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PECVD系統(tǒng)(集成氣化裝置)

參考價面議
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱河南諾巴迪材料科技有限公司
  • 品       牌
  • 型       號
  • 所  在  地鄭州市
  • 廠商性質(zhì)其他
  • 更新時間2025/11/23 8:19:44
  • 訪問次數(shù)76
產(chǎn)品標(biāo)簽:

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河南諾巴迪材料科技有限公司是集研究?開發(fā)?制造?經(jīng)營為一體的創(chuàng)新型企業(yè),產(chǎn)品已經(jīng)遍布亞歐美,覆蓋國內(nèi)大多數(shù)實驗室,諾巴迪品牌已經(jīng)成為受客戶歡迎和信任的品牌之一。 公司以科技創(chuàng)新為主,服務(wù)客戶為宗旨,積極研究開發(fā)新產(chǎn)品,奉獻(xiàn)于教育和科研,經(jīng)過長期的研發(fā)和不斷的技術(shù)積累,擁有熱工、制造、控制相關(guān)技術(shù)30余項,為化學(xué)、物理、材料、電子、高分子工程、新材料制備和研發(fā)領(lǐng)域的科學(xué)研究提供了精良設(shè)備。公司通過引進(jìn)“千人”強強聯(lián)合,形成了有效的信息、技術(shù)交流平臺,為諾巴迪國際化發(fā)展提供了強有力的支持! 目前公司已研發(fā)生產(chǎn)29個系列178款產(chǎn)品,產(chǎn)品囊括管式爐、真空爐、升降爐、快速退火爐(RTP)、箱式爐、澆注爐、旋轉(zhuǎn)爐等,主要適用于科研院校及工礦企業(yè)在新材料、新能源等領(lǐng)域物理特性及化學(xué)特性的研究,遠(yuǎn)銷歐美及東亞地區(qū),多款設(shè)備取得了歐盟CE認(rèn)證。 公司與“新世紀(jì)材料基因組工程研究院”有多層次的戰(zhàn)略合作關(guān)系,建有開放實驗室,新能源新材料領(lǐng)域的千人教授、高級工程師、博士參與公司產(chǎn)品的研究和開發(fā)。我們秉承公司的發(fā)展理念,依靠嚴(yán)謹(jǐn)?shù)募夹g(shù)研發(fā)能力、科學(xué)合理的生產(chǎn)工藝、精益求精的制造要求,全心全意做好產(chǎn)品質(zhì)量和服務(wù)工作,我們諾巴迪人時刻懷著一顆真誠的心期待與您的合作。 公司格言誠信永遠(yuǎn) 諾巴迪人永遠(yuǎn)以誠待人,信守諾言——使您與諾巴迪的每次交往都感到愉快用心溝通 諾巴迪人懷著一顆真摯的心與您溝通——使的我們提供的每一臺儀器都是您理想中的設(shè)備 諾巴迪人制造的設(shè)備必屬高質(zhì)量﹑高性能產(chǎn)品——每一臺設(shè)備均經(jīng)過精心制作、嚴(yán)格的測試服務(wù)承諾 諾巴迪人為您提供專業(yè)快捷周到的售前及售后服務(wù)和技術(shù)支持——保證您研究的成功并攜手探索科技未來
真空爐
設(shè)備簡介:
PECVD系統(tǒng)(集成氣化裝置) 產(chǎn)品信息



主要特點:

1. 集成液體氣化系統(tǒng),可穩(wěn)定提供包括有毒液體在內(nèi)的反應(yīng)氣體條件;

2. 清洗鍍膜一氣呵成,杜絕二次污染;

3. 上開啟式結(jié)構(gòu),方便觀察試樣;

4. 產(chǎn)品采用全自動控制方式,觸摸屏,數(shù)字化顯示;

5. 設(shè)備一體化程度高;

6. 穩(wěn)定的射頻電源,均勻的溫度分布,提高成膜質(zhì)量;

7. 出色的電磁波屏蔽方案,高效、安全!

