| 1. 清洗鍍膜一氣呵成，杜絕二次污染； 2. 上開啟式結(jié)構(gòu)，方便觀察試樣； 3. 產(chǎn)品采用全自動控制方式，觸摸屏，數(shù)字化顯示； 4. 設(shè)備一體化程度高； 5. 穩(wěn)定的射頻電源，均勻的溫度分布，提高成膜質(zhì)量； | |||||||||
產(chǎn)品型號 | NBD-PECVD1200-80TI | |||||||||
電氣規(guī)格 | AC220V 4KW | |||||||||
可達溫度 | 1200 ℃ | |||||||||
連續(xù)溫度 | 1150℃ | |||||||||
可達加熱速率 | ≤ 20 ℃/分鐘 | |||||||||
射頻電源 | 300或500W 13.56MHz | |||||||||
爐管尺寸 | Φ80*1200mm | |||||||||
| 沉積示意圖 |
| 如圖所示：此為該設(shè)備沉積過程中的示意圖 | ||||||||
控制系統(tǒng) |
| 1、NBD-101EP嵌入式操作系統(tǒng)中英文互換圖形界面，7寸真彩觸屏輸入， 智能式人機對話模式，實時加熱功率顯示，非線性式樣溫度修正；實驗報告自 主生成，實驗數(shù)據(jù)無限次導(dǎo)出。 2、實驗過程更加直觀，操作更加便捷； 3、具有超溫報警、斷偶提示、漏電保護等功能。 | ||||||||
溫度精度 | +/- 1 ℃ | |||||||||
加熱元件 |
| Mo摻雜的Fe-Cr-Al合金 | ||||||||
可選配 （CRB升級型尾氣凈化器） |  | 本公司研制的NBD-B型外延爐尾氣凈化器，在結(jié)構(gòu)上綜合采用了2個噴洗室和1個填料柱室，洗滌器所產(chǎn)生的負(fù)壓由人工手動控制，補水系統(tǒng)由人工根據(jù)工藝情況調(diào)節(jié)。水溶性氣體的清除率高達 99.99％。凈化高、維護，運行成本。 | ||||||||
PECVD+CRB升級型尾氣凈化器應(yīng)用 |  | |||||||||
密封系統(tǒng) |
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真空度：≤10Pa（機械泵） | ||||||||||
壓力測量與監(jiān)控 |
| 采用數(shù)顯真空計，可使設(shè)備真空度更加直觀，實驗結(jié)果更加準(zhǔn)確。 | ||||||||
供氣系統(tǒng) |
| 采用兩路質(zhì)子流量計精確控制氣體流速，與設(shè)備集成為一體； | ||||||||
凈重 | 360KG | |||||||||
設(shè)備使用注意事項 | 1、設(shè)備爐膛溫度≥300℃時，禁止打開爐膛，避免受到傷害； 2、設(shè)備使用時，爐管內(nèi)壓力不得超過0.125MPa（壓力），以防止壓力過大造成設(shè)備損壞； 3、真空下使用時，設(shè)備使用溫度不得超過800℃。 4、供氣鋼瓶內(nèi)部氣壓較高，向爐管內(nèi)通入氣體時，氣瓶上必須安裝減壓閥，建議在選購試驗用小壓力減壓閥， 減壓閥量程為0.01MPa-0.15MPa,使用時會更加精確安全。 5、當(dāng)爐體溫度高于1000℃時，爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài)，爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓 相當(dāng)，保持在常壓狀態(tài)； 6、高純石英管的長時間使用溫度≦1100℃; 7、加熱的實驗時，不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對樣品加熱，則需時刻關(guān)注壓力表 的示數(shù)，若壓力表讀數(shù)大于0.15MPa，必須立刻打開排氣端閥門，以防意外發(fā)生（如爐 管破裂，法蘭飛出等）。 | |||||||||
服務(wù)支持 | 1年質(zhì)保，提供終身支持（保修范圍內(nèi)不包括易耗部件，例如爐管和密封圈等）。 | |||||||||
免責(zé)聲明：本站產(chǎn)品介紹內(nèi)容（包括產(chǎn)品圖片、產(chǎn)品描述、技術(shù)參數(shù)等），僅供參考?？赡苡捎诟虏患皶r，或許導(dǎo)致所述內(nèi)容與實際情況存在一定的差異，請與本公司客服人員聯(lián)系確認(rèn)。本站提供的信息不構(gòu)成任何要約或承諾，諾巴迪公司不定期*和修改網(wǎng)站任何信息，恕不另行通知。
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