![]() | 主要特點(diǎn) 1. 溫度控制 高溫穩(wěn)定性:能夠穩(wěn)定維持在1200℃的高溫環(huán)境,適用于多種材料的CVD過(guò)程。 PID智能控溫系統(tǒng):提供高精度的溫度控制,通常溫度波動(dòng)范圍在±1℃以?xún)?nèi),支持多段程序升溫曲線設(shè)置,適應(yīng)復(fù)雜的工藝需求。 2. 旋轉(zhuǎn)與擺振功能 旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng):樣品臺(tái)或反應(yīng)室可以圍繞中心軸旋轉(zhuǎn),確保氣體分布均勻,促進(jìn)涂層厚度的一致性。 擺振振動(dòng):除了旋轉(zhuǎn)外,還配備了擺振裝置,使樣品在三維空間內(nèi)輕微振動(dòng),進(jìn)一步提高涂層的均勻性和致密性。 3. 自動(dòng)進(jìn)出料系統(tǒng) 自動(dòng)化操作:配備自動(dòng)進(jìn)出料系統(tǒng),實(shí)現(xiàn)物料的連續(xù)進(jìn)料和出料,減少人工干預(yù),提高生產(chǎn)效率。 安全可靠:自動(dòng)進(jìn)出料系統(tǒng)采用的機(jī)械臂或傳送帶技術(shù),確保操作的安全性和可靠性。 靈活性:可根據(jù)不同批次的樣品尺寸和形狀進(jìn)行調(diào)整,適應(yīng)多樣化的實(shí)驗(yàn)需求。 4. 氣氛控制 多種氣氛選擇:支持真空、惰性氣體(如氮?dú)?、氬氣)、還原性氣體(如氫氣)等多種氣氛條件,滿(mǎn)足不同材料的CVD需求。 可選配精確流量控制:通過(guò)質(zhì)量流量控制器(MFC)精確調(diào)節(jié)反應(yīng)氣體的流量,確保化學(xué)反應(yīng)的條件。 5. 智能化控制系統(tǒng) 觸摸屏界面:直觀易用的操作界面,便于用戶(hù)輸入?yún)?shù)、啟動(dòng)測(cè)試和查看結(jié)果。 數(shù)據(jù)記錄與分析:實(shí)時(shí)監(jiān)控系統(tǒng),方便用戶(hù)追蹤生產(chǎn)過(guò)程,并自動(dòng)記錄關(guān)鍵參數(shù),便于后續(xù)數(shù)據(jù)分析和質(zhì)量控制。 遠(yuǎn)程監(jiān)控與管理:支持遠(yuǎn)程連接,可通過(guò)互聯(lián)網(wǎng)對(duì)設(shè)備進(jìn)行監(jiān)控和管理,提升工作效率。 6. 安全防護(hù)措施 過(guò)溫保護(hù)裝置:當(dāng)檢測(cè)到異常高溫時(shí),系統(tǒng)會(huì)自動(dòng)報(bào)警并切斷電源,防止設(shè)備損壞。 緊急停止按鈕:確保操作人員的安全。 | ||
設(shè)備名稱(chēng) | 1200℃旋轉(zhuǎn)擺振CVD包覆加熱爐 | ||
規(guī)格型號(hào) | NBD-RT1200-100T2DF2LN | ||
供電電源 | AC380V 50HZ | ||
額定功率 | 4.5KW | ||
溫區(qū)數(shù)量 | 單溫雙控 | ||
控溫精度 | ±1℃ | ||
加熱元件 | 合金電阻絲 | ||
傳感器類(lèi)型 | K型熱電偶φ2*420mm | ||
Tmax | 1200℃ | ||
長(zhǎng)期工作溫度 | 1100℃ | ||
升溫速率 | 1℃/H-20℃/Min | ||
爐膛溫區(qū)尺寸 | Φ150*440(220+220)mm | ||
爐體傾斜角度 | -5-20° | ||
爐管規(guī)格 | 60*3*1000 中間100*3*355/380,內(nèi)接3只20*3*340刮片 | ||
爐管旋轉(zhuǎn)速度 | 1-10rpm | ||
送料速度 | 1-25ml/min(粉狀料) | ||
送料粒徑 | <φ0.1mm | ||
進(jìn)出料罐容積 | 2L | ||
浮子流量計(jì) | 0.1-0.8L/min | ||
爐體尺寸 | 長(zhǎng)1763*高1683*深795mm | ||
爐體重量 | 約272KG | ||
