◇ 新操作導(dǎo)航SEM Center-集成了EDS操作

新開發(fā)的操作GUI“SEM Center”將SEM成像觀察和EDS分析整合在一起，實現(xiàn)了圖像觀察和元素分析的無縫數(shù)據(jù)采集。

◇ 新功能Zeromag

 “Zeromag”，結(jié)合了從光學(xué)圖像到SEM成像的無縫轉(zhuǎn)換，很容易定位試樣目標微區(qū)。

◇ 新功能Live-AI filter(實時圖像視覺增強器人工智能過濾器) option

配備人工智能Live-AI filter。與圖像集成處理不同，這種新的過濾器可以顯示無縫移動的實時圖像，沒有殘留圖像。這種獨特的特征對于快速搜索觀察區(qū)域、聚焦和消像散調(diào)整非常有效。

◇ In-lens 肖特基-Plus場發(fā)射電子槍(FEG)

電子槍和低像差聚光鏡的增強集成實現(xiàn)了更高的亮度。能夠有效收集電子槍產(chǎn)生的電子，即使低加速電壓下也能得到數(shù)pA-數(shù)十pA的電流，支持高分辨觀察、高速元素分析和EBSD分析。

◇ 混合透鏡(HL)

混合透鏡(HL)是靜電和電磁場透鏡的組合，支持從磁性材料到絕緣體等各種樣品的高空間分辨率成像和分析

◇ Neo Engine

Neo Engine是一種前沿的電子光學(xué)控制系統(tǒng)，在自動功能的精度上有了顯著的提高，可操作性也更高。即使變更電子光學(xué)條件，光軸也不偏差，操作性和觀察精度大幅提高?？梢哉f是JEOL電子光學(xué)技術(shù)的結(jié)晶。

◇ ACL

JSM-F100包括一個光闌角孔優(yōu)化透鏡(ACL)。ACL抑制入射電子的擴散，以始終保持最小的探頭。這是通過對孔徑角度的優(yōu)化控制來實現(xiàn)的，以適應(yīng)探頭電流的大變化，使掃描電鏡的操作包括高分辨率成像和x射線分析順利進行。

◇ 檢測器

4個檢測器。標配SED (二次電子検出器)、UED(上方検出器) 、可選件RBED、USD

UED and USD

RBED and SED