設(shè)備型號

NBD-PE1200-80TID2FY

供電電源

AC220V 50/60HZ

控溫精度

±1℃

觸摸屏尺寸

7英寸

射頻頻率

13.56MHz

射頻功率輸出范圍

0-200W

沉積加熱額定功率

4.0KW

蒸發(fā)器額定功率

1.3KW

伴熱帶額定功率

75W

傳感器類型

K型熱電偶

沉積溫度

1200℃

沉積額定溫度

1150℃

蒸發(fā)器額定溫度

400℃

伴熱帶額定溫度

150℃

推薦升溫速率

≤10/min

沉積管徑

Φ80mm*1200mm
蒸發(fā)源管徑

Φ50mm*80mm

蒸發(fā)源有效容積

50ml

PECVD 外形尺寸

長1500×高1280×深760mm

蒸發(fā)器外形尺寸

長410×高350×深210mm

氣氛條件

混合氣、真空等

機械泵抽氣速率

16 立方米每小時

爐腔極限真空度

3~5Pa

法蘭結(jié)構(gòu)

航空鋁快開模式;

操作系統(tǒng)

NBD-101EP集中總線控制集成系統(tǒng),7"全觸摸屏操控,智能模糊PID 控制;智能式人機對話模式;

真空測試

數(shù)字真空計獲取裝置;

設(shè)備細(xì)節(jié)

控制系統(tǒng)


1、燒結(jié)工藝曲線設(shè)置:動態(tài)顯示設(shè)置曲線,設(shè)備燒結(jié)可預(yù)存多條工藝曲線,每條工藝曲線可自由設(shè)置;
2、可預(yù)約燒結(jié),實現(xiàn)無人值守?zé)Y(jié)工藝曲線燒結(jié);
3、實時顯示燒結(jié)功率電壓等信息并記錄燒結(jié)數(shù)據(jù),并可導(dǎo)出實現(xiàn)無紙記錄;
4、具有實現(xiàn)遠(yuǎn)程操控,實時觀測設(shè)備狀態(tài);
5、溫度校正:主控溫度和試樣溫度的差值,燒結(jié)全程進(jìn)行非線性修正。

弱腐蝕性氣體預(yù)熱器

(可選配)


通體采用316L材料,對于各種氣體以及腐蝕性氣體的預(yù)加熱處理,滿足特殊的工藝需求,溫度達(dá)600℃。

可選配

CRB升級型尾氣凈化器)



本公司研制的NBD-B型外延爐尾氣凈化器,在結(jié)構(gòu)上綜合采用了2個噴洗室和1個填料柱室,洗滌器所產(chǎn)生的負(fù)壓由人工手動控制,補水系統(tǒng)由人工根據(jù)工藝情況調(diào)節(jié)。水溶性氣體的清除率高達(dá) 99.99%。凈化高、維護(hù),運行成本。
PECVD+CRB升級型尾氣凈化器應(yīng)用

部分界面

凈重

約300KG

設(shè)備使用注意事項

1.射頻匹配器一般處于自動匹配狀態(tài),一般功率需達(dá)到50W以上才能匹配;

2.若采用手動匹配,將功率設(shè)到60W左右,手動調(diào)諧匹配合適時,再增加功率

服務(wù)支持

一年有限保修,提供終身支持;

免責(zé)聲明:本站產(chǎn)品介紹內(nèi)容(包括產(chǎn)品圖片、產(chǎn)品描述、技術(shù)參數(shù)等),僅供參考??赡苡捎诟虏患皶r,或許導(dǎo)致所述內(nèi)容與實際情況存在一定的差異,請與本公司客服人員聯(lián)系確認(rèn)。本站提供的信息不構(gòu)成任何要約或承諾,諾巴迪公司不定期*和修改網(wǎng)站任何信息,恕不另行通知。

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