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  • JBX-9500FS 電子束光刻系統(tǒng)
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品牌

廠商性質(zhì)

其他

型號

訪問次數(shù)

139

產(chǎn)地

廣東廣州市

更新時間

2026/6/18 8:27:09

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產(chǎn)品簡介

JBX-9500FS是一款100kV圓形束電子束光刻系統(tǒng),兼具高水平的產(chǎn)出量和定位精度,能容納300mmφ的晶圓片和6英寸的掩模版,適合納米壓印、光子器件、通信設(shè)備等多個領(lǐng)域的研發(fā)及生產(chǎn)。

JBX-9500FS 電子束光刻系統(tǒng)詳細(xì)信息

JBX-9500FS是一款100kV圓形束電子束光刻系統(tǒng),兼具高水平的產(chǎn)出量和定位精度,能容納300mmφ的晶圓片和6英寸的掩模版,適合納米壓印、光子器件、通信設(shè)備等多個領(lǐng)域的研發(fā)及生產(chǎn)。

此外,由于具有100MHz的掃描速度,場尺寸在1000µm×1000µm時的套刻精度達(dá)到±11nm、場拼接精度為±10nm、寫場內(nèi)位置精度達(dá)±9nm,是兼具高水準(zhǔn)產(chǎn)出率和位置精度的100kV圓形束光刻系統(tǒng)。

由于采用的位置偏轉(zhuǎn)DAC為20位,掃描DAC為14位,能獲得0.25nm的掃描步距,分辨率更高,描畫數(shù)據(jù)增長1nm,可以更忠實(shí)地再現(xiàn)描畫數(shù)據(jù)。

達(dá)到100MHz的高速化掃描速度,保證了大電流描畫時的掃描步距很短,因而能提高對精度要求的圖形描畫的產(chǎn)出量。

由激光束控制(LBC)的0.15nm(λ/4096)的最小定位單位及高分辨率,達(dá)到了高水準(zhǔn)的位置精度。

本公司獨(dú)自的自動校正功能(自動補(bǔ)償功能),實(shí)現(xiàn)了可信賴的長時間穩(wěn)定地描畫。自動補(bǔ)償可以根據(jù)時間(任意的)、場和圖形進(jìn)行分別設(shè)定,非常適合于周末及休假等無人值守等情況下的長時間描畫。

該系統(tǒng)能容納300mmφ的晶圓片和6英寸的光掩模版,適合于納米壓印、光子器件、通信設(shè)備等各種領(lǐng)域的研發(fā)及生產(chǎn)。采用材料卡匣傳送系統(tǒng)(選配),最多可裝載10個卡匣。

利用微間距控制程序(場尺寸微調(diào)程序)可以制作DFB激光器等的啁啾光柵。

電子槍ZrO/W 肖特基型
描畫方式圓形束, 矢量掃描, 步進(jìn)重復(fù)式
加速電壓100kV
樣品尺寸 樣品尺寸 (可以安裝): 300mmΦ的晶圓片, 6英寸的掩模版, 任意尺寸的的微小樣品。
場尺寸1000µm×1000µm
樣品臺移動范圍260mmX240mm
樣品臺控制單元0.15nm(λ/4096)
套刻精度≦±11nm
場拼接精度≦±10nm (場尺寸為1000µm×1000µm)
寫場內(nèi)位置精度≦±9nm(場尺寸為1000µm×1000µm)
定位DAC20位
掃描速度 100MHz

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