控制系統(tǒng) | | 1、燒結(jié)工藝曲線設(shè)置:動(dòng)態(tài)顯示設(shè)置曲線,設(shè)備燒結(jié)可預(yù)存多條工藝曲線,每條工藝曲線可自由設(shè)置; 2、可預(yù)約燒結(jié),實(shí)現(xiàn)無(wú)人值守?zé)Y(jié)工藝曲線燒結(jié); 3、實(shí)時(shí)顯示燒結(jié)功率電壓等信息并記錄燒結(jié)數(shù)據(jù),并可導(dǎo)出實(shí)現(xiàn)無(wú)紙記錄; 4、具有實(shí)現(xiàn)遠(yuǎn)程操控,實(shí)時(shí)觀測(cè)設(shè)備狀態(tài); 5、溫度校正:主控溫度和試樣溫度的差值,燒結(jié)全程進(jìn)行非線性修正。 | |
爐膛細(xì)節(jié) | ![]() | 帶有揚(yáng)料板的變徑石英管 | |
弱壓力測(cè)量與監(jiān)控 腐蝕性氣體預(yù)熱器 (可選配) | ![]() | 通體采用316L材料,對(duì)于各種氣體以及腐蝕性氣體的預(yù)加熱處理,滿(mǎn)足特殊的工藝需求,溫度達(dá)600℃。 | |
加熱元件 | ![]() | 合金電阻絲 | |
壓力測(cè)量與監(jiān)控 | ![]() | 采用機(jī)械壓力表,表外殼為氣密型結(jié)構(gòu),能有效保護(hù)內(nèi)部機(jī)件免受環(huán)境影響和雜物侵入,同時(shí)具有較強(qiáng)的耐腐蝕和耐高溫的能力 | |
供氣系統(tǒng) | ![]() | 采用浮子流量計(jì)控制氣體流速,與設(shè)備一體化,且出廠前已進(jìn)行漏氣測(cè)試工作。 | |
服務(wù)與支持 | 一年有限保修,提供終身支持(保修范圍內(nèi)不包括易耗部件,例如處理管和O形圈,請(qǐng)?jiān)谙旅娴南嚓P(guān)產(chǎn)品處訂購(gòu)更換件)。 | ||
河南諾巴迪材料科技有限公司是集研究?開(kāi)發(fā)?制造?經(jīng)營(yíng)為一體的創(chuàng)新型企業(yè),產(chǎn)品已經(jīng)遍布亞歐美,覆蓋國(guó)內(nèi)大多數(shù)實(shí)驗(yàn)室,諾巴迪品牌已經(jīng)成為受客戶(hù)歡迎和信任的品牌之一。 公司以科技創(chuàng)新為主,服務(wù)客戶(hù)為宗旨,積極研究開(kāi)發(fā)新產(chǎn)品,奉獻(xiàn)于教育和科研,經(jīng)過(guò)長(zhǎng)期的研發(fā)和不斷的技術(shù)積累,擁有熱工、制造、控制相關(guān)技術(shù)30余項(xiàng),為化學(xué)、物理、材料、電子、高分子工程、新材料制備和研發(fā)領(lǐng)域的科學(xué)研究提供了精良設(shè)備。公司通過(guò)引進(jìn)“千人”強(qiáng)強(qiáng)聯(lián)合,形成了有效的信息、技術(shù)交流平臺(tái),為諾巴迪國(guó)際化發(fā)展提供了強(qiáng)有力的支持! 目前公司已研發(fā)生產(chǎn)29個(gè)系列178款產(chǎn)品,產(chǎn)品囊括管式爐、真空爐、升降爐、快速退火爐(RTP)、箱式爐、澆注爐、旋轉(zhuǎn)爐等,主要適用于科研院校及工礦企業(yè)在新材料、新能源等領(lǐng)域物理特性及化學(xué)特性的研究,遠(yuǎn)銷(xiāo)歐美及東亞地區(qū),多款設(shè)備取得了歐盟CE認(rèn)證。 公司與“新世紀(jì)材料基因組工程研究院”有多層次的戰(zhàn)略合作關(guān)系,建有開(kāi)放實(shí)驗(yàn)室,新能源新材料領(lǐng)域的千人教授、高級(jí)工程師、博士參與公司產(chǎn)品的研究和開(kāi)發(fā)。我們秉承公司的發(fā)展理念,依靠嚴(yán)謹(jǐn)?shù)募夹g(shù)研發(fā)能力、科學(xué)合理的生產(chǎn)工藝、精益求精的制造要求,全心全意做好產(chǎn)品質(zhì)量和服務(wù)工作,我們諾巴迪人時(shí)刻懷著一顆真誠(chéng)的心期待與您的合作。 公司格言誠(chéng)信永遠(yuǎn) 諾巴迪人永遠(yuǎn)以誠(chéng)待人,信守諾言——使您與諾巴迪的每次交往都感到愉快用心溝通 諾巴迪人懷著一顆真摯的心與您溝通——使的我們提供的每一臺(tái)儀器都是您理想中的設(shè)備 諾巴迪人制造的設(shè)備必屬高質(zhì)量﹑高性能產(chǎn)品——每一臺(tái)設(shè)備均經(jīng)過(guò)精心制作、嚴(yán)格的測(cè)試服務(wù)承諾 諾巴迪人為您提供專(zhuān)業(yè)快捷周到的售前及售后服務(wù)和技術(shù)支持——保證您研究的成功并攜手探索科技未來(lái)
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