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參考價	面議

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	主要特點： 1. 集成液體氣化系統(tǒng)，可穩(wěn)定提供包括有毒液體在內的反應氣體條件； 2. 清洗鍍膜一氣呵成，杜絕二次污染； 3. 上開啟式結構，方便觀察試樣； 4. 產品采用全自動控制方式，觸摸屏，數字化顯示； 5. 設備一體化程度高； 6. 穩(wěn)定的射頻電源，均勻的溫度分布，提高成膜質量； 7. 出色的電磁波屏蔽方案，高效、安全！
設備型號	NBD-PE1200-80TID2FY
供電電源	AC220V 50/60HZ
控溫精度	±1℃
觸摸屏尺寸	7英寸
射頻頻率	13.56MHz
射頻功率輸出范圍	0-200W
沉積加熱額定功率	4.0KW
蒸發(fā)器額定功率	1.3KW
伴熱帶額定功率	75W
傳感器類型	K型熱電偶
沉積溫度	1200℃
沉積額定溫度	1150℃
蒸發(fā)器額定溫度	400℃
伴熱帶額定溫度	150℃
推薦升溫速率	≤10/min
沉積管徑	Φ80mm*1200mm
蒸發(fā)源管徑	Φ50mm*80mm
蒸發(fā)源有效容積	50ml
PECVD 外形尺寸	長1500×高1280×深760mm
蒸發(fā)器外形尺寸	長410×高350×深210mm
氣氛條件	混合氣、真空等
機械泵抽氣速率	16 立方米每小時
爐腔極限真空度	3~5Pa
法蘭結構	航空鋁快開模式；
操作系統(tǒng)	NBD-101EP集中總線控制集成系統(tǒng)，7"全觸摸屏操控，智能模糊PID 控制；智能式人機對話模式；
真空測試	數字真空計獲取裝置；
設備細節(jié)
控制系統(tǒng)		1、燒結工藝曲線設置：動態(tài)顯示設置曲線，設備燒結可預存多條工藝曲線，每條工藝曲線可自由設置； 2、可預約燒結，實現無人值守燒結工藝曲線燒結； 3、實時顯示燒結功率電壓等信息并記錄燒結數據，并可導出實現無紙記錄； 4、具有實現遠程操控，實時觀測設備狀態(tài)； 5、溫度校正：主控溫度和試樣溫度的差值，燒結全程進行非線性修正。
弱腐蝕性氣體預熱器（可選配）		通體采用316L材料，對于各種氣體以及腐蝕性氣體的預加熱處理，滿足特殊的工藝需求，溫度達600℃。
可選配（CRB升級型尾氣凈化器)		本公司研制的NBD-B型外延爐尾氣凈化器，在結構上綜合采用了2個噴洗室和1個填料柱室，洗滌器所產生的負壓由人工手動控制，補水系統(tǒng)由人工根據工藝情況調節(jié)。水溶性氣體的清除率高達 99.99％。凈化高、維護，運行成本。
PECVD+CRB升級型尾氣凈化器應用
部分界面
凈重	約300KG
設備使用注意事項	1.射頻匹配器一般處于自動匹配狀態(tài)，一般功率需達到50W以上才能匹配； 2.若采用手動匹配，將功率設到60W左右，手動調諧匹配合適時，再增加功率
服務支持	一年有限保修，提供終身支持；

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PECVD系統(tǒng)（集成氣化裝置）

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