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  • JBX-6300FS 電子束光刻系統(tǒng)
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廠商性質(zhì)

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型號

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106

產(chǎn)地

廣東廣州市

更新時間

2026/6/18 8:24:41

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JBX-6300FS的電子光學(xué)系統(tǒng)在100kV的加速電壓下能自動調(diào)整直徑為(計算值)2.1nm的電子束,簡便地描畫出線寬在8nm以下(實際可達(dá)5nm)的圖形。 此外,該光刻系統(tǒng)還實現(xiàn)了9nm以下的場拼接精度和套刻精度,性能比。 利用最細(xì)電子束束斑(實測值直徑≦2.9

JBX-6300FS 電子束光刻系統(tǒng)詳細(xì)信息

JBX-6300FS的電子光學(xué)系統(tǒng)在100kV的加速電壓下能自動調(diào)整直徑為(計算值)2.1nm的電子束,簡便地描畫出線寬在8nm以下(實際可達(dá)5nm)的圖形。

此外,該光刻系統(tǒng)還實現(xiàn)了9nm以下的場拼接精度和套刻精度,性能比。

利用最細(xì)電子束束斑(實測值直徑≦2.9nm)可以描畫8nm以下(實際可達(dá)5nm)極為精細(xì)的圖形。本公司獨(dú)特的DF/DS系統(tǒng)能對電子束偏轉(zhuǎn)產(chǎn)生的畸變進(jìn)行校正,具有球差和象散自動補(bǔ)償功能,可在場邊角、場邊界處進(jìn)行高精度地描畫。

該系統(tǒng)采用了19位DAC和樣品臺控制精度為0.6nm的激光干渉儀,實現(xiàn)了業(yè)界水準(zhǔn)的位置精度、拼接、套刻精度(±9nm)?!】捎糜谖恢镁纫蠛芨叩墓庾悠骷⑼ㄐ旁O(shè)備等領(lǐng)域的研究和開發(fā)。

本公司獨(dú)自的自動校正功能(自動補(bǔ)償功能),實現(xiàn)了可信賴的長時間穩(wěn)定地描畫。自動補(bǔ)償可以根據(jù)時間(任意的)、場和圖形進(jìn)行分別設(shè)定,非常適合于周末及休假等無人值守等情況下的長時間描畫。

掃描速度高達(dá)50MHz,再加上地抑制了機(jī)器的準(zhǔn)備操作時間,因此縮短了描畫時間,到描畫開始為止的作業(yè)非常簡單,聚焦也能夠自動進(jìn)行,因而能提高總產(chǎn)出量。

使用自動裝載系統(tǒng)(選配),最多可以連續(xù)描畫10個樣品架。(例:可連續(xù)描畫10張6英寸的晶圓片或者40張2英寸的晶圓片等。※連續(xù)描畫時,需要和材料數(shù)相應(yīng)的樣品架。)目前在日本國內(nèi)外已有這樣的生產(chǎn)線。

利用微間距控制程序(場尺寸精調(diào)程序),可以制作DFB激光器等的啁啾光柵。

電子槍ZrO/W 肖特基型
描畫方式描畫方式
加速電壓25kV (選配), 50kV, 100kV
樣品尺寸200mmΦ的晶圓片, 5英寸或 6英寸的掩模版, 任意尺寸的的微小樣品。
樣品尺寸2000μmX2000μm
樣品臺移動范圍190mmX170mm
套刻精度≦±9nm
場拼接精度≦±9nm
掃描速度 50MHz

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