芯矽科技（蘇州芯矽電子科技有限公司）作為國產(chǎn)半導(dǎo)體濕法清洗設(shè)備企業(yè)，專注半導(dǎo)體濕法清洗設(shè)備研發(fā)制造，融合超聲波、兆聲波及等離子體技術(shù)，可清除≥0.1μm顆粒，適配FinFET、GAA等制程，攻克高深寬比結(jié)構(gòu)清洗難題，滿足5nm及以下制程潔凈度要求。設(shè)備搭載PLC+AI算法，溫控精度達±0.1℃，良率超99.5%，兼具環(huán)保優(yōu)勢，熱回收技術(shù)降能耗30%，廢液回收率超90%。

產(chǎn)品覆蓋4-12英寸晶圓全場景，涵蓋單片、槽式清洗設(shè)備及專用機型，適配研發(fā)到量產(chǎn)全流程。核心產(chǎn)品12寸全自動晶圓化學(xué)鍍設(shè)備、石英清洗機已進入長江存儲、中芯國際等主流晶圓廠供應(yīng)鏈，以高性價比、快速響應(yīng)打破國外壟斷，成為國產(chǎn)替代，為半導(dǎo)體裝備國產(chǎn)化注入強勁動力。