? 1200℃等離子增強小型PECVD回轉(zhuǎn)爐系統(tǒng)—OTF-1200X-S-II-R-4CV-PE （2019.11.27—科晶實驗室審核）

1、多種配件可選提示   2、特殊設(shè)備尺寸設(shè)備   3、科晶實驗室邀請?zhí)崾?/span>   4、配件妥善保管提示

? 射頻電源可實現(xiàn)等離子增強從而顯著降低實驗溫度；

? 齒輪驅(qū)動管式爐旋轉(zhuǎn)可有效地提高復合粉末熱處理的均勻性；

? 4通道質(zhì)子流量計控制系統(tǒng)可以對氣體的輸送進行精確的調(diào)控；

? 爐體開啟式設(shè)計，以達到對樣品快速降溫，方便更換爐管。  

? 輸入電壓：AC208-220V，50/60Hz

? 總功率：<>

? 溫度：1100℃（<>

? 兩個PID溫度控制器及30段可編程溫控系統(tǒng)，控溫精度：±1℃；

? 工作電壓：110V；

? 額定功率：1.5KW；

? 回轉(zhuǎn)爐旋轉(zhuǎn)速度：0-5 rpm。

更多參數(shù)請聯(lián)系科晶銷售部

? 科晶公司現(xiàn)有不同功率的射頻電源可供選擇，以滿足不同實驗條件的需求。

	300W射頻電源	500W射頻電源	100W射頻電源
輸出功率	0-300W可調(diào) （穩(wěn)定性：±1%）	0-500W可調(diào) （穩(wěn)定性：±1%）	0-100W可調(diào) （穩(wěn)定性：±1%）
射頻頻率	13.56 MHz （穩(wěn)定性：±0.5%）	13.56 MHz （穩(wěn)定性：±0.5%）	13.56 MHz （穩(wěn)定性：±0.5%）
匹配	自動匹配	自動匹配	手動匹配
噪音	＜50dB	＜50dB	＜50dB
冷卻方式	風冷	風冷	風冷
輸入電壓	AC180-250V	AC108-250V	AC110-240V
圖片

? 采用TRP-12的雙旋真空泵；

? KF25卡箍及波紋管用于連接管式爐與真空泵；

? 真空度可達10-2Torr。

? 四通道質(zhì)子流量計控制系統(tǒng)可實現(xiàn)氣體流量的精確控制（精確度：±0.02%）；

? 流量范圍:

? 電壓：208-240V， AC， 50/60Hz；

? 氣體進出口配件：6mm OD的聚四氟管或不銹鋼管；

? 不銹鋼針閥用于手動控制氣體進出；

? PLC觸摸屏可以簡便地進行氣體流量設(shè)置。

? 標配KJ-5000循環(huán)水冷機，水流速率：16L/min

? 尺寸：1400mm L′600mm W′1240mm H

? 凈重：90 kg 

? CE認證

? 所有電器元件通過 UL / MET / CSA認證

? 如您另外付費，我們可以保證單臺儀器的TUV(UL61010)或CSA 認證

? 一年質(zhì)保期，終身維護（不包括爐管、硅膠密封圈和加熱元件）