低溫等離子體技術(shù)在廢氣處理中的應(yīng)用隨著工業(yè)經(jīng)濟的發(fā)展，石油、制藥、油漆、印刷和涂料等行業(yè)產(chǎn)生的揮發(fā)性廢氣也日漸增多，這些廢氣不僅會在大氣中停留較長的時間，還會擴散和漂移到較遠的地方，給環(huán)境帶來嚴重的污染，這些廢氣吸入人體，直接對人體的健康產(chǎn)生   的危害；另外工業(yè)煙氣的無控制排放使性的大氣環(huán)境日益惡化，酸雨(主要來源于工業(yè)排放的硫氧化物和氮氧化物) 的危害引起了各國的重視。由于大氣受污染而酸化，導(dǎo)致了生態(tài)環(huán)境的破壞，重大災(zāi)難頻繁發(fā)生，給人類造成了巨大損失。因此選擇一種經(jīng)濟、可行性強的處理方法勢在必行。

降解揮發(fā)性污染物(VOCs)傳統(tǒng)的處理方法如吸收、吸附、冷凝和燃燒等，對于低濃度的VOCs很難實現(xiàn)，而光催化降解VOCs又存在催化劑容易失活的問題，利用低溫等離子體處理VOCs可以不受上述條件的限制，具有潛在的優(yōu)勢。但由于等離子體是一門包含放電物理學(xué)、放電化學(xué)、化學(xué)反應(yīng)工程學(xué)及真空技術(shù)等基礎(chǔ)學(xué)科之上的交叉學(xué)科。因此, 目前能成熟的掌握該技術(shù)的單位非常的少。大部分宣傳采用低溫等離子技術(shù)處理廢氣的宣傳都不是   意義上的低溫等離子廢氣處理技術(shù)。

對于某些化合物的部分化學(xué)鍵鍵能高于所提供的UV光子能量，如甲醛的“C=O”鍵的鍵能為728kj/mol。目前我們所提供的UV光子的能量為704kj/mol（正在   742kj/mol和800kj/mol）。甲醛在170nm的UV紫外光的照射下，會裂解生成游離態(tài)的[C=O]*、H*。一部分[C=O]*與03反應(yīng)生成CO2，一部分[C=O]*在經(jīng)過與N2等惰性物質(zhì)碰撞后失去能量，生成CO，臭氧量充足時可將部分CO氧化成CO2 。

如果提供的UV紫外線波長為160nm（742kj/mol），則反應(yīng)過程相對就加簡單一些：甲醛會被直接裂解成游離態(tài)的C*、H*，會被O3直接氧化成CO2和H2O。