)準(zhǔn)樣品、樣品安裝架、系統(tǒng)軟件。為本儀器系統(tǒng)專門研制的DX-320效應(yīng)儀將恒流源，六位半微伏表及霍耳測量復(fù)雜的切換繼電器——開關(guān)組裝成一體，大大減化了實(shí)驗(yàn)的連線與操作。DX-320可單獨(dú)做恒流源、微伏表使用。用于測量半導(dǎo)體材料的載流子濃度、遷移率、電阻率、霍爾系數(shù)等重要參數(shù)，而這些參數(shù)是了解半導(dǎo)體材料電學(xué)特性必須預(yù)先掌控的，因此霍爾效應(yīng)測試系統(tǒng)是理解和研究半導(dǎo)體器件和半導(dǎo)體材料電學(xué)特性的工具。實(shí)驗(yàn)結(jié)果由軟件自動計(jì)算得到，可同時(shí)得到體載流子濃度(Bulk Carrier Concentration)、表面載流子濃度(Sheet Carrier Concentration)、遷移率(Mobility)、電阻率(Resistivity)、霍爾系數(shù)(Hall Coefficient)、磁致電阻(Magnetoresistance)等等。

 

編號	品名	型號	描述
1	電磁鐵	DXWD-100	極面直徑：100mm 磁場：17000Gs，氣隙10mm 磁場：10000Gs，氣隙25mm 磁場：8000Gs，氣隙30mm 均勻區(qū)：1%，在6*6mm，10mm氣隙 重量：110kgs
2	高斯計(jì)	DX-150	精度：讀數(shù)的±0.30%/分辨率0.01mT，量程0-3T/探頭厚度：1.0mm/長度：100mm/數(shù)字顯示，RS-232接口，探頭CDX-800FT
3	電源	F2030	數(shù)字恒流電源，10A，100V，1000W，RS-232接口，可以數(shù)控極性轉(zhuǎn)換，分辨率：1mA
4	探頭和探頭架		無磁探頭架可調(diào)節(jié)5-70mm
5	軟件		調(diào)節(jié)磁場，數(shù)字化，對各種測試材料進(jìn)行電流測試
6	恒流源	DX-320	電流輸出：0.1nA-50mA，電壓測試：0.1uV-3V
7	低溫恒溫器	DXE-12	80k-500k
8	溫控儀	DX-202	溫度控制范圍：80k-720k
9	真空泵	K25

 

主要參數(shù)：

1. 磁場強(qiáng)度：大于14000高斯（DX-100），氣隙20mm
2. 電流：0.1mA-50mA（可擴(kuò)展到1A）
3. 測量電壓：0.1uV-3V
4. 所提供的標(biāo)樣材料：GaAs， Si等
5. 磁場最小分辨率：0.01mT
6. 磁場測量范圍：0-3T
7. 電阻范圍：10mΩ-1MΩ
8. 載流子濃度：10³-10²³cm^-3
9. 遷移率：0.1-10⁸cm²/volt*sec
10. 系統(tǒng)測量誤差：＜2%
11. 用高斯計(jì)或數(shù)據(jù)采集板計(jì)算機(jī)通信
12. I-V曲線和I-R曲線測試
13. 電阻率范圍：10^-6-10¹¹ohm*cm
14. 電阻范圍：10mΩ-1MΩ
15. 載流子濃度：10³-10²²cm^-3
16. 遷移率：10²-10⁷cm²/volt*sec
17. 溫度調(diào)節(jié)：0.1k
18. 溫度范圍：80k-500k （可選）
19. 全自動測試，一件處理

 

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