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  • 化學(xué)氣相沉積CVD一體機(jī)
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品牌

廠商性質(zhì)

其他

型號(hào)

訪問(wèn)次數(shù)

216

產(chǎn)地

河南鄭州市

更新時(shí)間

2025/11/22 10:10:46

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

設(shè)備簡(jiǎn)介:

化學(xué)氣相沉積CVD一體機(jī)詳細(xì)信息


設(shè)備特點(diǎn)

1.爐體與控制系統(tǒng)集成一體化,使試驗(yàn)方便快捷直觀。

2.配置浮子流量計(jì)或質(zhì)量流量計(jì)混氣氣路,可以單獨(dú)設(shè)置氣體流量。

3.精確PID程序多段控制,實(shí)現(xiàn)不同工藝多段溫度時(shí)間監(jiān)控。

4.爐襯采用高純氧化鋁輕質(zhì)纖維材料,保溫效果。

5.配備機(jī)械泵或分子真空泵,可以實(shí)現(xiàn)不同的真空條件。

產(chǎn)品型號(hào)

NBD-T1700-80TIG3Z

工作溫度

≤1650℃

加熱區(qū)尺寸

310mm
恒溫區(qū)尺寸

220mm

升溫速率

≤20℃/min

電氣規(guī)格

AC220  4.5KW
控制系統(tǒng)

1、燒結(jié)工藝曲線設(shè)置:動(dòng)態(tài)顯示設(shè)置曲線,設(shè)備燒結(jié)可預(yù)存多條工藝曲線,每條工藝曲線可自由設(shè)置;
2、可預(yù)約燒結(jié),實(shí)現(xiàn)無(wú)人值守?zé)Y(jié)工藝曲線燒結(jié);
3、實(shí)時(shí)顯示燒結(jié)功率電壓等信息并記錄燒結(jié)數(shù)據(jù),并可導(dǎo)出實(shí)現(xiàn)無(wú)紙記錄;
4、具有實(shí)現(xiàn)遠(yuǎn)程操控,實(shí)時(shí)觀測(cè)設(shè)備狀態(tài);
5、溫度校正:主控溫度和試樣溫度的差值,燒結(jié)全程進(jìn)行非線性修正。

氣體系統(tǒng)(可選購(gòu))

流量計(jì)類(lèi)型

浮子流量計(jì)

質(zhì)量流量計(jì)

管道示意圖

進(jìn)氣接口數(shù)量

2、3、4(多路可選)

流量范圍

20-200/60-600l/min(多量程可選)

50/100/200sccm(多量程可選)

工作壓差范圍

0-0.15MPa

低真空系統(tǒng)(可選購(gòu))

真空泵型號(hào)

NBD-1.5C

NBD-3C

NBD-4C

抽氣速率

1L/s

3L/s

4L/s

進(jìn)排氣口尺寸

Φ8mm寶塔接頭

Φ8mm寶塔接頭

KF16/25

極限壓力

1000Pa

100Pa

10Pa

工作溫度

5-40℃

電氣規(guī)格

AC220V

分子泵高真空系統(tǒng)

(可選購(gòu))

分子泵系統(tǒng)型號(hào)

NBD-103(A)

NBD-103(B)

NBD-103(C)

抽氣速率

110L/s

600L/s

700L/s

真空測(cè)量計(jì)

復(fù)合真空計(jì)

極限壓力

10^-3Pa

10^-4Pa

10^-5Pa

工作溫度

5-40℃

電氣規(guī)格

AC 220V

AC 220V

AC 380V

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關(guān)鍵詞:真空泵

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